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一种消除电子显微镜电子能量损失谱的能量漂移的方法及装置，属于能谱测量分析和显微分析领域。该方法通过在电子显微镜１镜筒处的电子能量分析仪２接收电子能量，然后通过串行快响应能谱探测器３将接收到的电子能量损失谱经漂移检测模块５获得能谱漂移量后，将...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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