本发明专利技术公开了裸芯顶出器和包括该裸芯顶出器的裸芯粘合装置。该裸芯顶出器包括设置在切割带下方的罩、配置为升高通过罩以将附接在切割带上的裸芯与切割带分离的顶出器单元、配置为提升顶出器单元的顶出器驱动部，以及设置在顶出器单元下方并配置为限制顶出器单元向下移动的止动构件。顶出器单元包括沿升高方向延伸并具有伸缩结构的多个顶出器构件，顶出器构件同时被顶出器驱动部提升，然后由顶出器驱动部和止动构件从外到内依次降低。动部和止动构件从外到内依次降低。动部和止动构件从外到内依次降低。
【技术实现步骤摘要】
裸芯顶出器及包括其的裸芯粘合装置
[0001]本专利技术涉及裸芯顶出器及包括其的裸芯粘合装置。更具体地说，本专利技术涉及用于在裸芯粘合程序中将裸芯从切割带中分离出来的裸芯顶出器以及包括该裸芯顶出器的裸芯粘合装置。
技术介绍
[0002]通常，藉由重复执行一系列制造程序，半导体设备可在用作半导体基板的硅晶圆上形成。如上所述形成的半导体设备可藉由切割程序被个体化并可藉由裸芯粘合程序粘合到基板。
[0003]裸芯粘合装置包括用于从由切割过程分成多个裸芯的晶圆上拾取裸芯的裸芯拾取模块，以及用于将裸芯粘合到诸如印刷电路板或引线框架的基板上的裸芯粘合模块。裸芯拾取模块可包括用于支承附接晶圆的切割带的台架单元，用于将裸芯自切割带分离的裸芯顶出器，以及用于从切割带上拾取裸芯的真空拾取器。
[0004]裸芯顶出器可包括具有用于真空吸附切割带的下表面的真空孔的罩，以及设置在该罩中、配置为可沿垂直方向移动穿过该罩的上部的顶出器单元。具体地，顶出器单元可提升裸芯，使切割带上的裸芯与切割带分离。例如，韩国专利No.10
‑
2009922公开了一种裸芯顶出器，其包括多个布置成伸缩状的顶出器构件。
[0005]具体地，具有板状(例如圆盘状)的支承构件可分别设置在顶出器构件的下端部分，并且可以在支承构件之间设置弹性构件。当顶出器构件被顶出器驱动部升起时，顶出器构件可通过弹性构件从外到内依次升起。然而，当顶出器构件从外向内依次升起时，裸芯可能被过度升起，这可能导致对裸芯的损坏。
技术实现思路
[0006]本专利技术的实施方式提供了能够在将裸芯与切割带分离的同时防止裸芯损坏的裸芯顶出器以及包括该裸芯顶出器的裸芯粘合装置。
[0007]根据本专利技术的方面，裸芯顶出器可以包括罩，其设置在切割带下方；顶出器单元，其配置为升高通过罩以将附接在切割带上的裸芯与切割带分离；顶出器驱动部，其配置为升高顶出器单元；以及止动构件，其设置在顶出器单元下方并配置为限制顶出器单元向下运动。具体地，顶出器单元可以包括多个顶出器构件，这些顶出器构件在升高方向上延伸并配置为具有伸缩结构，并且顶出器构件可以配置为同时被顶出器驱动部提升，然后由顶出器驱动部和止动构件从外到内依次降低。
[0008]根据本专利技术的一些实施例，顶出器单元进一步包含多个凸缘，其分别设置在顶出器构件的下端部分，并且沿顶出器构件的升高方向布置；至少一个弹性构件，其设置在凸缘中除了最上凸缘之外的剩余凸缘之间；升降头，其设置在凸缘中的最下凸缘的下方；以及连接构件，其连接最上凸缘和升降头。在这种情况下，顶出器驱动部可与升降头连接。
[0009]根据本专利技术的一些实施例，顶出器单元可以进一步包括至少一个第二止动构件，
该止动构件限制了凸缘中除最上凸缘和最下凸缘之外的至少一个剩余凸缘被至少一个弹性构件提升的高度。
[0010]根据本专利技术的一些实施例，裸芯顶出器可以进一步包括止动驱动部，在顶出器驱动部提升顶出器构件之后，止动驱动部升高止动构件以调节止动构件的高度。
[0011]根据本专利技术的另一个方面，裸芯顶出器可以包括罩，其设置为与切割带的下表面接触；多个顶出器构件，其配置为升高通过罩，以便将附接在切割带的上表面的裸芯与切割带分离，并且具有沿升高方向延伸的伸缩结构；多个凸缘，其分别设置在顶出器构件的下端部分并沿顶出器构件的升高方向布置；多个弹性构件，其设置在凸缘中除最上凸缘之外的剩余凸缘之间；升降头，其设置在凸缘中的最下凸缘的下方；多个连接销，其穿过凸缘中除最上凸缘之外的剩余凸缘，并连接最上凸缘和升降头；顶出器驱动部，其与升降头连接，并配置为升高顶出器构件；止动构件，其设置在最下凸缘的下方，并配置为限制最下凸缘的向下运动；以及止动驱动部，在顶出器驱动部提升顶出器构件之后，止动驱动部升高止动构件以调节止动构件的高度。
[0012]根据本专利技术的一些实施例，罩可以具有顶出器构件插入其中的开口，并且顶出器构件插入开口，使得顶出器构件的上表面与罩的上表面平齐。
[0013]根据本专利技术的一些实施例，顶出器构件可同时被顶出器驱动部提升。
[0014]根据本专利技术的一些实施例，弹性构件可以具有向下逐渐增加的弹力，使得顶出器构件中除最内侧顶出器构件之外的剩余顶出器构件从外到内依次降低。
[0015]根据本专利技术的一些实施例，顶出器驱动部可以包括连接到升降头并向下延伸的第一驱动轴；以及配置为升高第一驱动轴的第一驱动单元。
[0016]根据本专利技术的一些实施例，止动驱动部可以包括连接到止动构件并向下延伸的第二驱动轴；以及配置为升高第二驱动轴的第二驱动单元。
[0017]根据本专利技术的一些实施例，第二驱动轴可以具有围绕第一驱动轴的管状形状。
[0018]根据本专利技术的一些实施例，顶出器驱动部可进一步包括第一引导构件，其设置在第一驱动轴和第二驱动轴之间，并配置为沿升高方向引导第一驱动轴。
[0019]根据本专利技术的一些实施例，裸芯顶出器可进一步包括顶出器主体，其与罩的下部连接，并具有围绕第二驱动轴的管状形状。
[0020]根据本专利技术的一些实施例，止动驱动部可以进一步包括第二引导构件，其设置在第二驱动轴和顶出器主体之间，并配置为沿升高方向引导第二驱动轴。
[0021]根据本专利技术的一些实施例，第一驱动单元可以包括用于升高第一驱动轴的第一凸轮构件；用于旋转第一凸轮构件的第一马达；安装在第一驱动轴的下部上的第一支架；以及安装在第一支架上并设置在第一凸轮构件上的第一凸轮从动件。
[0022]根据本专利技术的一些实施例，顶出器驱动部可以进一步包括第三引导构件，其配置为沿升高方向引导第一支架。
[0023]根据本专利技术的一些实施例，第二驱动单元可以包括用于升高第二驱动轴的第二凸轮构件；用于旋转第二凸轮构件的第二马达；安装在第二驱动轴的下部上的第二支架；以及安装在第二支架上并设置在第二凸轮构件上的第二凸轮从动件。
[0024]根据本专利技术的一些实施例，第一支架可以包括联接到第一驱动轴的下部的连接块；从连接块向下延伸的一对延伸部分；以及安装部分，其将延伸部分的下端相互连接，且
第一凸轮从动件安装在其上。在这种情况下，第二凸轮构件和第二凸轮从动件可以设置在延伸部分之间。
[0025]根据本专利技术的一些实施例，罩可以包括罩主体，其具有圆管形状并与顶出器主体联接；盖子，其与罩主体的上部联接并具有用于真空吸附切割带的下表面的真空孔；以及第三止动构件，其从罩主体的内表面突出以防止凸缘与罩主体分离。
[0026]根据本专利技术的另一个方面，裸芯粘合装置可以包括裸芯顶出器，其用于将附接在切割带上的裸芯与切割带分离；以及裸芯粘合模块，其用于将由裸芯顶出器分离的裸芯粘合到基板上。在这种情况下，裸芯顶出器可以包括罩，其设置在切割带下方；顶出器单元，其配置为升高通过罩以将裸芯与切割带分离；顶出器驱动部，其配置为升高顶出器单元；以及止动构件，其设置在顶出器单元的下方，并配置为限制顶出器单元向下运动。具体地，顶出器单元可以包括多个顶出器构本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.裸芯顶出器，其包含：罩，其设置在切割带的下方；顶出器单元，其配置为升高通过罩以将附接在所述切割带上的裸芯与所述切割带分离；顶出器驱动部，其配置为升高所述顶出器单元；以及止动构件，其设置在所述顶出器单元的下方并配置为限制所述顶出器单元向下运动，其中，所述顶出器单元包括多个顶出器构件，所述顶出器构件沿升高方向延伸，并配置为具有伸缩结构，并且所述顶出器构件配置为同时被所述顶出器驱动部提升，然后由所述顶出器驱动部和所述止动构件从外到内依次降低。2.如权利要求1所述的裸芯顶出器，其中所述顶出器单元进一步包含：多个凸缘，其分别设置在所述顶出器构件的下端部分，并且沿所述顶出器构件的升高方向布置；至少一个弹性构件，其设置在所述凸缘中除了最上凸缘之外的剩余凸缘之间；升降头，其设置在所述凸缘中的最下凸缘的下方；以及连接构件，其连接所述最上凸缘和所述升降头，其中，所述顶出器驱动部与所述升降头连接。3.如权利要求2所述的裸芯顶出器，其中所述顶出器单元进一步包含：至少一个第二止动构件，其限制所述凸缘中除所述最上凸缘和所述最下凸缘之外的至少一个剩余凸缘被所述至少一个弹性构件提升的高度。4.如权利要求1所述的裸芯顶出器，进一步包含：止动驱动部，在所述顶出器驱动部提升所述顶出器构件之后，所述止动驱动部升高所述止动构件以调节所述止动构件的高度。5.裸芯顶出器，其包含：罩，其设置为与切割带的下表面接触；多个顶出器构件，其配置为升高通过罩，以便将附接在所述切割带的上表面的裸芯与所述切割带分离，并且具有沿升高方向延伸的伸缩结构；多个凸缘，其分别设置在所述顶出器构件的下端部分并沿所述顶出器构件的升高方向布置；多个弹性构件，其设置在所述凸缘中除最上凸缘之外的剩余凸缘之间；升降头，其设置在所述凸缘中的最下凸缘的下方；多个连接销，其穿过所述凸缘中除所述最上凸缘之外的剩余凸缘，并连接所述最上凸缘和所述升降头；顶出器驱动部，其与所述升降头连接，并配置为升高所述顶出器构件；止动构件，其设置在所述最下凸缘的下方，并配置为限制所述最下凸缘的向下运动；以及止动驱动部，在所述顶出器驱动部提升所述顶出器构件之后，所述止动驱动部升高所述止动构件以调节所述止动构件的高度。6.如权利要求5所述的裸芯顶出器，其中所述罩具有所述顶出器构件插入其中的开口，
并且所述顶出器构件插入所述开口，使得所述顶出器构件的上表面与所述罩的上表面平齐。7.如权利要求5所述的裸芯顶出器，其中所述顶出器构件同时被所述顶出器驱动部提升。8.如权利要求7所述的裸芯顶出器，其中所述弹性构件具有向下逐渐增加的弹力，使得所述顶出器构件中除最内侧顶出器构件之外的剩余顶出器构件从外到内依次降低。9.如权利要求5所述的裸芯顶出器，其中所述顶出器驱动部包含：连接到所述升降头并向下延伸的第一驱动轴；以及配置为升高所述第一驱动轴的第一驱动单元。10.如权利要求9所述的裸...
【专利技术属性】
技术研发人员：李喜澈，郑炳浩，郑然赫，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。