【技术实现步骤摘要】
防掉落装置及空中运输车
[0001]本专利技术属于自动控制
,更确切的说涉及半导体制造技术,尤其涉及一种防掉落装置及空中运输车。
技术介绍
[0002]在半导体制造工厂中,常常需要使用空中运输车(也称天车)来搬运晶圆盒,而晶圆属于易碎的贵重物品,且需要在厂房内空中运输,因而需要在空中运输车中设置防掉落装置。
[0003]现有空中运输车的防掉落装置,其伸缩驱动结构采用的是步进电机搭配减速机和定制凸轮实现伸展或者收缩传动,因而机构体积大、结构复杂且笨重,还有凸轮为定制件,定制件加工难度大、一致性低,机架容错率低,安装及调试难度大,也不利于设备长期稳定工作。
[0004]基于此,本申请提供了解决以上技术问题的技术方案。
技术实现思路
[0005]本专利技术提供一种防掉落装置及空中运输车,可基于单个通用直流电机对机构的伸缩进行驱动,降低各个部件选型及采购难度,简化驱动结构,减小设备占用体积,减轻设备重量,有利于安装及调试,提高机架容错率和设备长期工作稳定性。
[0006]本专利技术提供的
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种防掉落装置,其特征在于,应用于空中运输车,包括:安装板、电机、第一支撑座、第二支撑座、滚珠丝杆、滑块连接座和四边形联动机构,所述四边形联动机构包括由第一连接臂、第二连接臂、第三连接臂和第四连接臂构成的四边形联动结构;所述电机、所述第一支撑座和所述第二支撑座安装于所述安装板上,所述滚珠丝杆穿过所述滑块连接座后支承于所述第一支撑座和所述第二支撑座之间,所述四边形联动机构中相对设置的第二连接臂和第四连接臂各自通过对应轴承座安装于所述安装板上,所述滑块连接座的第一端与所述第一连接臂连接,所述电机的输出轴与所述滚珠丝杆的一端连接;其中,所述电机驱动所述滚珠丝杆,所述滚珠丝杆带动所述滑块连接座移动,所述滑块连接座带动所述第一连接臂移动,使得所述四边形联动机构伸展或收缩,以用于所述空中运输车搬运目标物时防止所述目标物掉落。2.根据权利要求1所述的防掉落装置,其特征在于,所述防掉落装置还包括滑轨,所述滑轨安装于所述安装板上,所述滑块连接座的第二端与所述滑轨滑动连接,以使所述滑块连接座的第二端限定在所述滑轨上移动。3.根据权利要求1所述的防掉落装置,其特征在于,所述滑块连接座的第一端下方内部设置有凹槽,所述凹槽安装有滚子轴承;所述滑块连接座的第一端与所述第一连接臂连接包括:所述滑块连接座的第一端通过所述滚子轴承与所述第一连接臂连接。4.根据权利要求1所述的防掉落装置,其特征在于,所述防掉落装置还包括第一传感器、第二传感器和检测板,所述检测板安装于所述滑块连接座上;其中,所述第一传感器和所述检测板配合工作,用于检测所述四边形联动机构是否伸展到第一预定位置;所述第二传感器和所述检测板配合工作,用于检测所述四边形联动机构是否收缩到第二预定位置。5.根据权利要求4所述的防掉落装置,其特征在于,所述第一传感器安装于所述第一支撑座上,所述第二传感器安装于所述第二支撑座上。6.根据权利要求4所述的防掉落装置,其特征在于,所述第一传感器包括第一光发射组件和第一光接收组件...
【专利技术属性】
技术研发人员:杜宝宝,缪峰,
申请(专利权)人:弥费实业上海有限公司,
类型:发明
国别省市:
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