太阳能光刻机制造技术

本实用新型专利技术涉及太阳能光刻机，其技术方案要点是：包括机架和工作台；所述机架上固定有用于折射太阳光以筛滤得到紫外线的滤光棱镜；所述机架上且位于所述滤光棱镜的上方设置有用于将太阳光反射至滤光棱镜顶部的第一聚光镜和第二聚光镜；所述机架上还设置有用于将太阳光反射至滤光棱镜底端的第三聚光镜；所述机架上且位于滤光棱镜的下方设置有用于输出紫外线的刻刀喷嘴；所述机架上设置有用于平移所述工作台的平移机构；所述工作台设置在所述平移机构上且位于所述刻刀喷嘴的下方；本申请具有结构简单，能耗较低的优点。能耗较低的优点。能耗较低的优点。

【技术实现步骤摘要】
太阳能光刻机


[0001]本技术涉及半导体制造设备
，更具体地说，它涉及太阳能光刻机。

技术介绍

[0002]在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印(光刻)是其中最重要的工序之一，该工序所用的设备称为光刻机(曝光机)。光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。国外早在多年前就已提出下一代光刻的概念，并对极紫外线光刻、电子束投影光刻、离子束投影光刻等技术进行了大量的研究，但由于工艺、生产效率、成本等诸多原因，这些技术目前仍然难以完全实用化。目前占市场主导地位的仍然是深紫外线投影光刻设备。
[0003]目前，市面上的光刻机通常是采用人工制造的紫外线光进行光刻；这种操作方法需要不断的通过人工制造紫外线光，使得整体较为复杂，且能耗较高，因此还有待改进的空间。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供太阳能光刻机，具有结构简单，能耗较低的优点。
[0005]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：太阳能光刻机，包括机架和工作台；所述机架上固定有用于折射太阳光以筛滤得到紫外线的滤光棱镜；所述机架上且位于所述滤光棱镜的上方设置有用于将太阳光反射至滤光棱镜顶部的第一聚光镜和第二聚光镜；所述机架上还设置有用于将太阳光反射至滤光棱镜底端的第三聚光镜；所述机架上且位于滤光棱镜的下方设置有用于输出紫外线的刻刀喷嘴；所述机架上设置有用于平移所述工作台的平移机构；所述工作台设置在所述平移机构上且位于所述刻刀喷嘴的下方。
[0006]可选的，所述刻刀喷嘴包括：安装块和嘴芯；所述安装块固定在所述机架上且位于滤光棱镜的下方；所述安装块上开设有安装孔；所述嘴芯安装在所述安装孔内；所述嘴芯上开设有供紫外线通过的芯孔。
[0007]可选的，所述安装块呈圆筒状。
[0008]可选的，所述嘴芯和安装块一体成型设置。
[0009]可选的，所述芯孔直径为190
‑
240纳米。
[0010]可选的，所述滤光棱镜为倒锥体玻璃滤光棱镜。
[0011]可选的，所述平移机构包括：X轴滑动平台、Y轴滑动平台和PLC控制系统；所述X轴滑动平台设置在所述机架上；所述Y轴滑动平台设置在所述X轴滑动平台的输出端；所述工作台设置在所述Y轴滑动平台的输出端；所述PLC控制系统分别与所述X轴滑动平台和Y轴滑动平台电连接。
[0012]综上所述，本技术具有以下有益效果：第一聚光镜和第二聚光镜将太阳光聚
焦后照射向滤光棱镜；滤光棱镜对第一聚光镜和第二聚光镜聚焦后的太阳光进行折射，并从滤光棱镜的底端尖部射出波长为5
‑
8微米的紫外光，而第三聚光镜将太阳光聚焦后照向射出的紫外光，以满足紫外光快速辐射所需能量，并保证紫外光波长不会变长；紫外光再进入刻刀喷嘴内，由刻刀喷嘴将紫外光的光束直径进行调整，并以细线状射出，即可进行对硅片的光刻；从而能够直接采用太阳光进行光刻，结构简单，能耗较低。
附图说明
[0013]图1是本技术的整体结构示意图；
[0014]图2是本技术中刻刀喷嘴的剖视结构示意图。
[0015]图中：1、机架；2、工作台；3、滤光棱镜；4、第一聚光镜；5、第二聚光镜；6、第三聚光镜；7、刻刀喷嘴；71、安装块；72、嘴芯；8、平移机构；9、安装孔；10、芯孔。
具体实施方式
[0016]为使本技术的目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。附图中给出了本技术的若干实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。
[0017]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0018]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“上”、“下”以及类似的表述只是为了说明的目的，而不是指示或暗示所指装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0019]下面结合附图和实施例，对本技术进行详细描述。
[0020]本技术提供了太阳能光刻机,如图1和图2所示，包括机架1和工作台2；所述机架1上固定有用于折射太阳光以筛滤得到紫外线的滤光棱镜3；所述机架1上且位于所述滤光棱镜3的上方设置有用于将太阳光反射至滤光棱镜3顶部的第一聚光镜4和第二聚光镜5；所述机架1上还设置有用于将太阳光反射至滤光棱镜3底端的第三聚光镜6；所述机架1上且位于滤光棱镜3的下方设置有用于输出紫外线的刻刀喷嘴7；所述机架1上设置有用于平移所述工作台2的平移机构8；所述工作台2设置在所述平移机构8上且位于所述刻刀喷嘴7的下方。
[0021]第一聚光镜4和第二聚光镜5将太阳光聚焦后照射向滤光棱镜3；滤光棱镜3对第一聚光镜4和第二聚光镜5聚焦后的太阳光进行折射，将太阳光分解并按照波长由长到短的顺序排列，由于紫外光波长最短，故紫外光处于最下方，使得滤光棱镜3的底端射出紫外光，而第三聚光镜6将太阳光聚焦后照向射出的紫外光，以满足紫外光快速辐射所需能量，并保证紫外光波长不会变长；紫外光再进入刻刀喷嘴7内，由刻刀喷嘴7将紫外光的光束直径进行调整，并以细线状射出，工作台2上放置有硅晶，并可通过平移机构8对硅晶进行平移，并在工作台2上具有掩模板，紫外光透过掩模板对硅晶进行曝光，并在曝光过程中，平移装置可移动硅晶，使得掩模板上的图案信息印刻到硅晶，在硅晶上恢复处掩模图案实现光刻成像。
[0022]进一步地，所述刻刀喷嘴7包括：安装块71和嘴芯72；所述安装块71固定在所述机架1上且位于滤光棱镜3的下方；所述安装块71上开设有安装孔9；所述嘴芯72安装在所述安装孔9内；所述嘴芯72上开设有供紫外线通过的芯孔10。滤光棱镜3射出的紫外光通过安装孔9射入芯孔10内，由芯孔10对紫外光的光束的直径进行限制，使得射到硅片上的紫外线光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.太阳能光刻机，其特征在于，包括机架和工作台；所述机架上固定有用于折射太阳光以筛滤得到紫外线的滤光棱镜；所述机架上且位于所述滤光棱镜的上方设置有用于将太阳光反射至滤光棱镜顶部的第一聚光镜和第二聚光镜；所述机架上还设置有用于将太阳光反射至滤光棱镜底端的第三聚光镜；所述机架上且位于滤光棱镜的下方设置有用于输出紫外线的刻刀喷嘴；所述机架上设置有用于平移所述工作台的平移机构；所述工作台设置在所述平移机构上且位于所述刻刀喷嘴的下方。2.根据权利要求1所述的太阳能光刻机，其特征在于，所述刻刀喷嘴包括：安装块和嘴芯；所述安装块固定在所述机架上且位于滤光棱镜的下方；所述安装块上开设有安装孔；所述嘴芯安装在所述安装孔内；所述嘴芯上开设有供紫外线通过的芯孔。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：唐昌顺，
申请(专利权)人：唐昌顺，
类型：新型
国别省市：