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本实用新型涉及用于蓝宝石衬底加工曝光机的板件的保持装置，包括基座，所述基座上方一侧设有垫板，所述垫板上方一侧设有若干垫块，所述垫块上方设有支撑板，所述支撑板上方设有若干垫片，所述垫片上方位于所述支撑板相邻一侧设有推板，所述推板一侧与第一气缸...
该专利属于锐捷光电科技（江苏）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过锐捷光电科技（江苏）有限公司授权不得商用。

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