一种金属掩膜版及掩膜版组件制造技术

本发明专利技术提出的一种金属掩膜版及掩膜版组件，涉及半导体显示技术领域

【技术实现步骤摘要】
一种金属掩膜版及掩膜版组件


[0001]本专利技术涉及半导体显示
，尤其涉及一种金属掩膜版及掩膜版组件
。

技术介绍

[0002]有机发光二极管
(OLED)
显示装置具有自主发光
、
色彩鲜艳
、
低功耗
、
广视角等优点，被广泛应用在电子产品中
。
在
OLED
显示面板生产工艺中，金属掩膜版
(Metal Mask
，简称
Mask)
扮演着极其重要的角色
。
[0003]随着电子产品用户对显示面板的屏占比要求越来越大，形如图
(1)
中所示的盲孔显示面板越来越受到电子产品用户的青睐
。
对于这类盲孔显示面板，在进行蒸镀生产时需要在基板上预留出未被有机材料沉积的“盲孔区域”，因此需要对掩膜版的结构进行新的设计
。

技术实现思路

[0004]为了至少解决上述现有技术中的问题，本专利技术提供了一种金属掩膜版，该金属掩膜版包括：
[0005]金属条，配置为相互平行的数个第一金属条和相互平行的数个第二金属条，第一金属条与第二金属条垂直相交，并在相交处接合，形成具有至少一个开口的掩膜网面；以及
[0006]遮挡部和连接部，上述的开口内具有所述遮挡部，遮挡部与开口边缘的金属条通过连接部连接；
[0007]连接部的位于遮挡部和与遮挡部连接的金属条之间的部分，朝向掩膜网面厚度方向上的一侧弯曲成凹槽形状，并在遮挡部和与遮挡部连接的金属条之间形成一个空置区域
。
[0008]在一些实施方式中，所述的金属条
、
遮挡部和连接部一体成型；或者，
[0009]所述的遮挡部和金属条两者之中，至少一者以接合的方式与所述的连接部连接
。
[0010]在一些实施方式中，所述凹槽形状的深度与所述连接部的宽度呈正相关；
[0011]优选地，所述凹槽形状的深度为所述连接部的宽度的3～8倍
。
[0012]在一些实施方式中，所述的连接部具有第一弯折段
、
第二弯折段和第三弯折段，第一弯折段不超出所述金属条沿其厚度方向的投影范围，第三弯折段不超出所述遮挡部沿金属条厚度方向的投影范围
。
[0013]在一些实施方式中，所述第一弯折段与所述第二弯折段之间的内折角为
60
°
～
90
°
，所述第三弯折段与所述第二弯折段之间内折角为
72
°
～
90
°
。
[0014]在一些实施方式中，所述的连接部上至少在所述第二弯折段处具有阵列排布的通孔
。
[0015]在一些实施方式中，所述遮挡部和与之相连接的所述金属条处在同一平面内；或者，
[0016]所述遮挡部位于所述金属条的背向所述连接部弯曲方向的一侧，且遮挡部与金属
条在沿金属条厚度方向的间距不超过
0.5mm。
[0017]在一些实施方式中，在所述金属条的厚度方向上，所述遮挡部的远端相较于背向该远端的另一端更远离所述的金属条；
[0018]优选地，所述遮挡部和与之相连接的金属条之间具有不大于2°
的倾角
。
[0019]在一些实施方式中，所述的遮挡部配置在所述第一金属条上，且配置为：
[0020]包括数个仅有一侧配置有遮挡部的第一金属条，第一金属条以相同状态排布在所述掩膜网面内；或者，
[0021]包括数个仅有一侧配置有遮挡部的第一金属条，以及一个未配置遮挡部的第一金属条或者一个两侧均配置有遮挡部的第一金属条，仅一侧配置有遮挡部的第一金属条对称分布在未配置遮挡部的第一金属条的两侧或者对称分布在两侧均配置有遮挡部的第一金属条的两侧；或者，
[0022]包括数个两侧均配置有遮挡部的第一金属条，第一金属条两侧的遮挡部在沿该第一金属条长度方向上交替错位排布，第一金属条以相同状态排布在所述掩膜网面内；或者，
[0023]包括数个两侧均配置有遮挡部的第一金属条且两侧的遮挡部对称分布，以及数个未配置遮挡部的第一金属条，两种第一金属条在所述掩膜网面内交替排布
。
[0024]本专利技术还提供了一种包括上述的金属掩膜版的掩膜版组件
。
[0025]本专利技术的有益效果为：
[0026]当上述设计的金属掩膜版与基板贴合后，在空置区域内，连接部和基板表面之间存在一定间距，该间距即为连接部的凹槽形状的深度，因此，蒸镀的有机材料能够顺利避开连接部，并沉积到连接部在基板表面的正投影位置上，从而避免了连接部对有机材料的阻挡，有助于改善显示面板的质量
。
[0027]另，本专利技术的其他附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到
。
附图说明
[0028]图1为盲孔显示面板的一种结构示意图；
[0029]图2为本专利技术金属掩膜版的单个开口处的局部结构示意图；
[0030]图3为遮挡部及连接部与金属条以不同方式接合的金属掩膜版局部结构示意图；
[0031]图4为金属条在遮挡部及连接部位置处的侧视图；
[0032]图5为不同于图4中实施方式的另一实施方式示意图；
[0033]图6为遮挡部及连接部的不同实施方式的金属掩膜版局部结构示意图；
[0034]图7为金属掩膜版中的遮挡部的不同排布方式示意图；
[0035]图8为蒸镀过程示意图；
[0036]图中：
1、
金属条；
11、
第一金属条；
12、
第二金属条；
100、
开口；
101、
结合槽；
102、
第一表面；
103、
第二表面；
[0037]2、
遮挡部；
21、
远端；
[0038]3、
连接部；
31、
第一弯折段；
32、
第二弯折段；
33、
第三弯折段；
34、
接合部；
300、
空置区域；
301、
第一顶点；
302、
第二顶点；
303、
通孔；
[0039]4、
基板；
5、
蒸发源
。
具体实施方式
[0040]为了使本专利技术的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术作进一步地详细描述，显然，以下所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
作为参考，以下的记载事项及附图为用于帮助理解本专利技术的简要示例，而并非用于限定本专利技术的技术范围
。
换句话说，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种金属掩膜版，其特征在于，包括：金属条
(1)
，配置为相互平行的数个第一金属条
(11)
和相互平行的数个第二金属条
(12)
，第一金属条
(11)
与第二金属条
(12)
垂直相交，并在相交处接合，形成具有至少一个开口
(100)
的掩膜网面；以及遮挡部
(2)
和连接部
(3)
，上述的开口
(100)
内具有所述遮挡部
(2)
，遮挡部
(2)
与开口
(100)
边缘的金属条
(1)
通过连接部
(3)
连接；连接部
(3)
的位于遮挡部
(2)
和与遮挡部
(2)
连接的金属条
(1)
之间的部分，朝向掩膜网面厚度方向上的一侧弯曲成凹槽形状，并在遮挡部
(2)
和与遮挡部
(2)
连接的金属条
(1)
之间形成一个空置区域
(300)。2.
根据权利要求1所述的金属掩膜版，其特征在于，所述的金属条
(1)、
遮挡部
(2)
和连接部
(3)
一体成型；或者，所述的遮挡部
(2)
和金属条
(1)
两者之中，至少一者以接合的方式与所述的连接部
(3)
连接
。3.
根据权利要求1所述的金属掩膜版，其特征在于，所述凹槽形状的深度与所述连接部
(3)
的宽度呈正相关；优选地，所述凹槽形状的深度为所述连接部
(3)
的宽度的3～8倍
。4.
根据权利要求1所述的金属掩膜版，其特征在于，所述的连接部
(3)
具有第一弯折段
(31)、
第二弯折段
(32)
和第三弯折段
(33)
，第一弯折段
(31)
不超出所述金属条
(1)
沿其厚度方向的投影范围，第三弯折段
(33)
不超出所述遮挡部
(2)
沿金属条
(1)
厚度方向的投影范围
。5.
根据权利要求4所述的金属掩膜版，其特征在于，所述第一弯折段
(31)
与所述第二弯折段
(32)
之间的内折角为
60
°
～
90
°
，所述第三弯折段
(33)
与所述第二弯折段
(32)
之间内折角为
72
°
～
90
°
。6.
根据权利要求4所述的金属掩膜版，其特征在于，所述的连接部
(3)
...

【专利技术属性】
技术研发人员：张蔡星，蔡则凡，钱超，
申请(专利权)人：江苏高光半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：