等离子显示面板的塑性装置及制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术是关于等离子显示面板的塑性装置及利用此装置的等离子显示面板的制造方法，本发明专利技术中等离子显示面板的塑性装置包括塑性炉，微波源装置，向微波源装置提供电源的电源供给装置及将微波源装置的微波传递到塑性炉内的波导。利用塑性装置的等离子显示面板的制造方法，包括以下阶段的等离子显示面板的制造方法：基板上喷涂包含玻璃粉末的浆料阶段；将上述浆料进行曝光及显像形成图案的阶段；形成上述图案的浆料在微波被提供的塑性炉塑性的阶段。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于等离子显示面板的，更详细说明，它是关于降低塑性温度的等离子显示面板的塑性装置及利用此装置的等离子显示面板的制造方法。
技术介绍
一般的等离子显示面板中，在前面板与后面板之间形成的隔板成为一个个单元，在各单元内充满了氖(Ne)，氦(He)或者氖及氦的混合气体(Ne+He)等主放电气体与含有少量的氙(Xe)的惰性气体。高频率电压引起放电时，惰性气体产生真空紫外线(Vacuum Ultraviolet rays)并使隔板之间形成的发光来显示画面，这样的等离子显示结构如图1中表示。图1是一般等离子显示面板的结构示意图。如图1所示，前面玻璃(100)上部形成由透明电极及总线电极构成的扫描电极(101)与维持电极(102)配对构成的维持电极对，扫描电极(101)与维持电极(102)上形成限制放电电流，绝缘电极之间的绝缘层(103)。这样的绝缘体层(103)上附着由氧化镁(MgO)构成的的保护层(104)。以上部分构成前面基板。相反，后面基板的后面玻璃(110)上形成寻址电极(111)，此电极与上述前面基板的扫描电极(101)及维持电极(102)交叉排列，寻址电极(111)上部形成白包White-Bag(112)。此白包(112)上部形成区分单位放电单元的隔板(113)，而这些隔板(113)之间喷涂R，G，B荧光剂形成荧光剂层(114)。具有以上结构的等离子显示面板经过曝光、显像及蚀刻(etching)工程、塑性工程等过程形成。这里，曝光工程是指为了形成一定的图案，掩膜(MASK)覆盖后用紫外线等光源进行曝光的过程。然后，进行显像及蚀刻(etching)工程形成等离子显示面板的图案。最后，通过塑性工程和设备完成一定的图案。通过以上的工程形成组成等离子显示面板的电极、绝缘体层、隔板及荧光剂层。在这些电极、绝缘层、隔板及荧光剂层经过上述各个过程，喷涂浆料形成，其中塑性工程一般在500℃以上的高温塑性温度下完成图案形成过程。但因为很高的塑性温度中加工，前面后面基板中的前后面玻璃及包含玻璃粉末的绝缘层、隔板、荧光剂层会发生变形，导致发生面板的均匀性下降等问题。为了防止如此产生的面板均匀性下降，通常利用耐高温的玻璃，但这种玻璃的价格昂贵，导致降低等离子显示面板的生产收益。
技术实现思路
本专利技术目的是通过改善等离子显示面板的制造工程时使用的塑性装置，可提高等离子显示面板的生产收益及面板的均匀性。本专利技术的目的还在于提供这样的等离子显示面板的塑性装置及利用此装置的等离子显示面板的制造方法。为了完成上述目的，本专利技术中等离子显示面板的塑性装置包含塑性炉、微波源装置、向上述微波源装置提供电源的电源供给装置及将微波从微波源装置传递到上述塑性炉的波导。上述塑性炉上形成包含加热器的基板支持台与基板为特征。上述微波源装置为磁控管是其特征之一。上述微波的频率为300MHz以上3000MHz以下为特征。利用以上等离子显示面板的塑性装置的等离子显示面板的制造方法包括以下阶段基板上部喷涂包含玻璃粉末的一定涂浆料的阶段；将浆料进行曝光并显像来形成图案的阶段；形成图案的浆料在塑性炉内被塑性的阶段。上述一定的浆料用于绝缘体、隔板、荧光剂中一个以上组成为特点。上述浆料的塑性温度是400℃以上500℃以下为特征。附图说明图1是一般等离子显示面板的结构示意图。图2是本专利技术中等离子显示面板塑性装置的示意图。图3是本专利技术中等离子显示面板的制造方法的顺序图。<图中符号说明>200塑性炉210基板支持台220加热器230基板240波导 250微波源装置260电源供给装置具体实施方式下面，参考附图详细说明本专利技术的实施例。图2是本专利技术中等离子显示面板塑性装置的示意图。如图2所示，本专利技术中等离子显示面板的塑性装置由塑性炉(200)、波导(240)、微波源装置(250)、电压供给装置(260)等部分组成。首先观察塑性炉(200)，塑性炉(200)上形成基板支持台(210)，支持台(210)上包含提供热量的加热器(220)，基板支持台(210)上部置基板(230)。启动塑性炉(200)内部的加热器(220)，在一定的塑性温度中进行塑性工程。波导(240)连接塑性炉(200)与微波源装置(250)，将微波从微波源装置(250)传递到塑性炉(200)。微波源装置(250)是产生微波的装置，是一种称为磁控管的振荡器。这样的磁控管产生微波，此微波是频率为300MHz以上3000MHz以下的微波。最后，电源供给装置(260)是指提供微波产生需要的电源的装置。如上，塑性炉(200)内的下部支持基板(230)，在塑性炉的上部提供微波时只能利用包含在基板支持台(210)的加热器(220)产生的热量来进行形成图案的塑性工程。但在本专利技术中，除了加热器(220)产生的热量，微波产生热量也能被利用于塑性工程，因此可降低制作等离子显示面板过程中实际塑性温度。同时，因为微波源装置(250)产生的微波是极超短波，可以在短时间内达到设定温度，缩短塑性工程时间。利用这样的塑性装置形成的本专利技术中等离子显示面板的制造方法如下。图3是现有等离子显示面板的制造方法顺序图。如图3所示，现有等离子显示面板的制造方法包含图3的左侧列出的前面基板制造过程；右侧列出的后面基板的制造过程；结合通过前面制造过程形成的前面基板与后面基板的过程。首先介绍图3左侧列出的前面基板制造过程。准备前面玻璃(300)后，在准备的前面玻璃上部形成扫描电极与维持电极(301)。这样的扫描电极与维持电极由透明电极及总线电极组成。形成扫描电极与维持电极的方法如下，首先，在由氧化铟(indium)与氧化铟锡ITO(Indium Tin Oxide)物质形成的透明电极膜上部利用干燥的薄膜进行层压，用形成一定图案的遮光模(Photo Mask)曝光后，通过显像及蚀刻(etching)工程形成透明电极。如此形成的透明电极上部用银(Ag)浆料以全屏印刷方式印刷后，与透明电极的形成过程相同进行曝光并形成总线电极。然后，在550℃左右的温度加热进行塑性时，透明电极与总线电极被一体化形成扫描电极与维持电极。形成这样的维持电极时无法利用本专利技术的塑性装置，原因在于微波会导致形成总线电极的银等金属物被融化并污染面板。如此形成维持电极对后，维持电极对上部形成绝缘层(302)，在包含维持电极对的前面玻璃上喷涂包含玻璃粉末的绝缘体浆料后，利用本专利技术中等离子显示面板的塑性装置形成绝缘层。这时，塑性浆料的塑性温度为400℃以上500℃以下，可在比现有的塑性温度低的温度下进行塑性。这样形成的绝缘层上形成由氧化镁(MgO)构成的保护层后(303)前面基板就完成了。然后介绍图3右侧列出的前面基板制造过程。同前面基板一样准备后面玻璃(310)后，在后面玻璃上，与上述维持电极对交叉形成寻址电极(311)。这样的寻址电极与前面基板的扫描电极及维持电极相同，由透明电极及总线电极组成，其形成方法也与上述方法相同。然后，寻址电极上形成白包White-Bag(312)，白包White-Bag上形成分隔放电单元的隔板(313)。这样的隔板形成过程如下用包含玻璃粉末的浆料多次印刷后进行曝光，用喷沙法形成隔板的图案后，利用本专利技术中等离子显示面板的塑性装置塑性形成本文档来自技高网...

【技术保护点】
等离子显示面板的塑性装置，包含以上部分的等离子显示面板的塑性装置：塑性炉；微波源装置；其特征是设有向上述微波源装置提供电源的电源供给装置；另设有将上述微波从微波源装置传递到塑性炉内的波导。

【技术特征摘要】
KR 2005-7-5 10-2005-00602201.等离子显示面板的塑性装置，包含以上部分的等离子显示面板的塑性装置塑性炉；微波源装置；其特征是设有向上述微波源装置提供电源的电源供给装置；另设有将上述微波从微波源装置传递到塑性炉内的波导。2.根据权利要求1所述的等离子显示面板的塑性装置，其特征是上述塑性炉内形成包含加热器的基板支持台与基板为特征的等离子显示面板塑性装置。3.根据权利要求1所述的等离子显示面板的塑性装置，其特征是等离子显示面板的塑性装置中，上述微波源装置是磁控管。4.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：金甫铉，
申请(专利权)人：乐金电子南京等离子有限公司，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]