一种非接触式移动测量设备及系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种非接触式移动测量设备及系统，用于料件厚度测量，该料件包括第一本体和第二本体，该设备包括测量单元和多驱单元，所述测量单元包括光源件和光谱仪，所述光源件能够朝向料件表面发射入射光线，所述入射光线在作用于第一本体表面被反射后形成第一反射光线，所述入射光线在作用于第二本体表面被反射后形成第二反射光线；所述光谱仪能够接收所述第一反射光线和第二反射光线；所述多驱单元包括第一丝杆件、第二丝杆件及安装件；所述第一丝杆件和第二丝杆件能够驱动安装件在平面内相对料件移动；所述测量单元转动设置在安装件上。本实用新型专利技术至少包括以下优点：利用测量件的非接触设置及多驱配合，能够实现测量精准及多方位测量。量精准及多方位测量。量精准及多方位测量。

【技术实现步骤摘要】
一种非接触式移动测量设备及系统


[0001]本技术涉及测量
，具体的是一种非接触式移动测量设备及系统。

技术介绍

[0002]本部分的描述仅提供与本技术公开相关的背景信息，而不构成现有技术。
[0003]工业生产中，测量设备作为检测产品合格参数的必要器件，应用的非常广泛。其中，晶元制作过程中晶元表面涂覆的蜡体厚度的测量可以为测量设备的表现之一。目前通常采用接触式测量的方式，利用设置在晶元相对两侧的两个测量头之间的配合实现厚度的检测，这种检测方式对晶元的表面具有一定的损伤，且误差值较大。另外现有技术中常见的非接触测量方式，由于测量头的固定设置方式，测量位置局限性较大。
[0004]应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本技术的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本技术的
技术介绍
部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

技术实现思路

[0005]为了克服现有技术中的缺陷，本技术实施例提供了一种非接触式移动测量设备及系统，其利用测量件的非接触设置方式及多驱配合，能够有效实现测量精准及多方位测量。
[0006]本申请实施例公开了：一种非接触式移动测量设备，用于料件厚度的测量，该料件包括第一本体和第二本体，所述第一本体采用透光材料制成，包括测量单元和多驱单元，
[0007]所述测量单元包括光源件和光谱仪，
[0008]所述光源件能够朝向料件表面发射入射光线，所述入射光线在作用于第一本体表面被反射后形成第一反射光线，所述入射光线在作用于第二本体表面被反射后形成第二反射光线，所述第一反射光线平行于所述第二反射光线；
[0009]所述光谱仪能够接收所述第一反射光线和第二反射光线；
[0010]所述多驱单元包括第一丝杆件、第二丝杆件及安装件；所述第一丝杆件和第二丝杆件均位于相对所述料件平射设置的第一平面内，所述第二丝杆件和安装件能够在所述第一丝杆件的驱动下沿第一方向同步移动，所述第二丝杆件能够驱动所述安装件沿第二方向同步移动；
[0011]所述测量单元转动设置在所述安装件上。
[0012]进一步地，所述多驱单元还包括均位于第一平面内的第一安装板和第二安装板，所述第一安装板和所述第二安装板叠放设置，所述第一安装板和第二安装板之间通过第一导轨滑动连接，所述第一丝杆件设置在第一安装板上，所述第二丝杆件设置在第二安装板上。
[0013]进一步地，所述第二安装板的边缘能够锁紧在所述第一丝杆件的螺母副上，所述安装件的第一端能够被锁紧在第二丝杆件的螺母副上。
[0014]进一步地，所述第二安装板位于所述第一安装板背离所述料件一侧，所述第一安装板和第二安装板上均开设有供所述安装件穿设的避让孔。
[0015]进一步地，所述第一导轨的数量至少设置有两个，两个所述第一导轨沿第一方向延伸且沿第二方向间隔设置。
[0016]进一步地，所述第二安装板上设置有第二导轨，所述第二导轨的数量至少设置有两个，两个所述第二导轨沿第二方向延伸且沿第一方向间隔设置，所述安装件的第一端向外延伸形成有安装部，两个所述第二导轨均与所述安装部滑动设置。
[0017]进一步地，包括第一遮断式传感件和第二遮断式传感件，所述第一遮断式传感件能够在第一方向上对所述测量单元的运动形行程进行限位，所述第一遮断式传感件能够在第二方向上对所述测量单元的运动形行程进行限位。
[0018]本申请实施例还公开了：一种非接触式移动测量系统，包括所述非接触式移动测量设备，还包括承载件和壳体件，
[0019]所述承载件用于承载料件，且位于所述测量单元的下方；
[0020]所述壳体件包括本体，设置在所述本体上的透视件，所述透视件和本体能够围合形成一密封空间，所述非接触式移动测量设备和承载件均位于所述密封空间内。
[0021]进一步地，所述透视件采用透明玻璃材质或透明塑料材质制成。
[0022]借由以上的技术方案，本技术的有益效果如下：采用非接触式测量方式，能够有效避免对料件表面的损伤，结合多驱单元，所述第一丝杆件能够驱动测量单元在水平面内沿左右方向移动，所示第二丝杆件能够驱动测量单元在水平面内沿前后方向移动，进而可以对预设的多点进行测量，实现多方位的测量，然后利用算法核算出平均值的方式，更加提高测量结果的准确性。
[0023]为让本技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1是本技术实施例中的整体装置结构示意图；
[0026]图2是本技术实施例中的光线走向示意图；
[0027]图3是本技术实施例中的部分结构示意图；
[0028]图4是本技术实施例中的部分结构剖视图。
[0029]以上附图的附图标记：1、第一本体；2、第二本体；3、测量单元；4、多驱单元；5、入射光线；6、第一反射光线；7、第二反射光线；8、第一丝杆件；9、第二丝杆件；10、安装件；11、第一安装板；12、第二安装板；13、第一导轨；14、第二导轨；15、安装部；16、避让孔；17、第一遮断式传感件；18、第二遮断式传感件；19、承载件；20、壳体件。
具体实施方式
[0030]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]需要说明的是，在本技术的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的和区别类似的对象，两者之间并不存在先后顺序，也不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0032]结合图1至图4所示，本实施例公开了一种非接触式移动测量设备，用于料件厚度的测量，该料件包括第一本体1和第二本体2，所述第一本体1采用透光材料制成，该设备包括测量单元3和多驱单元4，
[0033]所述测量单元3包括光源件和光谱仪，
[0034]所述光源件能够朝向料件表面发射入射光线5，所述入射光线5在作用于第一本体1表面被反射后形成第一反射光线6，所述入射光线5在作用于第二本体2表面被反射后形成第二反射光线7，所述第一反射光线6平行于所述第二反射光线7；
[0035]所述光谱仪能够接收所述第一反射光线6和第二反射光线7；<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种非接触式移动测量设备，用于料件厚度的测量，该料件包括第一本体和第二本体，所述第一本体采用透光材料制成，其特征在于，包括测量单元和多驱单元，所述测量单元包括光源件和光谱仪，所述光源件能够朝向料件表面发射入射光线，所述入射光线在作用于第一本体表面被反射后形成第一反射光线，所述入射光线在作用于第二本体表面被反射后形成第二反射光线，所述第一反射光线平行于所述第二反射光线；所述光谱仪能够接收所述第一反射光线和第二反射光线；所述多驱单元包括第一丝杆件、第二丝杆件及安装件；所述第一丝杆件和第二丝杆件均位于相对所述料件平射设置的第一平面内，所述第二丝杆件和安装件能够在所述第一丝杆件的驱动下沿第一方向同步移动，所述第二丝杆件能够驱动所述安装件沿第二方向同步移动；所述测量单元转动设置在所述安装件上。2.如权利要求1所述的非接触式移动测量设备，其特征在于，所述多驱单元还包括均位于第一平面内的第一安装板和第二安装板，所述第一安装板和所述第二安装板叠放设置，所述第一安装板和第二安装板之间通过第一导轨滑动连接，所述第一丝杆件设置在第一安装板上，所述第二丝杆件设置在第二安装板上。3.如权利要求2所述的非接触式移动测量设备，其特征在于，所述第二安装板的边缘能够锁紧在所述第一丝杆件的螺母副上，所述安装件的第一端能够被锁紧在第二丝杆件的螺母副上。4.如权利要求2所述的非接触式移动测量设备，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡小辉，
申请(专利权)人：苏州辰轩光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：