一种蓝宝石晶片用显影液喷嘴结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种蓝宝石晶片用显影液喷嘴结构，包括固定框，所述固定框的内部放置有喷嘴本体，所述喷嘴本体的顶部固定连接有运输软管，所述固定框的底部固定连接有固定板，所述固定板的表面连接有滑动组件，所述滑动组件的表面通过圆槽转动连接有滚球，所述滚球的表面与喷嘴本体的侧面滚动连接，所述固定框的侧面通过轴承转动连接有转杆，所述转杆的表面固定连接有蜗杆，所述固定框内壁的表面通过销轴转动连接有蜗轮。本实用新型专利技术通过上述等结构的配合，实现了便于工作人员进行调节喷嘴的角度倾斜调整，工作人员能够自由的调节喷嘴的水平高度，且减少了外部因素对喷嘴输送管内部温度造成影响的情况，给工作人员的工作带来了便利。了便利。了便利。

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石晶片用显影液喷嘴结构


[0001]本技术涉及蓝宝石晶片加工
，具体为一种蓝宝石晶片用显影液喷嘴结构。

技术介绍

[0002]蓝宝石晶体化学性质非常稳定，一般不溶于水和不受酸、碱腐蚀，只有在较高温度下(300℃)可为氢氟酸、磷酸和熔化的氢氧化钾所侵蚀，蓝宝石晶体硬度很高，为莫氏硬度9级，仅次于最硬的金刚石，它具有很好的透光性，热传导性和电气绝缘性，力学机械性能好，并且具有耐磨和抗风蚀的特点，对于光刻工艺中的显影技术，需要利用显影喷嘴装置向晶圆上的光致抗蚀剂表面喷洒显影液，由于现有的大多数喷嘴固定较为牢固，导致喷嘴位置出现错误时调整困难，且部分喷嘴的水平高度调整困难，且增加了外部因素对喷嘴输送管内部温度造成影响的情况，给工作人员的工作带来了不便，给实际使用带来了一定的不利影响，因此需要进行改进。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种蓝宝石晶片用显影液喷嘴结构，具备了便于工作人员进行调节喷嘴的角度倾斜调整，工作人员能够自由的调节喷嘴的水平高度，且减少了外部因素对喷嘴输送管内部温度造成影响的情况，给工作人员的工作带来了便利的优点，给实际使用带来了一定的有利影响，解决了以上
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种蓝宝石晶片用显影液喷嘴结构，包括固定框，所述固定框的内部放置有喷嘴本体，所述喷嘴本体的顶部固定连接有运输软管，所述固定框的底部固定连接有固定板，所述固定板的表面连接有滑动组件，所述滑动组件的表面通过圆槽转动连接有滚球，所述滚球的表面与喷嘴本体的侧面滚动连接，所述固定框的侧面通过轴承转动连接有转杆，所述转杆的表面固定连接有蜗杆，所述固定框内壁的表面通过销轴转动连接有蜗轮，所述蜗轮的表面与蜗杆的表面啮合连接，所述蜗轮的前侧连接有升降组件，所述升降组件的表面连接有短杆，所述短杆的底部通过轴承座转动连接有软胶滑板，所述喷嘴本体的顶部开设有滑动槽，所述滑动槽的内壁与软胶滑板的表面滑动连接且适配。
[0005]优选的，所述滑动组件包括滑板和滑槽，所述滑槽开设在固定板的表面上，所述滑板通过圆槽与滚球转动连接，所述滑板的表面与滑槽的内壁滑动连接且适配。
[0006]优选的，所述转杆的一端固定连接有转块，所述转块的表面开设有防滑纹。
[0007]优选的，所述固定框的内部固定连接有隔热板，所述隔热板呈环状固定连接在固定框上。
[0008]优选的，所述升降组件包括升降槽板和圆杆，所述圆杆固定连接在蜗轮的前侧上，所述升降槽板固定连接在短杆的顶部上，所述升降槽板的内壁与圆杆的表面转动连接且适配。
[0009]优选的，所述固定框内部的表面固定安装有小型液压缸，所述小型液压缸的输出端固定连接有主推斜板，所述喷嘴本体上靠近其顶部的表面固定连接有从推斜板，所述从推斜板的表面与主推斜板的表面滑动连接。
[0010]优选的，所述固定框的内壁开设有凹槽，所述凹槽的内壁固定连接有弹性插杆，所述从推斜板的表面开设有与弹性插杆相适配的插槽，且主推斜板与弹性插杆不位于同一水平线。
[0011]优选的，所述喷嘴本体上靠近其底部的表面固定连接有校对灯，所述校对灯的数量为两个，且数量为两个的校对灯均匀分布在喷嘴本体上。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：转块转动能够带动转杆进行转动，转杆转动能够带动蜗杆进行转动，蜗杆进行转动能够带动蜗轮进行转动，蜗轮转动能够带动其上的圆杆进行圆周运动，通过短杆的设置，对升降槽板的运动轨迹进行限位，使得圆杆进行圆周运动能够带动升降槽板进行升降运动，进而带动短杆进行升降运动，通过滑板和滑槽的设置，使得喷嘴本体能够较为平稳的进行移动，工作人员能够起到液压缸，液压缸启动能够带动主推斜板进行移动，主推斜板能够带动从推斜板进行移动，且弹性插杆能够对从推斜板的运动轨迹进行限位，进而完成对喷嘴本体前后轻度调节工作，软胶滑板和滑动槽的设置，能够保证喷嘴本体的平稳移动，且软胶滑板和弹性插杆均具有一定的弹性，进而保证了喷嘴本体的角度调节。
附图说明
[0013]图1为本技术的正视剖面视图；
[0014]图2为本技术的俯视剖面视图；
[0015]图3为本技术的A处放大图；
[0016]图4为本技术的B处放大图；
[0017]图5为本技术的C处放大图。
[0018]图中：1、固定框；2、喷嘴本体；3、运输软管；4、固定板；5、滚球；6、转杆；7、蜗杆；8、蜗轮；9、短杆；10、软胶滑板；11、滑动槽；12、滑板；13、滑槽；14、转块；15、隔热板；16、升降槽板；17、圆杆；18、小型液压缸；19、主推斜板；20、从推斜板；21、弹性插杆；22、插槽；23、校对灯。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]实施例1，请参阅图1至图5，本技术提供一种技术方案：一种蓝宝石晶片用显影液喷嘴结构，包括固定框1，固定框1的内部放置有喷嘴本体2，喷嘴本体2的顶部固定连接有运输软管3，固定框1的底部固定连接有固定板4，固定板4的表面连接有滑动组件，滑动组件的表面通过圆槽转动连接有滚球5，滚球5的表面与喷嘴本体2的侧面滚动连接，固定框1的侧面通过轴承转动连接有转杆6，转杆6的表面固定连接有蜗杆7，转杆6转动能够带动蜗
杆7进行转动，固定框1内壁的表面通过销轴转动连接有蜗轮8，蜗轮8的表面与蜗杆7的表面啮合连接，蜗杆7进行转动能够带动蜗轮8进行转动，蜗轮8的前侧连接有升降组件，升降组件的表面连接有短杆9，短杆9的底部通过轴承座转动连接有软胶滑板10，喷嘴本体2的顶部开设有滑动槽11，滑动槽11的内壁与软胶滑板10的表面滑动连接且适配，软胶滑板10和滑动槽11的设置，能够保证喷嘴本体2的平稳移动。
[0021]进一步的，滑动组件包括滑板12和滑槽13，滑槽13开设在固定板4的表面上，滑板12通过圆槽与滚球5转动连接，滑板12的表面与滑槽13的内壁滑动连接且适配，通过滑板12和滑槽13的设置，使得喷嘴本体2能够较为平稳的进行移动。
[0022]进一步的，转杆6的一端固定连接有转块14，转块14的表面开设有防滑纹，通过转块14的设置，便于工作人员较为省力的进行转杆6的转动。
[0023]进一步的，固定框1的内部固定连接有隔热板15，隔热板15呈环状固定连接在固定框1上，减少了外部因素对喷嘴输送管内部温度造成影响的情况。
[0024]进一步的，升降组件包括升降槽板16和圆杆17，圆杆17固定连接在蜗轮8的前侧上，升降槽板16固定连接在短杆9的顶部上，升降槽板16的内壁与圆杆17的表面转动连接且适配，通过短杆9的设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶片用显影液喷嘴结构，包括固定框(1)，所述固定框(1)的内部放置有喷嘴本体(2)，所述喷嘴本体(2)的顶部固定连接有运输软管(3)，其特征在于：所述固定框(1)的底部固定连接有固定板(4)，所述固定板(4)的表面连接有滑动组件，所述滑动组件的表面通过圆槽转动连接有滚球(5)，所述滚球(5)的表面与喷嘴本体(2)的侧面滚动连接，所述固定框(1)的侧面通过轴承转动连接有转杆(6)，所述转杆(6)的表面固定连接有蜗杆(7)，所述固定框(1)内壁的表面通过销轴转动连接有蜗轮(8)，所述蜗轮(8)的表面与蜗杆(7)的表面啮合连接，所述蜗轮(8)的前侧连接有升降组件，所述升降组件的表面连接有短杆(9)，所述短杆(9)的底部通过轴承座转动连接有软胶滑板(10)，所述喷嘴本体(2)的顶部开设有滑动槽(11)，所述滑动槽(11)的内壁与软胶滑板(10)的表面滑动连接且适配。2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶片用显影液喷嘴结构，其特征在于：所述滑动组件包括滑板(12)和滑槽(13)，所述滑槽(13)开设在固定板(4)的表面上，所述滑板(12)通过圆槽与滚球(5)转动连接，所述滑板(12)的表面与滑槽(13)的内壁滑动连接且适配。3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶片用显影液喷嘴结构，其特征在于：所述转杆(6)的一端固定连接有转块(14)，所述转块(14)的表面开设有防滑纹。4.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪文庆，
申请(专利权)人：锐捷光电科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：