行走装置及空中运输车制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种行走装置及空中运输车，其中行走装置包括行走轮组、第一基板和驱动机构，行走轮组包括行进轮组和辅助轮组，驱动机构包括减速机和伺服电机，行进轮组与减速机的输出轴连接，伺服电机的输出轴与减速机的输入轴连接，伺服电机的轴向平行于行进轨道的行进方向，减速机和伺服电机安装于第一基板的上表面，辅助轮组安装于第一基板的下表面，伺服电机驱动减速机，减速机驱动行进轮组在行进轨道上按预设路线行进，辅助轮组沿行进轨道的内侧行走。通过采用通用减速机搭载伺服电机驱动行走轮组，结构合理，轴心到电机的距离最小化，空间占用率小，转弯半径小，无需定制减速机，选型及采购便利，有利于在自动化工厂中应用部署空中运输车。中运输车。中运输车。

【技术实现步骤摘要】
行走装置及空中运输车


[0001]本专利技术属于自动控制
，更确切的说涉及半导体制造设备，尤其涉及一种行走装置及空中运输车。

技术介绍

[0002]在半导体制造工厂(简称晶片厂，Fab)中，需要使用空中运输车搬运晶圆盒，即Fab中晶片传送，一般以空中运输车为载体来完成各个工序之间的衔接、工序区之间或工厂车间之间运输衔接。
[0003]现有空中运输车的行走系统，其动力传输系统中需要使用定制化的减速机，系统结构不尽合理，整个行走系统结构复杂，需要占用较大空间体积，重量重，转弯半径大等，不利于空中运输车在自动化工厂中部署应用。
[0004]基于此，本申请提供了解决以上技术问题的技术方案。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供一种行走装置及空中运输车，可通过小型化、扁平化的结构设计，简化行走系统的整体结构，使得行走系统中轴心到电机的距离最小化，减少空间的占用率，以及行走系统的转弯半径小，有利于在自动化工厂中应用部署空中运输车的行走系统。
[0006]本专利技术提供的技术方案如下：
[0007]本专利技术提供一种行走装置，应用于空中运输车，包括行走轮组、第一基板和驱动机构，所述行走轮组包括行进轮组和辅助轮组，所述驱动机构包括减速机和伺服电机；
[0008]所述行进轮组与所述减速机的输出轴连接，所述伺服电机的输出轴与所述减速机的输入轴连接，所述伺服电机的轴向平行于行进轨道的行进方向；
[0009]所述减速机和所述伺服电机安装于所述第一基板的上表面，所述辅助轮组安装于所述第一基板的下表面；
[0010]其中，所述伺服电机驱动所述减速机，所述减速机驱动所述行进轮组在行进轨道上按预设路线行进，所述辅助轮组沿所述行进轨道的内侧行走。
[0011]可选地，所述行走装置还包括转向控制机构，所述转向控制机构包括旋转电磁铁、拨动机构和滑轨，所述行走轮组还包括导向轮组；
[0012]所述导向轮组安装于所述滑轨的滑动连接座上，所述滑轨安装于所述减速机的顶部，所述导向轮组通过所述拨动机构与所述旋转电磁铁的输出轴连接，所述旋转电磁铁安装于所述减速机的一侧面，其中所述旋转电磁铁的输出轴轴向与所述伺服电机的轴向平行，所述滑轨的延伸方向与所述伺服电机的轴向垂直，当通过所述旋转电磁铁驱动所述拨动机构时，所述导向轮组在所述拨动机构带动下沿着所述滑轨上移动到第一预设位置，使得所述导向轮组在导向导轨的内测行走以按预设导向轨迹行进。
[0013]可选地，所述拨动机构包括拨杆、凸轮随动器和导向拨槽；
[0014]所述拨杆的一端与所述旋转电磁铁的输出轴连接，所述拨杆的另一端装有所述凸
轮随动器，所述凸轮随动器设置于所述导向拨槽的内部，所述导向拨槽固定于所述滑轨的滑动连接座上。
[0015]可选地，所述转向控制机构还包括第一检测部，所述第一检测部用于检测所述拨动机构的移动位置并输出第一检测信号，所述第一检测信号用于表征所述拨动机构是否移动到第二预设位置。
[0016]可选地，所述第一检测部包括第一传感器和第一感应片，所述第一传感器安装于所述旋转电磁铁上，所述第一感应片安装于所述拨动机构上，以所述第一感应片跟随所述拨动机构移动时触发所述第一传感器输出所述第一检测信号。
[0017]可选地，前述任意一项实施例提供的所述行走装置，还可包括第二基板和转轴，所述第一基板通过所述转轴与所述第二基板连接。
[0018]可选地，所述行走装置还包括无线取电装置，所述无线取电装置用于从布设的高频电缆中无线取电后为所述伺服电机提供电力。
[0019]可选地，所述无线取电装置安装于所述第二基板的上表面，以与所述转轴相距预定距离。
[0020]可选地，所述无线取电装置包括E型取电器和安装支架，所述E型取电器通过所述安装支架安装于所述第二基板的上表面，以切割所述高频电缆的磁场进行无线取电。
[0021]本专利技术提供一种空中运输车，包括前述任意一项所述的行走装置和车身本体，其中所述车身本体安装于所述行走装置的下方，所述行走装置沿着行进轨道行进以将所述车身本体移动到指定位置。
[0022]本专利技术提供一种行走装置及空中运输车，能够带来以下至少一种有益效果：
[0023]通过采用通用的减速机搭载伺服电机驱动行走轮组，并将伺服电机的轴向设置为平行于行进方向，这种结构使行进中的轴心到电机的距离最小化，可减小空间占用率，更节省空间，行走转弯半径更小，而且无需定制减速机，可在部件采购上不需要特殊定制，采购便捷，安装及调试容易，有利于在自动化工厂中应用部署空中运输车。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0025]图1为本专利技术提供的一种行走装置的结构示意图；
[0026]图2为本专利技术提供的一种行走装置的结构示意图；
[0027]图3为本专利技术提供的一种行走装置的结构示意图；
[0028]图4为本专利技术提供的一种行走装置的结构示意图；
[0029]图5为本专利技术提供的一种行走装置的结构示意图；
[0030]图6为本专利技术提供的一种行走装置的结构示意图；
[0031]图7为本专利技术提供的一种行走装置的结构示意图。
具体实施方式
[0032]下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。
[0033]以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0034]要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
[0035]还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种行走装置，其特征在于，应用于空中运输车，包括行走轮组、第一基板和驱动机构，所述行走轮组包括行进轮组和辅助轮组，所述驱动机构包括减速机和伺服电机；所述行进轮组与所述减速机的输出轴连接，所述伺服电机的输出轴与所述减速机的输入轴连接，所述伺服电机的轴向平行于行进轨道的行进方向；所述减速机和所述伺服电机安装于所述第一基板的上表面，所述辅助轮组安装于所述第一基板的下表面；其中，所述伺服电机驱动所述减速机，所述减速机驱动所述行进轮组在行进轨道上按预设路线行进，所述辅助轮组沿所述行进轨道的内侧行走。2.根据权利要求1所述的行走装置，其特征在于，所述行走装置还包括转向控制机构，所述转向控制机构包括旋转电磁铁、拨动机构和滑轨，所述行走轮组还包括导向轮组；所述导向轮组安装于所述滑轨的滑动连接座上，所述滑轨安装于所述减速机的顶部，所述导向轮组通过所述拨动机构与所述旋转电磁铁的输出轴连接，所述旋转电磁铁安装于所述减速机的一侧面，其中所述旋转电磁铁的输出轴轴向与所述伺服电机的轴向平行，所述滑轨的延伸方向与所述伺服电机的轴向垂直，当通过所述旋转电磁铁驱动所述拨动机构时，所述导向轮组在所述拨动机构带动下沿着所述滑轨上移动到第一预设位置，使得所述导向轮组在导向导轨的内侧行走以按预设导向轨迹行进。3.根据权利要求2所述的行走装置，其特征在于，所述拨动机构包括拨杆、凸轮随动器和导向拨槽；所述拨杆的一端与所述旋转电磁铁的输出轴连接，所述拨杆的另一端装有所述凸轮随动器，所述凸轮随动器设置于所述导向拨槽的内部，所述导向拨槽固定于所述滑轨...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜宝宝，缪峰，
申请(专利权)人：弥费实业上海有限公司，
类型：发明
国别省市：