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一种基板处理装置及基板处理方法，防止在使被液体浸湿的基板表面干燥时在基板表面所形成图案产生破坏，良好地干燥基板表面。邻近挡块（３）的对置面（３１）相对基板表面（Ｗｆ）邻近配置，在对置面（３１）和基板表面（Ｗｆ）所夹持的间隙空间（ＳＰ）形成液...
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