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一种自动目检方法，包括：获得晶片良率测试图像；将晶片良率测试图像转化为自动目检工具可接受的文件格式；对已转换文件格式的晶片良率测试图像进行选择性自动目检；获得自动目检图像。采用本发明提供的自动目检方法，在晶片良率测试与自动目检及人工目检之间...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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