一种新型蓝宝石衬底加工用曝光机校正机构制造技术

本实用新型专利技术涉及蓝宝石衬底加工技术领域，尤其为一种新型蓝宝石衬底加工用曝光机校正机构，包括底座、支撑框和曝光灯，所述底座的内侧中间位置处固定连接有支撑板，所述支撑板的内侧转动连接有第一螺纹轴，所述第一螺纹轴的外端螺旋连接有活动板，所述活动板的内侧固定连接有连接杆，所述连接杆的内端固定连接有校正板，本实用新型专利技术中，通过设置的第一螺纹轴、活动板和校正板，利用第一螺纹轴的转动使活动板带动校正板能够向内侧移动，从而使校正板能够对放置的蓝宝石衬底进行移动，使蓝宝石衬底能够移动至曝光位置处，从而能够提升蓝宝石衬底的生产加工效果，并防止人工校正对蓝宝石衬底造成污染而影响蓝宝石衬底的曝光加工处理。造成污染而影响蓝宝石衬底的曝光加工处理。造成污染而影响蓝宝石衬底的曝光加工处理。

【技术实现步骤摘要】
一种新型蓝宝石衬底加工用曝光机校正机构


[0001]本技术涉及蓝宝石衬底加工
，具体为一种新型蓝宝石衬底加工用曝光机校正机构。

技术介绍

[0002]随着社会的发展，对蓝宝石衬底的应用愈加广泛，GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上，蓝宝石衬底有许多的优点，首先，蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好，其次，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中，最后，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗，因此，大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。
[0003]现有技术中，对于蓝宝石衬底的曝光加工容易使蓝宝衬底的位置发生偏移而影响对蓝宝石衬底的曝光加工效果，并在人工对蓝宝石衬底进行位置校正时容易对蓝宝石衬底造成污染，进而影响对蓝宝石衬底的曝光加工处理；且在对蓝宝石衬底进行曝光处理时外部光线容易对蓝宝石衬底曝光加工造成影响，进而影响蓝宝石衬底曝光加工质量，不利于蓝宝石衬底的加工处理。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种新型蓝宝石衬底加工用曝光机校正机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种新型蓝宝石衬底加工用曝光机校正机构，包括底座、支撑框和曝光灯，所述底座的内侧中间位置处固定连接有支撑板，所述支撑板的内侧转动连接有第一螺纹轴，所述第一螺纹轴的外端螺旋连接有活动板，所述活动板的内侧固定连接有连接杆，所述连接杆的内端固定连接有校正板，所述校正板与支撑板之间滑动连接，所述底座的上端固定连接有支撑框，所述支撑框的侧壁内部滑动连接有滑动挡板，所述滑动挡板的下端固定连接有限位板，所述限位板与支撑框之间滑动连接，所述限位板的下端固定连接有柔性密封板，所述柔性密封板与支撑框之间滑动连接。
[0007]优选的，所述底座的内侧转动连接有传送带，所述传送带与校正板之间滑动连接。
[0008]优选的，所述第一螺纹轴的内端贯穿支撑板，所述第一螺纹轴的内端固定连接有被动锥齿轮，所述被动锥齿轮与支撑板之间转动连接，所述被动锥齿轮的下端啮合连接有主动锥齿轮，所述主动锥齿轮的下端设有驱动电机，所述主动锥齿轮通过输出轴与驱动电机之间转动连接，所述驱动电机与支撑板之间固定连接。
[0009]优选的，所述支撑框的内侧上端固定连接有曝光灯。
[0010]优选的，所述支撑框的后侧壁内侧固定连接有双向电机，所述双向电机的外侧设有第二螺纹轴，所述第二螺纹轴通过输出轴与双向电机之间转动连接，所述第二螺纹轴的外侧螺旋连接有活动块，所述活动块的前端转动连接有传动杆，所述传动杆与滑动挡板之间转动连接。
[0011]优选的，所述校正板的数量有四个，所述校正板关于支撑板的中心轴对称设置。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、本技术中，通过设置的第一螺纹轴、活动板和校正板，利用第一螺纹轴的转动使活动板能够带动连接杆进行移动，从而使校正板能够向内侧移动，从而使校正板能够对放置的蓝宝石衬底进行移动，使蓝宝石衬底能够移动至曝光位置处，从而能够提升蓝宝石衬底的生产加工效果，并防止人工校正对蓝宝石衬底造成污染而影响蓝宝石衬底的曝光加工处理；
[0014]2、本技术中，通过设置的滑动挡板、限位板和柔性密封板，利用滑动挡板的上下移动，使限位板能够带动柔性密封板上下移动，从而能够在对蓝宝石衬底进行曝光处理时能够对支撑框进行封闭处理，防止外部光线影响蓝宝石衬底曝光加工效果，从而能够提升蓝宝石衬底加工质量。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体安装结构剖视图；
[0016]图2为本技术支撑板的安装结构俯视图；
[0017]图3为本技术图1的安装结构右视图；
[0018]图4为本技术活动块的安装结构立体图。
[0019]图中：1、底座；2、支撑板；3、第一螺纹轴；4、活动板；5、连接杆；6、校正板；7、支撑框；8、滑动挡板；9、限位板；10、柔性密封板；11、传送带；12、被动锥齿轮；13、主动锥齿轮；14、驱动电机；15、曝光灯；16、双向电机；17、第二螺纹轴；18、活动块；19、传动杆。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例1请参阅图1
‑
4，本技术提供一种技术方案：一种新型蓝宝石衬底加工用曝光机校正机构，包括底座1、支撑框7和曝光灯15，底座1的内侧中间位置处固定连接有支撑板2，便于对校正装置进行支撑使用，并且不会影响传送带11对蓝宝石衬底的输送，支撑板2的内侧转动连接有第一螺纹轴3，第一螺纹轴3的外端螺旋连接有活动板4，活动板4的内侧固定连接有连接杆5，连接杆5的内端固定连接有校正板6，能够通过对第一螺纹轴3的转动使校正板6能够进行移动，从而便于对蓝宝石衬底的位置进行校正处理，底座1的上端固定连接有支撑框7，支撑框7的侧壁内部滑动连接有滑动挡板8，滑动挡板8的下端固定连接有限位板9，限位板9的下端固定连接有柔性密封板10，便于对支撑框7进行封闭，从而能够对外部光线进行阻挡，提升蓝宝石衬底的曝光加工质量，底座1的内侧转动连接有传送带11，便于对蓝宝石衬底进行输送使用，支撑框7的内侧上端固定连接有曝光灯15，支撑框7的后侧壁内侧固定连接有双向电机16，双向电机16的外侧设有第二螺纹轴17，第二螺纹轴17的外侧螺旋连接有活动块18，活动块18的前端转动连接有传动杆19，传动杆19与滑动挡板8之间转动连接，从而能够通过双向电机16的转动使滑动挡板8能够上下移动，校正板6的数
量有四个，校正板6关于支撑板2的中心轴对称设置，便于对蓝宝石衬底移动至支撑板2的曝光位置处，从而能够有效的对蓝宝石衬底进行校正处理。
[0022]实施例2：请参阅图1
‑
2，本实施例与实施例1的区别在于：第一螺纹轴3的内端贯穿支撑板2，第一螺纹轴3的内端固定连接有被动锥齿轮12，被动锥齿轮12的下端啮合连接有主动锥齿轮13，主动锥齿轮13的下端设有驱动电机14，便于对四个第一螺纹轴3同时进行转动，从而使校正板6能够同时进行移动，使蓝宝石衬底能够移动至支撑板2的中心位置处。
[0023]工作流程：此装置在使用时采用室内额定电源进行供电，在对蓝宝石衬底进行曝光加工处理时，将清洁干净的蓝宝石衬底放置在传送带11上，并启动传送带11使蓝宝石衬底能够输送至支撑框7的内侧，在蓝宝石衬底移动至支撑框7的内侧后停止转动传送带11，并启动驱动电机14，使主动锥齿轮13带动被动锥齿轮12进行转动，从而使第一螺纹轴3带动活动板4向内侧移动，从而使连接杆5带动校正板6向内侧移动，从而能够通过校正板6对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型蓝宝石衬底加工用曝光机校正机构，包括底座（1）、支撑框（7）和曝光灯（15），其特征在于：所述底座（1）的内侧中间位置处固定连接有支撑板（2），所述支撑板（2）的内侧转动连接有第一螺纹轴（3），所述第一螺纹轴（3）的外端螺旋连接有活动板（4），所述活动板（4）的内侧固定连接有连接杆（5），所述连接杆（5）的内端固定连接有校正板（6），所述校正板（6）与支撑板（2）之间滑动连接，所述底座（1）的上端固定连接有支撑框（7），所述支撑框（7）的侧壁内部滑动连接有滑动挡板（8），所述滑动挡板（8）的下端固定连接有限位板（9），所述限位板（9）与支撑框（7）之间滑动连接，所述限位板（9）的下端固定连接有柔性密封板（10），所述柔性密封板（10）与支撑框（7）之间滑动连接。2.根据权利要求1所述的一种新型蓝宝石衬底加工用曝光机校正机构，其特征在于：所述底座（1）的内侧转动连接有传送带（11），所述传送带（11）与校正板（6）之间滑动连接。3.根据权利要求1所述的一种新型蓝宝石衬底加工用曝光机校正机构，其特征在于：所述第一螺纹轴（3）的内端贯穿支撑板（2），所述第一螺纹轴（3）的内端...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪文庆，
申请(专利权)人：锐捷光电科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：