等离子显示面板制造技术

本发明专利技术提供一种ＰＤＰ，其具有形成于基板（１０３）上的显示电极（１０６）、电介质层（１０７）和保护膜（１０８），保护膜（１０８）为包含氧化镁的金属氧化膜，且保护膜（１０８）的任意点的膜厚、和任意点的通过阴极发光法测出的发光波长４００ｎｍ到４５０ｎｍ之间的最大发光强度（Ａ↓［２］）与发光波长３３０ｎｍ到３７０ｎｍ之间的最大发光强度（Ａ↓［１］）的比率（Ａ↓［２］／Ａ↓［１］）之积，作为保护膜（１０８）的面内分布在±１５％以内的偏差范围内。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有抑制放电延迟时间在基板面内的偏差的保护膜的等 离子显示面板。
技术介绍
近几年，在计算机或电视机等用于图像显示的彩色显示设备中，液晶显示面板(LCD)、场致发光显示面板(FED)、等离子显示面板(以下称 为PDP)等平板显示面板作为能实现大型化与薄型化的显示设备而被关 注。其中，尤其是PDP具备高速响应性或高视角等优点，面向高精细*高 图像质量化的开发正在激烈地开展。PDP基本上由前面板与背面板构成。前面板由以下部分构成玻璃基 板；由在其一个主面上形成的条状透明电极及总线电极所构成的扫描电极以及维持电极构成的显示电极；覆盖显示电极并作为电容器起作用，基于 放电形成壁电荷的电介质层；形成于电介质层上的保护膜。另一方面，背 面板由以下部分构成玻璃基板；在其一个主面上在与显示电极交叉的方 向上形成的条状地址电极；覆盖地址电极的电介质层；形成于其上的隔墙； 形成于各隔墙之间且分别发出红色光、绿色光、蓝色光的荧光体层。使前面板与背面板的电极形成面侧对置并进行气密粘接，在由隔墙形 成放电单元的放电空间中，以400Torr—600Torr的压力封入Ne-Xe等放电 气体。通过有选择地向显示电极施加视频信号电压，从而使放电气体放电， 由此产生的紫外线激励各种颜色的荧光体层，使之发出红色光、绿色光、 蓝色光，实现彩色图像显示。形成于前面板的电介质层上的保护膜以电子射束蒸镀法等薄膜工艺 形成由耐飞溅性与二次电子发射特性优越的氧化镁(MgO)等金属氧化膜，因此被广泛应用。由于MgO优越的耐飞溅性，可以保护电介质层不会受到放电引起的离子冲击(spattering:飞溅)的影响。再有，由于氧化镁较 高的二次电子发射特性，可以起到在放电单元内有效发射二次电子、以使 开始放电的电压下降的作用。再有，公知作为保护膜的氧化镁薄膜由于例如氧缺损或杂质混入等的 错误而导致其膜质或物性变化。在形成保护膜的工序中，例如通过在电子 射束蒸镀室内以规定的分压提供氧气(02)，从而调整MgO薄膜的氧缺损 量，以控制形成为目标物性。未提供氧气而形成的膜中容易产生氧缺损的 原因在于在通过电子射束照射而使作为膜原料的MgO等金属氧化物蒸 发之际，氧原子容易自膜原料中脱离出来。因此，需要始终向生长表面提 供氧气。PDP进一步提高针对大画面全高清晰电视机等的大画面高精细化的 要求，还希望画面面积或扫描线数的增加、伴随与此的地址期间的縮短。 为了縮短地址期间，要求保护膜具有更高的二次电子发射性能。即，伴随 放电单元结构的高精细化，扫描线数在增加，需要縮窄地址期间施加的地 址脉冲的脉冲宽度，进而进行高速驱动。放电现象中存在以下放电延迟， 即自施加脉冲的上升沿开始延迟很久后才进行实际的放电。因此，在所施 加的脉冲宽度内放电结束的概率降低，产生无法写入原本应该点亮的单元 内等点亮不良，被视为画面显示的闪烁。为了进一步縮短该放电延迟时间，要求保护膜具有更加良好的二次电子发射性能。公开了一种示例，其中通过相对于波长400nm 1000nm的光，将保 护膜的折射率设为1.4 2.0，从而缩短放电延迟时间，也提高了耐飞溅性 能，可以维持良好的显示品质(例如参照专利文献l)。再有，公开了通过对导入氧气而形成的保护膜进行氢等离子处理， 并将保护膜的体积电阻率设为3.5Xl()UQ'cm或者使此时氢原子的个数 相对于全部原子的个数IOO而含有3个以上，从而可以縮短放电延迟时间， 降低放电电压(例如参照专利文献2)。专利文献1:特开2003 — 317631号公报专利文献2:特开2002 — 33053号公报公知放电延迟时间根据MgO薄膜的膜厚的不同而变化。认为这是因 为相对于膜厚而言，MgO薄膜的晶体生长程度不同，二次电子发射特性也会产生不同。因此，保护膜的膜厚分布的影响会波及到对放电延迟时间在基板面内分布的影响。在现有的、PDP的分辨率为1366X768的高清 晰电视机(high definition television)中，若放电延迟时间的基板面内分布 在±50%以内，则可以实现不会产生不亮等不良现象的图像显示。然而， 在PDP的分辨率为1920X1080的高清晰电视机中，若放电延迟时间的基 板内分布进一步减小，则存在图像显示中发生不良的问题。因此，针对近年的高精细化、高画面质量化的PDP，要求更进一步的 放电延迟时间的缩短与面内的均衡性。在采用上述专利文献1或专利文献 2的技术所涉及的保护膜的情况下，放电延迟时间的基板面内分布为士 40%以上的范围，变得不均衡，无法实现稳定化。因此，无法得到足够放 电特性的放电单元存在于面内，产生不亮或初始化时的误放电等点亮不良 或显示闪烁等问题。
技术实现思路
本专利技术正是为了解决上述问题的专利技术，其目的在于提供一种具有抑制 了放电延迟时间在基板面内的偏差的保护膜的PDP (等离子显示面板)。为了实现上述目的，本专利技术的PDP具有形成于基板上的显示电极、电 介质层和保护膜，其中所述保护膜为包含氧化镁的金属氧化膜，且是所述 保护膜的任意点的膜厚、和所述任意点的通过阴极发光(cathode luminance)法测出的发光波长400nm到450nm之间的最大发光强度与发 光波长330rnn到370nm之间的最大发光强度之比的乘积，作为所述保护 膜的面内分布在±15%以内的偏差范围内的膜。通过采用这种构成，从而可以提供抑制放电延迟时间在基板面内的偏 差，且即使在全高清晰电视机的高精细显示中也能实现高画面质量的图像 显示的PDP。进而，所述保护膜可以是通过上述阴极发光法测出的发光波长400nm 到450nm之间的最大发光强度与发光波长330nm到370nm之间的最大发 光强度之比为1.08以上的膜，再有，希望上述保护膜是其平均膜厚在 700nm到900nm的范围内、且面内分布为± 10%以下的膜。根据这种构成，可以实现进一步抑制放电延迟时间在基板面内的偏差，即使在大画面中也能进行高精细且高画面质量的图像显示的PDP。根据本专利技术的PDP，可以实现抑制放电延迟时间在基板面内的偏差， 即使在大画面中也能进行高精细且高画面质量的图像显示的PDP。附图说明根据与附图有关的优选实施方式所关联的下述描述可以更加明确本专利技术的这些内容与其他目的、特征。在该附图中图1是表示本专利技术实施方式中的PDP的构成的立体图；图2是表示图1的上述实施方式的PDP的制造方法的一个工序中采用的成膜装置的图；图3是表示在上述实施方式的PDP中，MgO薄膜的阴极发光(cathode luminescence)的发光光谱的图；图4是表示在上述实施方式的PDP中，相对于分压检测机构检测出的 H20分压的基于阴极发光的最大发光强度A2与最大发光强度A,的比率 A2/A1的图；图5是表示在上述实施方式的PDP中，保护膜的膜厚与最大发光强度 比率之积、和PDP的标准化后的放电延迟时间的关系的图。具体实施方式在继续本专利技术的描述之前，在附图中对相同的部件赋予相同的参照标记。以下参照附图，对本专利技术的实施方式进行说明。 (实施方式)图1是表示本专利技术实施方式的PDP (等离子显示面板)的构成的立体图。如图1所示，PDP1为对置具有前面板102与背面板109的面放电型 的AC型PDP的结本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种等离子显示面板，其具有形成于基板（１０３）上的显示电极（１０６）、电介质层（１０７）和保护膜（１０８），　　　　所述保护膜为包含氧化镁的金属氧化膜，且所述保护膜的任意点的膜厚、和所述任意点的通过阴极发光法测出的发光波长４００ｎｍ到４５０ｎｍ之间的最大发光强度（Ａ↓［２］）与发光波长３３０ｎｍ到３７０ｎｍ之间的最大发光强度（Ａ↓［１］）的比率（Ａ↓［２］／Ａ↓［１］）之积，作为所述保护膜的面内分布在±１５％以内的偏差范围内。

【技术特征摘要】
JP 2007-1-15 2007-0056011.一种等离子显示面板，其具有形成于基板(103)上的显示电极(106)、电介质层(107)和保护膜(108)，所述保护膜为包含氧化镁的金属氧化膜，且所述保护膜的任意点的膜厚、和所述任意点的通过阴极发光法测出的发光波长400nm到450nm之间的最大发光强度(A2)与发光波长330nm到370nm之间的最大发光强度(A1)的比率(A2/A1)之积，作为所...

【专利技术属性】
技术研发人员：前岛聪，森田雅史，斋藤光央，冈崎浩司，本间义康，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]