【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于形成半导体器件的方法,包括如下步骤:在半导体基板之上形成氮化膜图案,所述氮化膜图案在其侧壁上包括绝缘膜;利用所述氮化膜图案以及所述绝缘膜作为掩模来蚀刻所述半导体基板,由此形成限定有源区的第一沟槽;移除所述绝缘 膜以形成第二沟槽;在所述第二沟槽中形成隔离介电膜,从而填充所述第二沟槽;移除所述氮化膜图案;形成硬掩模图案,所述硬掩模图案限定横跨所述有源区的凹陷区;利用所述硬掩模图案来蚀刻所述半导体基板,由此在所述凹陷区中 形成鳍型有源区;移除所述硬掩模图案;以及在包括所述凹陷区的半导体基板之上形成栅极,从而填充所述鳍型有源区。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:李相敦,
申请(专利权)人:海力士半导体有限公司,
类型:发明
国别省市:KR[韩国]
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