干燥装置制造方法及图纸

设置线性驱动装置，该线性驱动装置在干燥箱内使喷嘴沿与被清洗物的输送方向正交的方向移动；由沿输送方向伸长的狭缝构成喷嘴的喷射口。在干燥箱的入口和出口，设有沿与输送方向正交的方向延伸被清洗物的宽度的狭缝的一对喷嘴，使喷嘴的相向面从内缘到外缘倾斜，内缘的间隔比外缘的间隔大。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种干燥装置，特别是涉及这样一种干燥装置，该千 燥装置用于在液晶显示装置或半导体装置等的制造过程中，高速地使 由液体清洗后的液晶板或印刷电路板等被清洗物干燥。
技术介绍
为了高速地使由液体清洗后的液晶板或印刷电路板等被清洗物千 燥，需要正确的脱水和脱水后的迅速的干燥。在已有的干燥装置中， 在对被清洗物进行干燥的超干燥室前设有用于脱水的残留液体除去 室。在该千燥装置中，在该残留液体除去室设有空气喷嘴，该空气喷。倾斜:i是为'了提高清:液;去效率，、;:空气从残留液体除2室 侵入到邻接的超干燥室。在超干燥室中，干燥空气喷嘴与被清洗物的 输送方向垂直地配置。这是为了将内部的气氛的扰动减小到极限，排 除外气从干燥装置的周围环境(处于洁净状态)侵入到超干燥室内 (参照专利文献i)。另外，在别的已有的干燥装置中，干燥箱的喷嘴相对被清洗物沿 铅直方向喷射千燥空气地设置。另外，干燥箱除了其入口和出口外， 没有与外气相通的开口，另外，该入口和出口也仅具有较小的开口面 积。因此，干燥箱中因从喷嘴喷射干燥空气而处于正压状态，另外，从喷嘴喷射后冲撞到被清洗物后的干燥空气朝四方飞散，通过入口和 出口跑到外部。因此，可防止外气侵入到干燥箱中，并由干燥空气将 干燥箱中保持为预定的干燥状态。喷嘴从朝被清洗物的面沿铅直方向 喷射千燥空气的位置朝与输送方向正交的方向左右摇动。另外，该千 燥装置含有空气狭缝作为脱水机构。该空气狭缝的空气喷射口朝与被清洗物的输送方向相反的方向稍倾斜地配置，干燥空气可朝后方将流来的被清洗物表面的液体推回地脱水(参照专利文献2)。 专利文献1:日本特开2003-240435号公报 专利文献2:日本特开平11-316084号公报
技术实现思路
对于已有的干燥装置，与被清洗物的输送方向垂直地配置干燥用 喷嘴，朝被清洗物的面使干燥空气沿铅直方向即垂直方向喷射。因 此，从干燥用喷嘴喷射后冲撞到被清洗物后的干燥空气沿被清洗物的 表面朝四方飞散，通过入口和出口跑到外部，所以，被清洗物的表面 的千燥可充分进行。另外，相对于被清洗物的输送方向相反的方向稍 倾斜地配置脱水用空气狭缝，将流来的被清洗物表面的液体朝后方推 回，所以，被清洗物的表面的脱水也可充分地进行。然而，对于已有的干燥装置，被清洗物的输送方向的干燥用喷嘴 和脱水用空气狭缝的喷射口的长度极小，为0.1mm 0.2mm左右，干 燥空气不能确实而且充分地吹到朝输送方向移动的被清洗物的端面。 因此，被清洗物的端面的脱水和干燥不充分。相反，由沿被清洗物的 表面朝四方飞散的干燥空气挤出的残留水分、由脱水空气狭缝朝后方推回的液体沿被清洗物的端部边缘绕到端部，附着于端面，产生问 题。该问题在被清洗物的厚度越厚时越显著。另外，对于已有的干燥装置，由于在千燥室前设有用于脱水的残 留液体除去室，所以，还存在干燥装置大型化的问题。另外，对于沿 与被清洗物的输送方向正交的方向摇动干燥用喷嘴的干燥装置，由于 喷嘴的喷射口与被清洗物的表面间的距离随着摇动运动而产生变化， 所以，还存在被清洗物的表面干燥不均匀的问题。另外，为了用于具 有厚度的被清洗物P的脱水，还存在相对输送方向(箭头A示出)倾 斜地配置狭缝的构成(参照图10)、沿与输送方向正交的方向配置多 个相对输送方向倾斜的小狭缝的构成(参照图11)，但为了设置脱水 狭缝，需要大的空间，另外，由于没有足够的干燥空气均匀地吹到端面，所以，实际上不能获得足够的脱水效果。本专利技术的目的在于提供一种可充分地进行被清洗物的端面和表面 的脱水及干燥的、紧凑的干燥装置。 用于解决问题的手段为了达到该目的，本专利技术提供一种干燥装置，该干燥装置具有密闭干燥箱和干燥空气喷射机构；该密闭干燥箱设置于输送由液体清洗 后的被清洗物的输送通道，具有用于上述被清洗物通过的入口和出 口；该干燥空气喷射机构设于上述干燥箱中，朝通过上述输送通道的 被清洗物喷射干燥空气；其特征在于设有使上述干燥空气喷射机构 朝与上述被清洗物的输送方向正交的方向直线地移动的机构，上述干 燥空气喷射机构的喷射口由沿上述输送方向延伸得较长的狭缝构成。按照本专利技术，上述干燥空气喷射机构也可由沿与上述输送方向正 交的方向排列地配置的多个喷嘴构成。按照本专利技术，上述干燥空气喷射机构由沿输送方向配置了多列的 喷嘴构成，每列喷嘴沿与上述输送方向正交的方向排列地配置着多个喷嘴。按照本专利技术，上述干燥空气喷射机构也可夹住上述被清洗物设置 于上下。按照本专利技术，也可在上述干燥箱的入口和出口还设有第2干燥空 气喷射机构，上述第2干燥空气喷射机构由一对喷嘴构成，该一对喷 嘴具有在与上述输送方向正交的方向至少延伸被清洗物的宽度的狭 缝，上述喷嘴的相向面从内缘到外缘倾斜，使得内缘的间隔比外缘的 间隔大。按照本专利技术，也可在上述干燥箱还设有用于充填干燥空气的第3 干燥空气喷射机构，上述第3干燥空气喷射机构的喷射口朝使上述干 燥空气喷射机构直线移动的机构设置。按照本专利技术，也可由线性驱动装置构成使上述干燥空气喷射机构 直线地移动的机构。按照本专利技术，设有使干燥空气喷射机构朝与被清洗物的输送方向 正交的方向直线地移动的机构，所以，不需要沿被清洗物的整个宽度 设置干燥空气喷射机构，可使干燥装置整体小型化。另外，由于干燥 空气喷射机构的喷射口与被清洗物表面间的距离为一定，所以，可获 得没有干燥不均的稳定的干燥效果。另外，按照本专利技术，干燥空气喷 射机构的喷射口由沿被清洗物的输送方向伸长的狭缝构成，所以，即 使为具有厚度的被清洗物，也可使干燥空气确实地吹到被清洗物的端 面，可在被清洗物的表面和端面都可同时地实现充分的干燥和脱水。另外，按照本专利技术，夹着被清洗物在上下设置干燥空气喷射机 构，由沿与输送方向正交的方向排列地配置的多个喷嘴或由沿输送方 向配置了多列的该多个喷嘴构成干燥空气喷射机构，从而可相应于被 清洗物的大小或所期望的干燥速度提高干燥效率。另外，按照本专利技术，在干燥箱的入口和出口还设有第2干燥空气 喷射机构，第2干燥空气喷射机构由一对喷嘴构成，该一对喷嘴具有 在与输送方向正交的方向至少延伸被清洗物的宽度的狹缝，喷嘴的相 向面从内缘到外缘倾斜，使得内缘的间隔比外缘的间隔大。这样，从 该空气狭缝喷射的干燥空气沿喷嘴的相向的倾斜面从干燥箱的内侧朝 外侧喷射，所以，这起到密闭干燥箱的气幕的作用。另外，干燥空气 沿喷嘴的相向的喷射面流动，所以，被清洗物与已有的空气狭缝相 比，沿输送方向接受到较长时间的空气，可充分地进行端面的脱水。 因此，该第2干燥空气喷射机构可具有气幕的功能和端面脱水的功能 双方。另外，按照本专利技术，在干燥箱还设有用于充填干燥空气的第3干 燥空气喷射机构，第3干燥空气喷射机构的喷射口朝使干燥空气喷射 机构直线移动的机构设置。这样，第3干燥空气喷射机构不仅具有用 于将干燥空气充填到干燥箱的功能，而且具有相对使干燥空气喷射机 构移动的的才几构的冷却功能。另外，按照本专利技术，由线性驱动装置构成使上述干燥空气喷射机 构直线地移动的机构。通过这样构成，从而可由简单的构造而且小型 的驱动机构实现使干燥空气喷射机构移动的机构，因此，可使干燥装 置整体小型化。另外，可使干燥空气喷射机构平滑地进行直线移动， 可确实而且均匀地进行被清洗物的干本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干燥装置，具有密闭干燥箱和干燥空气喷射机构；该密闭干燥箱设置于输送由液体清洗后的被清洗物的输送通道，具有用于上述被清洗物通过的入口和出口；该干燥空气喷射机构设于上述干燥箱中，朝通过上述输送通道的被清洗物喷射干燥空气；其特征在于： 设有使上述干燥空气喷射机构朝与上述被清洗物的输送方向正交的方向直线地移动的机构，上述干燥空气喷射机构的喷射口由沿上述输送方向伸长的狭缝构成。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2005-4-20 122555/20051.一种干燥装置，具有密闭干燥箱和干燥空气喷射机构；该密闭干燥箱设置于输送由液体清洗后的被清洗物的输送通道，具有用于上述被清洗物通过的入口和出口；该干燥空气喷射机构设于上述干燥箱中，朝通过上述输送通道的被清洗物喷射干燥空气；其特征在于设有使上述干燥空气喷射机构朝与上述被清洗物的输送方向正交的方向直线地移动的机构，上述干燥空气喷射机构的喷射口由沿上述输送方向伸长的狭缝构成。2. 根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于上述干燥空气 喷射机构由沿与上述输送方向正交的方向排列地配置着的多个喷嘴构成o3. 根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于上述千燥空气 喷射机构由沿输送方向配置了多列的喷嘴构成，每列喷嘴沿与上述...

【专利技术属性】
技术研发人员：竹森利则，
申请(专利权)人：协和化工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]