【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于能谱测量分析和显微分析领域，特别涉及一种消除电子能量损失谱能谱漂移的自适应陷波方法及装置。
技术介绍
使用电子显微镜观察薄样品时，入射电子将与样品发生多种相互作用，导致电子以一定几率损失不同的能量。如果将出射电子按损失能量的大小在电子能量损失谱仪色散平面上进行强度记数，便可得到电子能量损失谱(Electron Energy-Loss Spectrum，缩写为EELS)，图1为标准的电子能量损失谱示意图。电子能量损失谱提供了丰富的试样信息，比如化学成分，化学键合以及固体结构、电子、声子等性质。与透射电子显微镜结合后，电子能量损失谱是纳米尺度下表征材料原位结构、性质的重要手段。 电子能量损失谱仪的普遍特征是具有一个电子能量分散器将电子束中不同能量的电子转化为它们在能量色散面上的空间分布。 根据电子能量分散器的工作原理，有通过正交电磁场分散能量的Wien过滤器，还有通过均匀磁场进行能量分散的Omega过滤器、Alpha过滤器和磁棱镜等(见文献R.F.Egerton，Electron Energy-Loss Spectroscopy in the...
【技术保护点】
一种消除电子显微镜的电子能量损失谱的能量漂移的方法，其特征在于，包含以下步骤： 步骤１，将电子能量分析仪（２）置于电子显微镜（１）中样品后合适位置，接收来自于薄样品的透射或经样品表面反射的电子束；快响应能谱探测器（３）置于电子能量分析仪（２）后的能量色散面上，以一定周期Ｔ↓［０］重复采集电子能量分析仪出口处电子能量色散面或与电子能量色散面等效位置上按空间分布的一定能量范围内的电子能量损失谱； 步骤２，在步骤１所述的每个能谱采集周期Ｔ↓［０］内对快响应能谱探测器（３）采集到的电子能量损失谱进行能谱漂移检测，获得能谱随时间的能量漂移量； 步骤３，在步骤１所述的...
【技术特征摘要】
CN 2007-9-3 20071012129621.一种消除电子显微镜的电子能量损失谱的能量漂移的方法，其特征在于，包含以下步骤步骤1，将电子能量分析仪(2)置于电子显微镜(1)中样品后合适位置，接收来自于薄样品的透射或经样品表面反射的电子束；快响应能谱探测器(3)置于电子能量分析仪(2)后的能量色散面上，以一定周期T0重复采集电子能量分析仪出口处电子能量色散面或与电子能量色散面等效位置上按空间分布的一定能量范围内的电子能量损失谱；步骤2，在步骤1所述的每个能谱采集周期T0内对快响应能谱探测器(3)采集到的电子能量损失谱进行能谱漂移检测，获得能谱随时间的能量漂移量；步骤3，在步骤1所述的每个能谱采集周期T0内将步骤2中获得的能谱漂移量输入自适应陷波器(6)，由自适应陷波器(6)输出下一能谱采集周期的漂移预测量；步骤4，在步骤1所述的每个能谱采集周期T0内将步骤3中获得的漂移预测量经输出接口模块(7)转换后，输入到电子能量分析仪(2)的电子束漂移管(15)的电压控制电路或经高低压隔离模块(10)输入电子显微镜(1)的高压发生器(11)或其它具有改变电子在能量色散面上位置以抵消能量漂移的模块或装置。2.一种用于实现权利要求1所述方法的装置，包含有电子显微镜(1)、置于电子显微镜(1)镜筒中或镜筒后的电子能量分析仪(2)、接收前者出口处电子能量色散面或与电子能量色散面等效位置的电子能谱的快响应能谱探测器(3)、接收快响应能谱探测器(3)输出的输入接口模块(4)、与前述输入接口模块(4)输出相连...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁俊，谢琳，王志伟，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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