自动目检方法技术

一种自动目检方法，包括：获得晶片良率测试图像；将晶片良率测试图像转化为自动目检工具可接受的文件格式；对已转换文件格式的晶片良率测试图像进行选择性自动目检；获得自动目检图像。采用本发明专利技术提供的自动目检方法，在晶片良率测试与自动目检及人工目检之间建立数据链接，提高了检测效率，增强了检测数据的可靠性；应用本发明专利技术提供的自动目检方法可根据实际要求对晶片内任意芯片进行自动目检，可避免无效检测，提高了检测效率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种自动目检方法，包括：获得晶片良率测试图像；将晶片良率测试图像转化为自动目检工具可接受的文件格式；对已转换文件格式的晶片良率测试图像进行选择性自动目检；获得自动目检图像。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴文彬，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]