一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，包括底座，所述底座顶端一侧固定连接有支柱，所述支柱顶端固定连接有冷却柜，所述冷却柜右端内壁固定连接有抽风机，所述冷却柜左端内部设置有过滤网，所述冷却柜内部中间设置有冷却板，所述冷却板左端经第一连接管固定连接有冷却液箱，所述冷却板右端经第一连接管固定连接有抽液泵，所述抽液泵另一端经进液管固定连接有集液箱，所述冷却柜底端右侧固定连接有出风管，所述出风管周侧缠绕有冷却管，所述冷却管底部一端经第二连接管固定连接有水泵，本实用新型专利技术通过上述等装置的配合实现了对蓝宝石衬底加工用曝光机的曝光室和工作台的降温效果，同时确保了曝光机内部气压的稳定的效果。气压的稳定的效果。气压的稳定的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构


[0001]本技术涉及一种冷却机构，具体为一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，属于蓝宝石衬底加工


技术介绍

[0002]蓝宝石衬底有着诸多优点，在对蓝宝石衬底加工时需要曝光机工作，而曝光机在工作时发光源温度会很高，灯管会不停发热，长时间之后会影响曝光效果，同时会减少灯管寿命，同时工作台温度不能太高，会影响曝光操作，所以需要冷却机构对曝光室和工作台面降温，现有降温装置容易造成曝光机内部气压失衡，影响正常曝光机的使用，因此需要进行改进。

技术实现思路

[0003]本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，实现了对蓝宝石衬底加工用曝光机的曝光室和工作台的降温效果，同时确保了曝光机内部气压的稳定的效果，解决了以上背景中提出的问题。
[0004]本技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，包括底座，所述底座顶端一侧固定连接有支柱，所述支柱顶端固定连接有冷却柜，所述冷却柜右端内壁固定连接有抽风机，所述冷却本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）顶端一侧固定连接有支柱（2），所述支柱（2）顶端固定连接有冷却柜（3），所述冷却柜（3）右端内壁固定连接有抽风机（4），所述冷却柜（3）左端内部设置有过滤网（5），所述冷却柜（3）内部中间设置有冷却板（6），所述冷却板（6）左端经第一连接管（7）固定连接有冷却液箱（8），所述冷却板（6）右端经第一连接管（7）固定连接有抽液泵（9），所述抽液泵（9）另一端经进液管（10）固定连接有集液箱（11），所述冷却柜（3）底端右侧固定连接有出风管（13），所述出风管（13）周侧缠绕有冷却管（15），所述冷却管（15）底部一端经第二连接管（16）固定连接有水泵（17），所述水泵（17）另一端经第二连接管（16）固定连接有降温柜（18）。2.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，其特征在于：所述降温柜（18）内部设置有盛放槽（19）...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪文庆，
申请(专利权)人：锐捷光电科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：