投影曝光装置制造方法及图纸

在具有反射折射光学系统的投影曝光装置中进行改变倍率时，使所投影的图案像的畸变和对比度下降。在支承台（１１）上安装反射体（Ｒ），第３透镜群（Ｌ３）和反射镜（ＭＩ）；支承台（１１）沿着缩放驱动用导轨（６ａ），可以在透镜（Ｌ１、Ｌ２）的光轴方向上移动。在没有进行改变倍率时，从第１透镜（Ｌ１）到反射镜（ＭＩ）和从反射镜（ＭＩ）到第２透镜（Ｌ２）的光学组件相对于反射镜（ＭＩ）、透镜群（Ｌ３）的光轴对称地配置；掩模（Ｍ）的图案像以等倍的方式投影到工件（Ｗ）上。在进行改变倍率时，使反射光学单元（１０）整体在同一图的上下方向上移动。由此，可以一边保持良好的畸变和对比度一边使投影像的倍率变化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于印制基板或液晶基板等的基板的制造的曝光装 置，特别是涉及将形成于掩模的图案，以等倍的方式投影到基板上的 投影曝光装置。
技术介绍
在涂布有光效抗蚀剂等的感光材料的基板表面、利用曝光装置来 曝光规定的图案、之后利用蚀刻工序将图案形成于基板上的光刻法在 各种领域受到广泛的应用，印制配线基板或液晶基板等也使用曝光装 置进行制造。以往，作为曝光形成印制配线基板、液晶面板、液晶用滤色片等 的电子电路等的图案的装置的一种，使用有下述投影曝光装置隔着 形成有图案的掩模，照射规定波长的紫外线(曝光光线)，经由投影光 学系统将与掩模的图案成大约等倍的图案像投影到工件上并进行曝 光处理。投影光学系统包括仅由投影透镜构成的投影光学系统、反射镜 与透镜组合而成的反射折射光学系统、和仅由反射镜构成的反射光学 系统。对透镜使用反射镜则具有可以减少色差的优点。但是，在仅有反 射镜的反射光学系统的情况下，光照射区域限定成狭缝状， 一起进行 广大面积的曝光是困难的。在组合反射镜与透镜的反射折射光学系的 情况下，具有与投影光学系统相比减少色差，比反射光学系统曝光面 积大的优点。在投影曝光装置中，为了本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种投影曝光装置，利用从光源放射的曝光光线，将形成于掩模的图案通过投影光学机构投影到工件上并进行曝光，其特征为：　　　　上述投影光学机构具备：　　　　反射光学单元，具有：将改变上述曝光光线的方向的第１反射面及第２反射面设成规定角度的反射体、将由上述第１反射面所反射的曝光光线反射到上述第２反射面上的反射镜、和设置于该反射镜与上述反射体之间的多个透镜；　　　　第１透镜，配置于上述反射体的第１反射面的光射入侧，并与上述反射体相分离；　　　　第２透镜，配置于上述反射体的第２反射面的光射出侧，并与上述反射体相分离；以及　　　　反射光学单元移动机构，将上述反射光学单元支承在上述第１透镜与上述第２透镜之间，...

【技术特征摘要】
JP 2006-7-24 200571/20061.一种投影曝光装置，利用从光源放射的曝光光线，将形成于掩模的图案通过投影光学机构投影到工件上并进行曝光，其特征为上述投影光学机构具备反射光学单元，具有将改变上述曝光光线的方向的第1反射面及第2反射面设成规定角度的反射体、将由上述第1反射面所反射的曝光光线反射到上述第2反射面上的反射镜、和设置于该反射镜与上述反射体之间的多个透镜；第1透镜，配置于上述反射体的第1反射面的光射入侧，并与上述反射体相分离；第2透镜，配置于上述反射体的第2反射面的光射出侧，并与上述反射体相分离；以及反射光学单元移动机构，将上述反射光学单元支承在上述第1透镜与上述第2透镜之间，并使其相对于上述第1透镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤公一，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]