【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及通过向由输送辊基本以水平方向输送的基板喷射压缩空气以除去处理液的干燥装置。
技术介绍
一般在液晶显示器等的基板制造工艺中，通过输送辊在清洗处理槽内对基板进行清洗以后，在干燥槽内对潮湿的基板进行干燥的工序是必须的。特别是近年来，为了提高生产效率，更要求具有快速并且强力的干燥处理能力。因此，以往采用通过送风将附着在基板上的水滴等的处理液除去的气刀的干燥方式。所谓气刀干燥方式，是将由输送辊支撑下面侧，向水平方向输送的基板在上下方向夹住的位置上配置具有长宽度开口部的一对气刀，从这个气刀向基板喷射非活性气体或清洁空气等的压缩气体，从而向后方将附着在基板上的处理液吹出。根据这种气刀干燥方式，在基板上附着的处理液，当基板在上下的气刀之间通过时，由于气体的压力向后方刮离那样地移动，在基板的后端部集中了液体块。然后通过将这些液体块由上述的压缩空气向后方吹去，从而除去基板上的处理液而进行干燥。但是，上述的处理液，由于处理液与基板表面的表面张力的作用使处理液比较牢固地沾着在基板端，因此要把这些处理液全部吹除需要更大的气体压力，所以存在着送风的运行费用非常昂贵的问题。而...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种干燥装置，其特征在于具备具有将在表面具有液膜或液滴状的处理液的基板向一个方向输送的输送路径的输送装置；配置在所述输送路径的近旁为了使所述处理液向输送方向的上游侧移动，朝基板的表面送出干燥用气体的送风装置；接触或靠近所述输送路径中的所述送风装置的上游侧的路侧而设置的，回收所述基板表面上的所述处理液的受液装置。2.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于所述受液装置通过表面张力的作用回收所述处理液。3.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于所述送风装置向相对所述输送方向呈规定的倾斜角的方向送风，所述受液装置被设置在所述输送路径中的所述送风的下游侧。4.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于配置所述受液装置，使其在所述输送路径上的所述基板的表面的延长面内具有所述处理液的受液面，使所述受液面的外周从所述输送路以外与所述输送路径的路侧接触或靠近。5.如权利要求4所述的干燥装置，其特征在于所述受液面具有与所述输送路径的路侧接触或靠近的大致为直线状的端边，所述端边沿着所述输送路...
【专利技术属性】
技术研发人员：渡部弘也，三森健一，伊藤卓雄，
申请(专利权)人：阿尔卑斯电气株式会社，
类型：发明
国别省市：
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