用于料件的支撑转移机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于料件的支撑转移机构，包括支撑单元、驱动单元以及铲片单元；所述支撑单元包括支撑基座、用于支撑料件的支撑平台，所述支撑平台设置在所述支撑基座上且位于第一平面内；所述驱动单元能够与所述支撑基座驱动连接，以驱动所述支撑基座相对第一平面转过预设角度；所述铲片单元与转过预设角度的所述支撑基座位于同一平面内，所述铲片单元能够在朝向所述支撑基座移动至预设位置后将料件从所述支撑平台上铲离。本实用新型专利技术至少包括以下优点：能够省却外部的转移单元引入，在倾斜状态下进行铲离工序，结合重力的因素，晶元能够较容易地相对所述支撑平台脱落，进而有效地降低铲离难度。效地降低铲离难度。效地降低铲离难度。

【技术实现步骤摘要】
用于料件的支撑转移机构


[0001]本技术涉及机械
，具体的是一种用于料件的支撑转移机构。

技术介绍

[0002]本部分的描述仅提供与本技术公开相关的背景信息，而不构成现有技术。
[0003]晶元是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元。目前生产工艺中，还需要对晶元的表面进行加工处理，其中滴蜡工序是比较常见的。由于晶元的厚度较薄，如何有效地对加工后的晶元从承载组件上转移，是目前急需解决的技术问题。
[0004]应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本技术的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本技术的
技术介绍
部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

技术实现思路

[0005]为了克服现有技术中的缺陷，本技术实施例提供了一种用于料件的支撑转移机构，其能够省却外部的转移单元引入，在倾斜状态下进行铲离工序，结合重力的因素，晶元能够较容易地相对所述支撑平台脱落，进而有效地降低铲离难度。
[0006]本申请实施例公开了：一种用于料件的支撑转移机构，包括支撑单元、驱动单元以及铲片单元；
[0007]所述支撑单元包括支撑基座、用于支撑料件的支撑平台，所述支撑平台设置在所述支撑基座上且位于第一平面内；
[0008]所述驱动单元能够与所述支撑基座驱动连接，以驱动所述支撑基座相对第一平面转过预设角度；
[0009]所述铲片单元与转过预设角度的所述支撑基座位于同一平面内，所述铲片单元能够在朝向所述支撑基座移动至预设位置后将料件从所述支撑平台上铲离。
[0010]进一步地，包括设置在所述支撑基座上且位于第一平面内的安装平台、位于外部且与所述安装平台机械配合的限位块，所述安装平台能够在所述驱动单元驱动下转过预设角度后与所述限位块抵接。
[0011]进一步地，所述支撑基座上设置有转动件，所述支撑平台安装在所述转动件的输出端上，所述转动件能够驱动所述支撑平台间歇式转动。
[0012]进一步地，包括能够检测料件位置信息的传感件，所述传感件与所述转动件信号连接。
[0013]进一步地，所述铲片单元包括铲片本体、第一推动件和第二推动件，所述铲片本体设置在所述第二推动件的输出端上，所述第一推动件能够推动所述第二推动件朝向料件移动，所述第二推动件能够推动所述铲片本体与料件抵接并将料件铲离所述支撑平台。
[0014]进一步地，所述铲片本体呈三棱柱状，所述铲片本体的一个侧壁能够贴合所述支撑平台的表面，所述铲片本体的一个棱边用于铲离料件。
[0015]进一步地，包括位于第一平面内的第三推动件，所述支撑单元设置在所述第三推动件上，所述第三推动件能够推动所述支撑单元在第一平面内移动。
[0016]借由以上的技术方案，本技术的有益效果如下：本申请中通过设置的支撑单元、铲片单元以及驱动单元的结合，当所述支撑单元倾斜到位后，所述第一推动件首先推动所述铲片本体朝向所述支撑平台移动，直至所述铲片本体的一个侧壁贴合在所述支撑平台上；然后所述第二推动件推动所述铲片本体朝向晶元移动，并能够把晶元从所述支撑平台上铲离，铲离后的晶元依靠自身重力能够从所述支撑平台上滑落。上述的设置方式，省却了外部的转移单元的引入，在降低成本的基础上，还能够降低安装难度。另外，由于晶元与所述支撑平台之间的贴附力较小，在倾斜状态下进行铲离工序，并且结合重力的因素，晶元能够较容易地相对所述支撑平台脱落，进而有效地降低铲离难度。
[0017]为让本技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1是本技术实施例中的整体装置结构示意图；
[0020]图2是本技术实施例中的支撑单元结构剖视图；
[0021]图3是本技术实施例中的支撑单元俯视图；
[0022]图4是本技术实施例中的铲片单元结构示意图。
[0023]以上附图的附图标记：1、支撑单元；2、铲片单元；3、传感件；4、第三推动件；11、支撑基座；12、支撑平台；13、驱动单元；14、安装平台；15、限位块；16、转动件；21、铲片本体；22、第一推动件；23、第二推动件；100、料件。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]需要说明的是，在本技术的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的和区别类似的对象，两者之间并不存在先后顺序，也不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0026]实施例1
[0027]结合图1至图4所示，本实施例中公开了一种用于料件的支撑转移机构，包括支撑单元 1、驱动单元13以及铲片单元2，其中所述铲片单元2位于所述支撑单元1的上方。所述
支撑单元1能够有效地支撑并转移料件100，本方式中的料件100可以为晶元。如果采用平铲的方式，铲离后的晶元还需要借助外部机构实现从所述支撑单元1上转移。针对上述问题，本申请采用斜铲的方式，能够有效地解决上述问题。
[0028]着重结合图2和图3所示，本实施方式中的所述支撑单元1包括支撑基座11、用于支撑料件100的支撑平台12，所述支撑平台12设置在所述支撑基座11上且位于第一平面内。此处的所述第一平面定义为水平面。
[0029]其中，所述支撑平台12呈圆盘状，多个晶圆呈圆环阵列均布在所述支撑平台12上。所述支撑基座11上设置有转动件16，该转动件16可以为电机，本方式中选取精度要求较好的伺服电机。所述支撑平台12固定设置在所述伺服电机的输出端上，进而所述伺服电机能够带动所述支撑平台12间歇式旋转过预设角度，使得每个晶元都能够旋转至与所述铲片单元2 对应的位置，进而被铲离。值得注意的是，所述支撑平台12的中心位置处采用插销的方式能够实现与所述伺服电机的输出端固定连接。
[0030]所述驱动单元13位于所述支撑基座11的左侧，本方式中的所述驱动单元13可以为顶出气缸。所述顶出气缸的输出端与所述支撑基座11连接，以使得所述顶出气缸能够在斜向上顶出的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于料件的支撑转移机构，其特征在于，包括支撑单元、驱动单元以及铲片单元；所述支撑单元包括支撑基座、用于支撑料件的支撑平台，所述支撑平台设置在所述支撑基座上且位于第一平面内；所述驱动单元能够与所述支撑基座驱动连接，以驱动所述支撑基座相对第一平面转过预设角度；所述铲片单元与转过预设角度的所述支撑基座位于同一平面内，所述铲片单元能够在朝向所述支撑基座移动至预设位置后将料件从所述支撑平台上铲离。2.如权利要求1所述的用于料件的支撑转移机构，其特征在于，包括设置在所述支撑基座上且位于第一平面内的安装平台、位于外部且与所述安装平台机械配合的限位块，所述安装平台能够在所述驱动单元驱动下转过预设角度后与所述限位块抵接。3.如权利要求1所述的用于料件的支撑转移机构，其特征在于，所述支撑基座上设置有转动件，所述支撑平台安装在所述转动件的输出端上，所述转动件能够驱动所述支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡小辉，
申请(专利权)人：苏州辰轩光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：