半导体生产线的监控方法及系统技术方案

一种半导体生产线的监控方法，包括：获取生产线中各个半导体设备的状态信息；建立所述各个半导体设备的状态信息和其相应的信息标识的链接；通过对所述信息标识的识别获得所述各个半导体设备的状态信息；本发明专利技术还提供一种半导体生产线得监控系统，包括：数据获取装置，用于获取生产线中各个半导体设备的状态信息；数据处理装置，用于生成所述生产线上的半导体设备的状态信息的信息标识，并在所述状态信息和其相应的信息标识之间建立链接。本发明专利技术生产线的监控方法和系统可监测整个生产线的各个设备的状态信息的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造
，特别涉及一种半导体制造中生产线的 监控方法及系统。
技术介绍
半导体器件的制造过程中涉及到上百道工序和多台设备，特别是随着半 导体制造向高集成度方向发展，制造过程采用了高集成度的流水线作业，并 更多的依赖于高自动化的设备。生产过程中，需要通过高效有序的生产调度 将制造工厂中的资源充分利用，以提高效率并降低成本。专利号为200510026662.7的中国专利公开了一种生产线的动态调度方法，通过该方法可 实现动态的实时生产调度，较大限度的整个利用生产中的各种资源，降低成 本。然而，这需要实时有效的监控生产线上各种半导体设备生产运行状态， 以减小设备空置时间及降低故障率。现有的一种对半导体制造工厂生产线的 监控方法和系统如下如图l所示，所述监控系统包括生产线的半导体设备IOO，邮件或消息服 务器108，终端106。生产线的半导体设备100通过局域网和所述服务器108连 接，所述终端106通过局域网或无线网络和所述服务器108连接。上述监控系 统在工作时，所述半导体设备100自身的控制计算机将状态信息传送至服务器 108，所述服务器108判断所述状态信息的类型，若是报警或出错信息，所述 服务器108触发自身的发射单元将所述报警或出错信息发送至终端106。上述 监控系统和方法存在如下缺陷设备状态信息单一、滞后，无法及时全面的 反应设备状态信息。图2为现有另一种监控系统示意图。如图2所示，该监控系统包括生产线 上的半导体设备200,服务器202和终端计算机204,所述半导体设备200、服 务器202和终端计算机204通过局域网连接。半导体设备200中有多个传感器， 所述传感器监测半导体设备中各个单元(unit)状态信息后发送至所述半导体 设备200自身的控制计算机201 ，所述控制计算机201通过制造执行系统将所述 信息传送至服务器202，并生成数据库。通过所述终端计算机204访问所述服务器202，调出服务器202数据库中相关半导体设备的状态信息，并传送至终 端计算机204。上述监控方法及系统存在如下缺陷所述终端计算4几204每一次只能访问 调出 一台设备或一个部门中相关半导体设备的状态信息，不能同时调用多台 半导体设备或整个生产线的半导体设备的状态信息，使得对生产线中设备的 监控和管理处于一种分立的状态。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种半导体生产线的监控方法及系统，以 解决现有生产监控方法和系统无法同时监测整个生产线的各个半导体设备的 状态信息的问题。为达到上述目的，本专利技术提供的一种半导体生产线的监控方法，包括 获取生产线中各个半导体设备的状态信息；生成与所述状态信息的相应 的信息标识，并在所述状态信息及其相应的信息标识之间建立链接；通过对 所述信息标识的识别获得所述各个半导体设备的状态信息；其中，通过所述 链接将所述半导体设备的状态信息更新至相应的信息标识。所述获取生产线中各个半导体设备的状态信息的步骤如下将生产线中 各个半导体设备的状态信息发送至制造执行系统；所述制造执行系统在服务器中生成半导体设备状态信息的数据库。所述信息标识为数字、符号、文字、图标中的一种或其它可记录于信息载体并能够被识别的标记。所述图标用特定的颜色信息反应相应半导体设备不同的状态信息。 所述半导体设备包括多个腔室或部件单元、监控所述腔室或部件单元状态信息的传感装置及用于将所述传感装置监测的状态信息反馈至服务器的控制计算机。所述状态信息包括半导体设备的标识名称、各个腔室或部件单元的工作 状态、参数设定及该半导体设备中正在运行和将要运行的产品的工艺参数。本专利技术还提供一种半导体生产线的监控方法，包括获取生产线中各个 半导体设备的状态信息；生成与所述状态信息的相应的信息标识，并在所述 状态信息及其相应的信息标识之间建立链接；通过对所述信息标识的识别获得所述各个半导体设备的状态信息；其中，通过所述链接将所述状态信息更新至相应的信息标识，并将所述对信息标识识别后所采取的操作反馈至相应 的半导体设备。相应的，本专利技术提供一种半导体生产线的监控系统，包括数据获取装 置，用于获取生产线中各个半导体设备的状态信息；数据处理装置，用于生 成所述状态信息的信息标识，并在所述状态信息和其相应的信息标识之间建 立链接，所述链接用于将所述半导体设备的状态信息更新至所述信息标识。所述信息标识为数字、符号、文字、图标中的一种或其它可记录于信息 载体并能够被识别的标记。所述图标用特定的颜色信息反应相应的半导体设备不同的状态信息。所述监控系统还包括输入输出系统，用以输出所述信息标识并输入对所 述信息标识识别后所采取的操作信息。所述半导体设备包括多个腔室或部件单元、监控所述腔室或部件单元状 态信息的传感装置及用于将所述传感装置监测的状态信息反馈至服务器的控 制计算机。所述状态信息包括半导体设备的标识名称、各个腔室或部件单元的工作 状态、参数设定及该半导体设备中正在运行和将要运行的产品的工艺参数。 本专利技术还提供一种半导体生产线的监控系统，包括数据获取装置，用于获取生产线中各个半导体设备的状态信息；数据处理装置，用于生成所述生产线上的半导体设备的状态信息的信息标识，并在所述状态信息和其相应 的信息标识之间建立链接，所述链接用于将所述半导体设备的状态信息更新 至所述信息标识，并将所述对信息标识识别后所采取的操作反馈至相应的半 导体设备。与现有技术相比，本专利技术具有以下优点本专利技术生产线监控方法首先获取半导体设备的状态信息，然后通过数据 处理装置生成与所述半导体设备状态信息相应的信息标识，所述信息标识可 以是数字、文字、符号、图标中的一种或其它可记录于信息载体并能够被识 别的标记。接着建立所述半导体设备的状态信息和其相应状态信息的链接。 通过所述链接实时的将所述半导体设备的状态信息更新至所述信息标识。通 过对所述信息标识的识别可获得生产线上各个半导体设备的状态信息。本专利技术的生产线的监控方法能够同时获取生产线上半导体设备的状态信息，从而 可以全面的监控整个生产线的状况，进而实现高效率的生产资源和人力的调 度，提高效率，减少设备空置及等待时间，降低成本。另外，本专利技术监测系统和方法也可以查看每一个与所述信息标识相应的 半导体设备的详细信息、产品的工艺参数以及该半导体设备将要进行的产品 名称、工艺参数步骤等信息，还可以对所述信息标识进行分类、重组，根据 不同的组合来监控半导体设备的状态信息，使得能够实时全面的监控整个生 产线的状况。附图说明图1和图2为现有生产线的监控系统示意图3为本专利技术半导体生产线的监控方法流程图4为本专利技术半导体生产线的监控方法示意图5为半导体生产线的光刻工艺半导体设备示意图6为应用本专利技术半导体生产线的监控方法监控图5所示的光刻工艺半 导体设备而输出的图标示意图7为根据本专利技术实施例的半导体生产线的监控系统示意图。具体实施例方式为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图 对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。图3为所述半导体生产线的监控方法的流程图。如图3所示，首先，获 取生产线中各个半导体设备的状态信息(S300 );在生产线的各个半导体设备 中有控制计算机，所述控制计算机将半导体设备中各个部件单元的状本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体生产线的监控方法，包括：　　　　获取生产线中各个半导体设备的状态信息；　　　　生成与所述状态信息的相应的信息标识，并在所述状态信息及其相应的信息标识之间建立链接；　　　　通过对所述信息标识的识别获得所述各个半导体设备的状态信息；　　　　其中，通过所述链接将所述半导体设备的状态信息更新至相应的信息标识。

【技术特征摘要】
1、一种半导体生产线的监控方法，包括获取生产线中各个半导体设备的状态信息；生成与所述状态信息的相应的信息标识，并在所述状态信息及其相应的信息标识之间建立链接；通过对所述信息标识的识别获得所述各个半导体设备的状态信息；其中，通过所述链接将所述半导体设备的状态信息更新至相应的信息标识。2、 如权利要求1所述的半导体生产线的监控方法，其特征在于所述获 取生产线中各个半导体设备的状态信息的步骤如下将生产线中各个半导体设备的状态信息发送至制造执行系统；所述制造执行系统在服务器中生成半导体设备状态信息的数据库。3、 如权利要求1所述的半导体生产线的监控方法，其特征在于所述信 息标识为数字、符号、文字、图标中的一种或其它可记录于信息载体并能够 被识别的标记。4、 如权利要求3所述的半导体生产线的监控方法，其特征在于所述图 标用特定的颜色信息反应相应半导体设备不同的状态信息。5、 如权利要求1所述的半导体生产线的监控方法，其特征在于所述半 导体设备包括多个腔室或部件单元、监控所述腔室或部件单元状态信息的传 感装置及用于将所述传感装置监测的状态信息反馈至服务器的控制计算机。6、 如权利要求1或2所述的半导体生产线的监控方法，其特征在于所 述状态信息包括半导体设备的标识名称、各个腔室或部件单元的工作状态、7、 一种半导体生产线的监控方法，包括 获取生产线中各个半导体设备的状态信息；生成与所述状态信息的相应的信息标识，并在所述状态信息及其相应的信息标识之间建立链接；通过对所述信息标识的识别获得所述各个半导体设备的状态信息；' 其中，通过所述链接将所述状态信息更新至相应的信息标识，并将所述对信息标识识别后所采取的操作反馈至相应的...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊德尔，洪启德，陈泰祥，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]