【技术实现步骤摘要】
一种用于AMOLED蒸镀设备的磁铁板
[0001]本技术涉及AMOLED蒸镀设备
,尤其涉及一种用于AMOLED蒸镀设备的磁铁板。
技术介绍
[0002]AMOLED(Active
‑
matrix organic light emitting diode,主动矩阵有机发光二极体)蒸镀机是AMOLED工艺中的重要设备之一,而磁铁板作为蒸镀机内的一项关键治具,在面板制作过程中起到吸附金属掩膜版使之与基板玻璃贴合的作用,对于产品良率的提升至关重要。现有的磁铁板多采用如图1所示的设计,磁条采用相邻行NS极交替排布的方式,这一设计会在行间形成无磁条覆盖的条状空隙区域(称之为Gap),当蒸镀区域边缘恰好落在Gap范围内时(如图2),由于被吸附的金属掩膜版厚度很薄且掩膜版本身材质具有一定韧性,Gap区域无法有效吸附金属掩膜版,而且由于金属掩膜版本身需要张网以绷紧网面,张网拉力使得金属掩膜版很容易在Gap区域内出现屈曲现象(即皱褶),便会出现因吸附不佳而造成的掩膜版贴合不良,进而导致在产品上产生混色等蒸镀不良,影响蒸镀良率。
技术实现思路
[0003]基于现有技术存在的技术问题,本技术提出的一种用于AMOLED蒸镀设备的磁铁板,包括背板,所述背板的一面均布有多个平行的锯齿镶嵌槽,所述锯齿镶嵌槽内设有锯齿磁条且相邻两个所述锯齿磁条的对外磁极相反。
[0004]进一步的,所述锯齿磁条由多个平行四边形磁块组成,相邻的两个所述平行四边形磁块端面相互连接且两个所述平行四边形磁块以连接端面对称设置。< ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于AMOLED蒸镀设备的磁铁板,其特征在于:包括背板(1),所述背板(1)的一面均布有多个平行的锯齿镶嵌槽,所述锯齿镶嵌槽内设有锯齿磁条(2)且相邻两个所述锯齿磁条(2)的对外磁极相反。2.根据权利要求1所述的一种用于AMOLED蒸镀设备的磁铁板,其特征在于:所述锯齿磁条(2)由多个平行四边形磁块组成,相邻的两个所述平行四边形磁块端面相互连接且两个所述平行四边形磁块以连接端面对称设置。3...
【专利技术属性】
技术研发人员:钱超,张蔡星,杨波,洪明,王有明,
申请(专利权)人:江苏高光半导体材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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