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本实用新型涉及一种用于蓝宝石衬底加工用曝光机的冷却机构，包括底座，所述底座顶端一侧固定连接有支柱，所述支柱顶端固定连接有冷却柜，所述冷却柜右端内壁固定连接有抽风机，所述冷却柜左端内部设置有过滤网，所述冷却柜内部中间设置有冷却板，所述冷却板左...
该专利属于锐捷光电科技（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过锐捷光电科技（江苏）有限公司授权不得商用。

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