基板的装载方法技术

公开一种基板的装载方法。本发明专利技术的基板的装载方法包括如下步骤：准备包括基板装载器和支撑销组件的基板装载装置，支撑销组件在基板装载器上布置为多个，并且各个支撑销组件配备有至少一个固定部、旋转部以及引导部，旋转部可旋转地结合于固定部而支撑基板，引导部布置在固定部和旋转部而引导旋转部的旋转；在基板装载器上安置基板；基板的下表面与所述旋转部上部接触；旋转部根据基板的负载而旋转；以及引导部工作而使基板被平坦地布置。引导部工作而使基板被平坦地布置。引导部工作而使基板被平坦地布置。

【技术实现步骤摘要】
基板的装载方法


[0001]本专利技术涉及基板的装载方法。

技术介绍

[0002]通常，显示装置可以被利用到诸如智能电话、便携式计算机、数码相机、便携式摄像机、便携信息终端、笔记本电脑、平板个人计算机等移动装置或者诸如台式计算机、电视、户外广告板、展示用显示装置、汽车用仪表板、平视显示器(HUD：head up display)等电子装置。
[0003]诸如显示装置等电子装置的制造在各种工艺设备或者腔室中实现。在制造工艺中，为了固定基板而利用基板装载装置。

技术实现思路

[0004]然而，随着基板被大型化，在装载基板时会发生基板向下方下垂的现象。在工艺中，如果基板无法维持平坦，则可能发生工艺不良或者基板的破损等。
[0005]本专利技术的实施例期望提供一种能够将基板维持平坦的基板的装载方法。
[0006]根据本专利技术的一侧面的基板的装载方法，可以包括如下步骤：准备包括基板装载器和支撑销组件的基板装载装置，所述支撑销组件在所述基板装载器上布置为多个，并且各个所述支撑销组件配备有至少一个固定部、旋转部以及引导部，所述旋转部可旋转地结合于所述固定部而支撑基板，所述引导部布置在所述固定部和所述旋转部而引导所述旋转部的旋转；在所述基板装载器上安置基板；所述基板的下表面与所述旋转部上部接触；所述旋转部根据所述基板的负载而旋转；以及所述引导部工作而使所述基板被平坦地布置。
[0007]在一实施例中，所述固定部彼此相隔地布置为多个，所述旋转部能够在所述固定部之间旋转，所述旋转部可以根据所述基板的负载而倾斜地布置。
[0008]在一实施例中，在所述旋转部的上端侧部凸出有旋转销，所述旋转销可旋转地插入于多个所述固定部的结合槽，所述旋转部可以以所述旋转销为中心轴而旋转。
[0009]在一实施例中，所述引导部配备有：滑动槽，布置在所述固定部；移动销，从所述旋转部的侧部凸出，并且被插入到所述滑动槽而沿所述滑动槽移动，所述旋转部可以与所述移动销沿所述滑动槽移动的距离对应地倾斜地布置。
[0010]在一实施例中，所述滑动槽可以沿与所述基板下垂的方向垂直的方向延伸。
[0011]在一实施例中，所述滑动槽可以具有与所述旋转部旋转的角度对应的倾斜度。
[0012]在一实施例中，在所述旋转部的背面还配备有加压装置，所述加压装置包括：加压销；以及驱动部，向所述加压销提供驱动力，其中，所述加压装置可以根据所述基板的下垂程度将所述旋转部推向前方而使所述基板上升。
[0013]在一实施例中，在所述旋转部的上表面可以布置有与所述基板接触的摩擦垫。
[0014]在一实施例中，所述摩擦垫可以包括氟胶、硅胶和橡胶中的任意一个。
[0015]在一实施例中，在所述基板装载器布置有开口，所述支撑销组件沿布置于所述基
板装载器的开口的周围而布置，彼此相面对的旋转部可以根据所述基板的负载而沿彼此远离的方向倾斜地布置。
[0016]根据本专利技术的一侧面的基板的装载方法能够最小化基板的下垂。据此，能够减小工艺不良率，并能够防止基板的破损。
[0017]除了上述内容以外，本专利技术的效果还能够参照附图从将在下面说明的内容导出，这是显而易见的。
附图说明
[0018]图1是示出根据本专利技术的一实施例的显示装置的立体图。
[0019]图2是示出沿图1的
Ⅱ‑Ⅱ
'线截取的情形的剖面图。
[0020]图3是示出设置有根据本专利技术的一实施例的基板装载装置的腔室的构成图。
[0021]图4是示出图3的基板装载装置的立体图。
[0022]图5是放大示出图4的支撑销组件的立体图。
[0023]图6a至图6c是将基板被安装到基板装载装置上的过程依次示出的侧面图。
[0024]图7a是示出图5的支撑销组件工作之前的状态的侧面图。
[0025]图7b是示出图7a的支撑销组件工作之后的状态的侧面图。
[0026]图8a是示出根据本专利技术的另一实施例的支撑销组件工作之前的状态的侧面图。
[0027]图8b是示出图8a的支撑销组件工作之后的状态的侧面图。
[0028]符号说明
[0029]400：基板装载装置
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410：基板装载器
[0030]420：支撑销组件
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430：固定部
[0031]440：旋转部
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450：引导部
[0032]451：滑动槽
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452：移动销
[0033]460：摩擦垫
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800：加压装置
[0034]810：加压销
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820：驱动部
具体实施方式
[0035]本专利技术可以进行多种变换，并且可以具有多种实施例，将特定实施例示出于附图中并在具体说明中详细地说明。本专利技术的效果和特征以及实现这些的方法将通过参照与附图一起详细地后述的实施例而变得明确。然而，本专利技术并不限于以下公开的实施例，而是可以以多种形态实现。
[0036]在以下的实施例中，当提及层、膜、区域、板等各种构成要素位于另一构成要素“上”时，其不仅包括位于另一构成要素的“紧邻的上方”的情形，还包括在两者之间夹设有其他构成要素的情形。并且，为了便于说明，附图中的构成要素的大小可以被夸大或者缩小。例如，为了便于说明，在附图中示出的各个构成的大小以及厚度被任意地示出，因此本专利技术并不一定限于图示的内容。
[0037]在以下的实施例中，x轴、y轴以及z轴并不限于直角坐标系上的三个轴，可以被解释为包括其的广义含义。例如，x轴、y轴以及z轴可以彼此垂直相交，但也可以指代彼此不垂直相交的彼此不同的方向。
[0038]在以下的实施例中，第一、第二等术语并不被用作限定性含义，而是以区分一个构成要素与另一构成要素的目的使用。
[0039]在以下的实施例中，只要在上下文中没有明确地表示不同含义，则单数的表述包括复数的表述。
[0040]在以下的实施例中，包括或者具有等术语表示说明书中记载的特征或者构成要素存在，并不预先排除附加一个以上的其他特征或者构成要素的可能性。
[0041]在以下的实施例中，在某个实施例能够以不同方式实现的情形下，特定工艺顺序可以按不同于所说明的顺序而执行。例如，连续说明的两个工艺可以实质上同时进行，也可以按与说明的顺序相反的顺序进行。
[0042]以下将参照附图详细说明本专利技术的实施例，在参照附图进行说明时，对相同或者对应的构成要素赋予相同的附图标记，并省略关于其的重复说明。
[0043]在以下的实施例中，当提及膜、区域、构成要素等被连接时，不仅包括膜、区域、构成要素被直接连接的情形，还包括在膜、区域、构成要素的中间夹设有其他膜、区域、构成要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板的装载方法，包括如下步骤：准备包括基板装载器和支撑销组件的基板装载装置，所述支撑销组件在所述基板装载器上布置为多个，并且各个所述支撑销组件配备有至少一个固定部、旋转部以及引导部，所述旋转部可旋转地结合于所述固定部而支撑基板，所述引导部布置在所述固定部和所述旋转部而引导所述旋转部的旋转；在所述基板装载器上安置所述基板；所述基板的下表面与所述旋转部上部接触；所述旋转部根据所述基板的负载而旋转；以及所述引导部工作而使所述基板平坦地布置。2.如权利要求1所述的基板的装载方法，其中，所述固定部彼此相隔地布置为多个，所述旋转部能够在所述固定部之间旋转，所述旋转部根据所述基板的负载而倾斜地布置。3.如权利要求2所述的基板的装载方法，其中，在所述旋转部的上端侧部凸出有旋转销，所述旋转销可旋转地插入于多个所述固定部的结合槽，所述旋转部以所述旋转销为中心轴而旋转。4.如权利要求2所述的基板的装载方法，其中，所述引导部配备有：滑动槽，布置在所述固定部；移动销，从所述旋转部的侧部凸出，并且被插...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东律，李京哲，赵成华，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：