高速干燥装置制造方法及图纸

由不挥发性液体或挥发性液体洗洗过的被洗涤体迅速而廉价地被干燥并防止该被洗涤体表面被氧化。残留于被洗涤体上的洗涤剂被去除到不能因洗涤剂存在而使被洗涤体表面被空气氧化的程度，而后立即将被洗涤体置于超干燥环境中完全去除残留于被洗涤体上的洗涤剂。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在平板显示器、液晶或半导体装置等的制造过程中对以不挥发性液体或挥发性液体洗涤了的半成品进行干燥的干燥装置。
技术介绍
在现有技术中，在半导体领域里，由以异丙醇等的醇类为代表的挥发性液体和以水等为代表的不挥发性液体洗涤半成品。作为对这些被洗涤体进行干燥的方法，采用了高纯度氮气为代表的高纯度气体干燥，热风干燥，红外线、远红外线干燥，真空干燥、离心干燥(スピンドラィ)等。在这些方法中不管哪一种，都难以回避被洗涤体表面的氧化、热损坏、污染等问题。另外，还有原始成本或运行成本过高的问题。在使用易蒸发的亲水性异丙醇等的干燥方法中，干燥要花费时间，而且，由于使用异丙醇量大，还产生环境污染问题。在使用热、红外线或远红外线的情况下，干燥时间较长，容易附着颗粒。这种情况下，还有由被洗涤表面的残留水分加快其表面氧化的问题。以离心方法也不能完全干燥净被洗涤体的表面，水分残留于被洗涤体的表面，加快了其表面的氧化。另外，控制装置也比较复杂，干燥也需要较多时间。无论哪一种情况下，往往都使用高纯度的氮气用以防止被洗涤体的氧化，当然也增加了运行成本。另外，无论哪一种都不能解决被洗涤体尺寸大型化的倾向本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高速干燥装置，其特征在于，在该干燥装置的内侧壳体内构成借从不挥发性液体或挥发性液体洗涤过的被洗涤体表面吹拂空气来除去残留液体的残留液体除去室，和相邻于该残留液体除去室、由空气吹拂来干燥已除去了残留液体的被洗涤体的超干燥室；外侧壳体留下空间包围所述内侧壳体；输送被洗涤体的输送通路连通所述内侧壳体、外侧壳体、所述残留液体除去室以及所述超干燥室。

【技术特征摘要】
JP 2002-2-18 40052/20021.一种高速干燥装置，其特征在于，在该干燥装置的内侧壳体内构成借从不挥发性液体或挥发性液体洗涤过的被洗涤体表面吹拂空气来除去残留液体的残留液体除去室，和相邻于该残留液体除去室、由空气吹拂来干燥已除去了残留液体的被洗涤体的超干燥室；外侧壳体留下空间包围所述内侧壳体；输送被洗涤体的输送通路连通所述内侧壳体、外侧壳体、所述残留液体除去室以及所述超干燥室。2.按权利要求1所述的高速干燥装置，其特征在于，在所述残留液体除去室配置喷射空气的空气喷嘴，在所述超干燥室配置喷射干燥空气的干燥空...

【专利技术属性】
技术研发人员：竹森利则，茂木正树，
申请(专利权)人：协和化工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]