高速干燥装置制造方法及图纸

由不挥发性液体或挥发性液体洗洗过的被洗涤体迅速而廉价地被干燥并防止该被洗涤体表面被氧化。残留于被洗涤体上的洗涤剂被去除到不能因洗涤剂存在而使被洗涤体表面被空气氧化的程度，而后立即将被洗涤体置于超干燥环境中完全去除残留于被洗涤体上的洗涤剂。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在平板显示器、液晶或半导体装置等的制造过程中对以不挥发性液体或挥发性液体洗涤了的半成品进行干燥的干燥装置。
技术介绍
在现有技术中，在半导体领域里，由以异丙醇等的醇类为代表的挥发性液体和以水等为代表的不挥发性液体洗涤半成品。作为对这些被洗涤体进行干燥的方法，采用了高纯度氮气为代表的高纯度气体干燥，热风干燥，红外线、远红外线干燥，真空干燥、离心干燥(スピンドラィ)等。在这些方法中不管哪一种，都难以回避被洗涤体表面的氧化、热损坏、污染等问题。另外，还有原始成本或运行成本过高的问题。在使用易蒸发的亲水性异丙醇等的干燥方法中，干燥要花费时间，而且，由于使用异丙醇量大，还产生环境污染问题。在使用热、红外线或远红外线的情况下，干燥时间较长，容易附着颗粒。这种情况下，还有由被洗涤表面的残留水分加快其表面氧化的问题。以离心方法也不能完全干燥净被洗涤体的表面，水分残留于被洗涤体的表面，加快了其表面的氧化。另外，控制装置也比较复杂，干燥也需要较多时间。无论哪一种情况下，往往都使用高纯度的氮气用以防止被洗涤体的氧化，当然也增加了运行成本。另外，无论哪一种都不能解决被洗涤体尺寸大型化的倾向。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供可从被洗涤体表面确实而迅速地除去残留液体。在防止表面氧化的同时有效进行干燥的高速干燥装置。为达此目的，首先将被洗涤体的残留洗涤液去除到不容许因其存在而使被洗涤体表面被空气氧化的限度，而后，立即将被洗涤体置于超干燥装置中完全去除被洗涤体的残留洗涤液。为了达到上述目的，高速干燥装置，在其内侧壳体内构成了通过由空气吹拂不挥发性液体或挥发性液体洗涤过的被洗涤体表面而除去残留液体的残留液体除去室，和与该残留液体除去室相邻接、由空气吹拂来干燥除去了残留液体的被洗涤体的超干燥室；外侧壳体留有空间地包围着所述内侧壳体；输送被洗涤体的输送路连通了所述内侧壳体、外侧壳体、所述残留液体除去室以及所述超干燥室。由残留液体除去室将残留洗洗液去除到不容许由于其存在而使被洗涤表面被空气氧化的限度；接下来，将被洗涤体移入超干燥室的超干燥环境中，完全除去被洗涤体的残留洗涤液。由此，可比现有任何方法更迅速、且以更低廉的运行成本干燥被洗涤体。作为实施例，可在残留液体除去室中配设喷射空气的空气喷嘴，在超干燥室中配置喷射干燥空气的干燥空气喷嘴。由于使用了超干燥的干燥空气，可以取得与高纯度氮气同样的或超过它的干燥效果。由于使用了喷嘴，可以比较少的空气或干燥空气达到所要求的干燥效果，另外，可根据需要简单地配列多个喷嘴，也可随被洗涤体变大而做成对应其大小。残留液体除去室的空气喷嘴向着输入口方向倾斜，以产生向被洗涤体的输送方向的相反方向流动的空气成分。提高洗涤液除去效率，并且使得从残留液体除去室来的空气不会侵入超干燥室。在超干燥室中，干燥空气喷嘴垂直于被洗涤体的输送方向配置。以尽量减少内部环境气体的扰动，并排除从干燥装置周围环境(成清洁状态)来的外气向超干燥室内侵入。在外侧壳体与内侧壳体间的空间配置着用于吸入从残留液体除去室来的使用过了的空气的管路。该管路连接于外部吸入泵。在外侧壳体与内侧壳体间的空间，于超干燥室的输出侧配置着离子发生器(ィォナィザ一)。在超干燥室中曝于高速超干燥空气的喷射的被洗涤体、有时因与空气摩擦而带电，所以由离子对该电荷进行中和。在残留液体除去室中，空气喷嘴在与被洗涤体输送方向相反的方向、向着输入口在铅直面内倾斜15°，进而在水平面内倾斜25-45°，以便有效地从被洗涤体表面除去水分，使输送空气喷流向着与超干燥室相反侧的输入口。防止侵入超干燥室。借将输送被洗涤体的输送通路连接于洗涤装置，可使高速干燥装置与洗涤装置连接起来。本专利技术的其他目的和优点，可从以下本专利技术的优选实施例中知晓。附图说明图1是本专利技术的高速干燥装置的立体图。具体实施例方式下边借附图来说明用以干燥用水洗涤后的被洗涤体的高速干燥装置。图1是高速干燥装置的立体图。为了表示内部而局部以虚线绘出。高速干燥装置配置于清净的环境气体中。图中，残留液体除去室1、和相邻于该残留液体除去室1的超干燥室2构成于内侧壳体3(点划线)内。外侧壳体4(点划线)留有空间5地包围着内侧壳体3。输送被洗涤体P的输送滚子6连通于内侧壳体3、外侧壳体4、残留液体除去室1以及超干燥室2。由不挥发性液体或挥发性液体洗涤过的被洗涤体P由输送滚子6沿箭头方向输送，穿过设于外侧壳体4与内侧壳体3且具有可通过被洗涤体P的大小的开口(图中未示出)后送入残留液体除去室1。输送滚子6可转动地支承于支承板S。输送滚子6也可以夹着被洗涤体上下相对地配置。在该残留液体除去室1中，借从被洗涤体P的表面吹拂空气除去残留液体。如图所示，在残留液体除去室1中上下配置着喷射空气的空气喷嘴7。清洁空气通过高性能的过滤器(图中未示出)供给到缓冲箱8，充填该缓冲箱8之后上下均匀地分别送入空气喷嘴7。为不使图面变得复杂，仅示出了配置上下一组空气喷嘴7，但也可以沿箭头所示输送方向配置多段。残留液体除去室1的空气喷嘴7向着输入口(图中未示出)在铅直面内倾斜，以便产生向被洗涤体P的输送方向的相反方向流动的空气成分。这样的倾斜可确认对从被洗涤体P的表面除去液体的效率有较大影响。经反复实验，确认最有效的除去液体的倾斜角度在15°附近。另外，由于将该空气喷嘴7与被洗涤体P的行进方向垂直设置，慢慢在水平面内改变角度相对行进方向倾斜，也可了解到该水平面内的倾斜角度对洗涤液除去的影响。有效的倾斜角度范围为25-45°。现有热风干燥装置的分水装置用缝隙的空气量，一个缝隙需要1.5-3.0Nm3/min左右；而在该喷嘴7的空气量以0.2Nm3/min左右即可充分除去洗涤液。该残留液除去室1的输入口要形成得与被洗涤体P的大小正确吻合。以提高其密闭度、尽可能阻止外气的侵入，确保内部清洁空气区。在外侧壳体4与内侧壳体3间的空间5、于壳体两侧面上下左右角上配置流入从残留液体除去室1来的使用过了的空气的管路的排出口9，从这些排出口9出来的管子连接外部的吸入泵。空间5的内压输出侧一方比输入侧一方高，以使使用过了的湿空气不侵入超干燥室2地向空间5排气。在超干燥室2内也是将空气喷嘴7上下夹着被洗涤体相对地配置。超干燥的干燥空气由超干燥发生装置、例如协和化工株式会社制的紧凑空气干燥器(图中未示出)供给，设稳压箱T以缓和其压力变动，由该稳压箱通过导管从干空气入口10供给，贮存于缓冲箱11中，以均匀向喷嘴7的供给。超干燥室2，为防外气侵入，而成与外气隔断的密封构造，保持从空气喷嘴7喷射出的超干燥的干燥空气为正压，由此确保在室内的超干燥环境气。在这种超干燥环境气中，从残留液体除去室1来的被洗涤体P暴露在从喷嘴7来的超干燥空气的喷射下。喷嘴7可在被洗涤体P的输送路上下成对配置，但也可以根据需要配置多段喷嘴7。这些喷嘴7可垂直于被洗涤体P的输送方向配置。如从垂直稍稍倾斜，超干燥室2内的空气平衡被破坏，外气侵入、不能保持超干燥环境气。在该超干燥室2内，短时间内即可以少量的干燥空气干燥被洗涤体P。超干燥的干燥空气的大气压露点温度为-80℃左右，这时的水分量为0.5ppm左右。该水分量是可与高纯度氮气(纯度99.999％)相匹敌的值。喷嘴7以每个喷嘴0.2-0.3Nm3/m本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高速干燥装置，其特征在于，在该干燥装置的内侧壳体内构成借从不挥发性液体或挥发性液体洗涤过的被洗涤体表面吹拂空气来除去残留液体的残留液体除去室，和相邻于该残留液体除去室、由空气吹拂来干燥已除去了残留液体的被洗涤体的超干燥室；外侧壳体留下空间包围所述内侧壳体；输送被洗涤体的输送通路连通所述内侧壳体、外侧壳体、所述残留液体除去室以及所述超干燥室。

【技术特征摘要】
JP 2002-2-18 40052/20021.一种高速干燥装置，其特征在于，在该干燥装置的内侧壳体内构成借从不挥发性液体或挥发性液体洗涤过的被洗涤体表面吹拂空气来除去残留液体的残留液体除去室，和相邻于该残留液体除去室、由空气吹拂来干燥已除去了残留液体的被洗涤体的超干燥室；外侧壳体留下空间包围所述内侧壳体；输送被洗涤体的输送通路连通所述内侧壳体、外侧壳体、所述残留液体除去室以及所述超干燥室。2.按权利要求1所述的高速干燥装置，其特征在于，在所述残留液体除去室配置喷射空气的空气喷嘴，在所述超干燥室配置喷射干燥空气的干燥空...

【专利技术属性】
技术研发人员：竹森利则，茂木正树，
申请(专利权)人：协和化工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]