一种晶圆多尺寸子母环圈共用切换机构制造技术

本实用新型专利技术公开一种晶圆多尺寸子母环圈共用切换机构，涉及晶圆夹持装置技术领域，包括：装配环，装配环沿其圆周方向间隔开设有多个调节槽；锁紧件，套装在装配环外侧，锁紧件分为：支撑段，支撑段为环形；连接段，设置在支撑段外侧，且连接段上间隔开设有多个装配孔；锁环段，锁环段为可调节的环型，且锁环段设置在支撑段上方。本实用新型专利技术解决了现有技术中晶圆子母环圈夹持装置夹持尺寸单一的技术问题。子母环圈夹持装置夹持尺寸单一的技术问题。子母环圈夹持装置夹持尺寸单一的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆多尺寸子母环圈共用切换机构


[0001]本技术涉及晶圆夹持装置
，尤其涉及一种晶圆多尺寸子母环圈共用切换机构。

技术介绍

[0002]目前在半导体后工序生产中，每张晶圆片都要粘贴在胶膜上，再在划片机上分割成小功能芯片，然后到扩片机上均匀扩张，才可以拿到固晶机上生产。这样每张晶圆片要先装载到扩片机上进行扩片，卸下后需经过周转盒运送，再装载到固晶机上。
[0003]不同的尺寸的晶圆片加工时，需要不同尺寸的夹持装置，而切换的时间较久，工人切换调节参数较为麻烦，影响后续的加工。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种晶圆多尺寸子母环圈共用切换机构，解决了现有技术中晶圆子母环圈夹持装置夹持尺寸单一的技术问题。
[0005]本申请实施例公开了一种晶圆多尺寸子母环圈共用切换机构，包括：
[0006]装配环，所述装配环沿其圆周方向间隔开设有多个调节槽；
[0007]锁紧件，套装在所述装配环外侧，所述锁紧件分为：
[0008]支撑段，所述支撑段为环形；
[0009]连接段，设置在所述支撑段外侧，且所述连接段上间隔开设有多个装配孔；
[0010]锁环段，所述锁环段为可调节的环型，且所述锁环段设置在所述支撑段上方。
[0011]本申请实施例对装配环进行设计，使其具有一定伸缩性，能够装配不同尺寸的子母环圈；装配环安装后，再通过锁紧件进行锁紧，完成最后的锁紧装配。
[0012]在上述技术方案的基础上，本申请实施例还可以做如下改进：/>[0013]进一步地，所述调节槽分为：
[0014]第一调节槽，所述第一调节槽为自装配环的外圆向装配环的内圆方向延伸的豁口；
[0015]第二调节槽，所述第二调节槽为自装配环的外圆延伸至装配环的内圆的缺口，采用本步的有益效果是通过两种调节槽提供伸缩量，便于装配环的调节。
[0016]进一步地，所述装配环沿其圆周方向间隔开设有多个减重槽，采用本步的有益效果是通过减重槽降低装配环的整体质量。
[0017]进一步地，所述锁环段分为：
[0018]第一弧形段，设置在所述支撑段上方；
[0019]第二弧形段，一端铰接在所述支撑段上方，所述第二弧形段绕铰接端旋转后与所述第一弧形段配合形成环形，采用本步的有益效果是通过锁环段能够完成装配环的锁紧。
[0020]进一步地，所述锁紧件还包括：
[0021]固定块，安装在所述支撑段的侧面；
[0022]锁紧螺栓，一端铰接在所述固定块上；
[0023]连接块，所述连接块安装在所述第二弧形段的自由端，且所述连接块上开设有与所述锁紧螺栓相互配合的锁紧槽，采用本步的有益效果是通过锁紧螺栓完成锁紧。
[0024]本申请实施例中提供的一个或者多个技术方案，至少具有如下技术效果或者优点：
[0025]1.本申请实施例对装配晶圆的装配环进行设计，使其能够实现一定的收缩，满足不同尺寸的晶圆子母环圈装配需求，应用范围广。
[0026]2.本申请实施例对锁紧件进行设计，使其能够自由旋转和夹紧，保证装配环安装后的稳定性。
[0027]3.本申请实施例结构简单，操作方便，且应用范围广。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0029]图1为本技术具体实施例所述的一种晶圆多尺寸子母环圈共用切换机构的结构示意图；
[0030]图2为本技术具体实施例所述的一种晶圆多尺寸子母环圈共用切换机构的锁紧件俯视图；
[0031]附图标记：
[0032]1‑
装配环；2
‑
锁紧件；
[0033]101
‑
调节槽；102
‑
减重槽；
[0034]1011
‑
第一调节槽；1012
‑
第二调节槽
[0035]201
‑
支撑段；202
‑
连接段；203
‑
装配孔；204
‑
锁环段；205
‑
固定块；206锁紧螺栓；207
‑
连接块；208
‑
锁紧槽；
[0036]2041
‑
第一弧形段；2042
‑
第二弧形段。
具体实施方式
[0037]下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本技术的保护范围。
[0038]需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。
[0039]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0040]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、
“
头”、“尾”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0041]本申请实施例提供的一种晶圆多尺寸子母环圈共用切换机构，解决了现有技术中晶圆子母环圈夹持装置尺寸单一的技术问题。
[0042]本申请实施例的总体思路如下：对装配晶圆的装配环进行设计，使其能够实现一定的收缩，使其能够适应6寸或者8寸或者其他尺寸的晶圆子母环圈；同时对该夹持装置内的锁紧件进行设计，使其能够自由旋转和调整，完成装配环的夹紧。
[0043]为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体实施方式对上述技术方案进行详细说明。
[0044]实施例：
[0045]如图1
‑
2所示，本申请实施例公开了一种晶圆多尺寸子母环圈共用切换机构，用于完成多种尺寸晶圆子母环圈的夹持，其具体结构如下，包括：
[0046]装配环1，所述装配环1沿其圆周方向间隔开设有多个调节槽101，该装配环1是可伸缩材料制成，用于装配不同尺寸的晶圆子母环圈，而晶圆子母环圈内部用于放置晶圆，在实际使用时，通过外力影响，对调节槽101进行作用，使本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆多尺寸子母环圈共用切换机构，其特征在于，包括：装配环，所述装配环沿其圆周方向间隔开设有多个调节槽；锁紧件，套装在所述装配环外侧，所述锁紧件分为：支撑段，所述支撑段为环形；连接段，设置在所述支撑段外侧，且所述连接段上间隔开设有多个装配孔；锁环段，所述锁环段为可调节的环型，且所述锁环段设置在所述支撑段上方。2.根据权利要求1所述的一种晶圆多尺寸子母环圈共用切换机构，其特征在于，所述调节槽分为：第一调节槽，所述第一调节槽为自装配环的外圆向装配环的内圆方向延伸的豁口；第二调节槽，所述第二调节槽为自装配环的外圆延伸至装配环的内圆的缺口。3.根据权利要求1所述的一种晶...

【专利技术属性】
技术研发人员：李欢，罗健雄，
申请(专利权)人：扬州虹扬科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：