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在具有反射折射光学系统的投影曝光装置中进行改变倍率时，使所投影的图案像的畸变和对比度下降。在支承台（１１）上安装反射体（Ｒ），第３透镜群（Ｌ３）和反射镜（ＭＩ）；支承台（１１）沿着缩放驱动用导轨（６ａ），可以在透镜（Ｌ１、Ｌ２）的光轴方向上...
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