用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，包括基座，所述基座上方一侧设有垫板，所述垫板上方一侧设有若干垫块，所述垫块上方设有支撑板，所述支撑板上方设有若干垫片，所述垫片上方位于所述支撑板相邻一侧设有推板，所述推板一侧与第一气缸输出端固定连接，所述基座一端设有立板，所述立板上方一侧设有安装板，所述安装板上方固定连接有第二气缸。本实用新型专利技术通过推板与挡板，挡板上的滚筒方便移动板件的位置将板件位置固定，方便对板件进行定位，并且通过设置独立的垫片，并在支撑板上设置通风口，通风口与垫片可以配合时板件下方空间流通，从而有效降低板件的温度，方便生产工作，提高生产质量。提高生产质量。提高生产质量。

【技术实现步骤摘要】
用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置


[0001]本技术涉及用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，属于芯片加工


技术介绍

[0002]蓝宝石衬底对于制作LED芯片来说，衬底材料的选用是首要考虑的问题。蓝宝石衬底有许多的优点：首先，蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好；其次，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；最后，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗。因此，大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。
[0003]在加工蓝宝石衬底时需要使用曝光机，曝光机内的板件需要将多种部件承载堆叠并紧紧固定，目前使用的保持装置由于不同板件的尺寸不同，对板件的位置不易有效定位，并且设备内的温度较高时容易使板件发生变形或弯折，影响生产使用，因此，需要一种用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，通过推板与挡板，挡板上的滚筒方便移动板件的位置将板件位置固定，方便对板件进行定位，并且通过设置独立的垫片，并在支撑板上设置通风口，通风口与垫片可以配合时板件下方空间流通，从而有效降低板件的温度，方便生产工作，提高生产质量，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置,包括基座，所述基座上方一侧设有垫板，所述垫板上方一侧设有若干垫块，所述垫块上方设有支撑板，所述支撑板上方设有若干垫片，所述垫片上方位于所述支撑板相邻一侧设有推板，所述推板一侧与第一气缸输出端固定连接，所述基座一端设有立板，所述立板上方一侧设有安装板，所述安装板上方固定连接有第二气缸，所述第二气缸输出端与隔板固定连接，所述隔板下方设有若干吸盘。
[0007]进一步的，所述垫片在所述支撑板上呈阵列分布，所述支撑板上开设有若干通风口，所述通风口设于相邻的所述垫片之间，所述垫片顶端设有橡胶保护层。
[0008]进一步的，所述推板一端设有挡板，所述挡板一侧贯穿连接有螺杆，所述挡板内部设有与所述螺杆螺纹相匹配的螺纹槽，所述挡板与所述螺杆通过螺纹连接。
[0009]进一步的，所述螺杆一端设有夹座，所述夹座上位于所述螺杆上下两侧设有伸缩杆，所述螺杆在所述夹座内部呈T形并在所述夹座内部转动连接，所述夹座一侧设有滚筒，所述滚筒在所述夹座内部转动连接。
[0010]进一步的，所述推板底部设有若干档条，所述档条设于相邻的所述垫片的中心线上，所述推板底部高度高于所述垫片顶端高度。
[0011]进一步的，所述隔板上方两侧设有导向杆，所述吸盘设于所述隔板下方两侧并呈
一字排列。
[0012]本技术的有益效果是：
[0013]1、通过在支撑板上设置垫片，各个垫片独立设置且垫片之间预留一定空隙，从而在将板件固定时，减少板件底部与垫片的接触面积，方便板件的热量疏散，并且支撑板上设有多个通风口，通风口设于垫片之间的空隙内，从而可以使板件下方空气可以循环流动，有效降低板件下方的温度，防止板件在承载堆叠时因温度过高而发生变形或弯折，垫片上的橡胶保护垫可以防止板件与垫片硬连接，防止第一气缸推动吸盘按压板件时板件发生断裂，有效保护板件，减少原料浪费，降低生产成本。
[0014]2、通过在推板上设置挡板，挡板可以将板件一端的位置固定，挡板的另一侧设有螺杆、夹座与滚筒，滚筒可以通过转动螺杆调整位置，从而可以将板件另一端的位置固定，方便对板件位置进行定位，夹座上的伸缩杆可以防止转动螺杆时夹座跟随螺杆进行转动，从而可以将夹座与滚筒的转动方向固定，防止滚筒发生转动而影响板件在滚筒上转动，滚筒可以在将板件位置固定时在板件上转动，从而可以在推板将板件移动至加工位置后滚筒可以转动解除对板件的压力，防止板件位置固定后发生偏移。
附图说明
[0015]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的具体实施方式一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。
[0016]图1是本技术用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置的主视图；
[0017]图2是本技术用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置的支撑板俯视图；
[0018]图3是本技术用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置的推板结构连接图；
[0019]图4是本技术用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置的A处区域放大图；
[0020]图中标号：1、基座；2、垫板；3、垫块；4、支撑板；5、垫片；6、推板；7、第一气缸；8、立板；9、安装板；10、第二气缸；11、隔板；12、吸盘；13、通风口；14、橡胶保护层；15、挡板；16、螺杆；17、夹座；18、伸缩杆；19、滚筒；20、档条；21、导向杆。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]实施例1：请参阅图1、图2、图4，本技术提供一种技术方案：
[0023]用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，包括基座1，其特征在于：所述基座1上方一侧设有垫板2，所述垫板2上方一侧设有若干垫块3，所述垫块3上方设有支撑板4，所述支撑板4上方设有若干垫片5，所述垫片5上方位于所述支撑板4相邻一侧设有推板6，所述推板6一侧与第一气缸7输出端固定连接，所述基座1一端设有立板8，所述立板8上方一侧
设有安装板9，所述安装板9上方固定连接有第二气缸10，所述第二气缸10输出端与隔板11固定连接，所述隔板11下方设有若干吸盘12。
[0024]具体而言，所述垫片5在所述支撑板4上呈阵列分布，所述支撑板4上开设有若干通风口13，所述通风口13设于相邻的所述垫片5之间，所述垫片5顶端设有橡胶保护层14，垫片5可以减少板件底部与垫片5的接触面积，从而可以与通风口13配合降低板件底部的温度。
[0025]具体而言，所述隔板11上方两侧设有导向杆21，所述吸盘12设于所述隔板11下方两侧并呈一字排列，导向杆21可以在隔板11移动时防止隔板11位置发生偏移，使吸盘12可以对板件精确定位。
[0026]实施例2：请参阅图1
‑
图3，本实施例与实施例1的区别在于：所述推板6一端设有挡板15，所述挡板15一侧贯穿连接有螺杆16，所述挡板15内部设有与所述螺杆16螺纹相匹配的螺纹槽，所述挡板15与所述螺杆16通过螺纹连接，所述螺杆16一端设有夹座17，所述夹座17上位于所述螺杆16上下两侧设有伸缩杆18，所述螺杆16在所述夹座17内部呈T形并在所述夹座17内部转动连接，所述夹座17一侧设有滚筒19，所述滚筒19在所述夹座1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置,包括基座（1），其特征在于：所述基座（1）上方一侧设有垫板（2），所述垫板（2）上方一侧设有若干垫块（3），所述垫块（3）上方设有支撑板（4），所述支撑板（4）上方设有若干垫片（5），所述垫片（5）上方位于所述支撑板（4）相邻一侧设有推板（6），所述推板（6）一侧与第一气缸（7）输出端固定连接，所述基座（1）一端设有立板（8），所述立板（8）上方一侧设有安装板（9），所述安装板（9）上方固定连接有第二气缸（10），所述第二气缸（10）输出端与隔板（11）固定连接，所述隔板（11）下方设有若干吸盘（12）。2.根据权利要求1所述的用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，其特征在于：所述垫片（5）在所述支撑板（4）上呈阵列分布，所述支撑板（4）上开设有若干通风口（13），所述通风口（13）设于相邻的所述垫片（5）之间，所述垫片（5）顶端设有橡胶保护层（14）。3.根据权利要求1所述的用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，其特征在于：所述推板（6）一端设有挡板（...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪文庆，
申请(专利权)人：锐捷光电科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：