晶圆对位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种晶圆对位装置。晶圆对位装置包括：承载台，用于放置待对位晶圆；以及沿承载台周向布置的至少三个调节件；调节件一端与承载台活动连接以使其可相对承载台产生位移，调节件的另一端设有用于抵接待对位晶圆的抵接部。本实用新型专利技术解决了现有技术中巨量转移过程中晶圆对位不准确的问题。移过程中晶圆对位不准确的问题。移过程中晶圆对位不准确的问题。

【技术实现步骤摘要】
晶圆对位装置


[0001]本技术涉及半导体加工
，尤其涉及一种晶圆对位装置。

技术介绍

[0002]目前，Micro
‑
LED是新兴的显示技术，相对比常规的显示技术，以Micro
‑
LED技术为核心的显示具有响应速度快，自主发光、对比度高、使用寿命长、光电效率高等特点。
[0003]在Micro
‑
LED产业技术中，巨量转移技术为核心关键技术，通过高精度设备将大量Micro
‑
LED晶粒转移到目标基板(晶圆)或者电路上。其中巨量转移的成本、良率、精度是巨量转移成功的关键。
[0004]巨量转移根据制程需求会多次对位键合，涉及不同材料、不同尺寸、不同形状，而现有的键合设备中往往不具备对位功能，采用人工对位会导致造成晶片偏转，导致后续制程偏差较大，从而影响制程良率。
[0005]因此，如何提高巨量转移过程中晶圆对位的准确性是亟需解决的问题。

技术实现思路

[0006]鉴于上述现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种晶圆对位装置，旨在解决现有技术中巨量转移过程中晶圆对位不准确的问题。
[0007]一种晶圆对位装置，包括：承载台，用于放置待对位晶圆；以及沿承载台周向布置的至少三个调节件；调节件一端与承载台活动连接以使其可相对承载台产生位移，调节件的另一端设有用于抵接待对位晶圆的抵接部。
[0008]上述通过设置承载台和沿承载台周向布置的至少三个调节件，调节件一端与承载台活动连接以使其可相对承载台产生位移，调节件的另一端设有用于抵接待对位晶圆的抵接部，这样可以根据不同类型的待对位晶圆的外形尺寸调节各个调节件与承载台之间的距离，以使每个调节件均与一个待对位晶圆抵接，多个调节件从待对位晶圆的四周将待对位晶圆限位止挡，然后将另一个待对位晶圆放入多个调节件围成的对位空间内，从而与上一个已容置在对位空间内的待对位晶圆准确对位，依次类推，能够完成两个或更多个待对位晶圆的准确对位，有效解决了现有技术中巨量转移过程中晶圆对位不准确的问题。
[0009]可选地，至少三个调节件沿承载台周向均匀地布置。这样调节件能够在承载台的周向均能够起到调节对位的作用，保证待对位晶圆在各个方位都能够得到有效的限位止挡，从而实现待对位晶圆的准确对位。
[0010]可选地，抵接部朝向承载台的一侧开设有导向斜面，导向斜面用于待对位晶圆的放置过渡。通过设置导向斜面，使得待对位的另一个或者多个待对位晶圆能够顺畅地进入多个调节件的抵接部围成的对位空间内，从而与上一个已容置在对位空间内的待对位晶圆准确对位，且在待对位晶圆进入对位空间的过程中不会与尖端物体碰触，防止待对位晶圆损坏。
[0011]可选地，抵接部与待对位晶圆抵接的一面作为抵接面，抵接面包括平面或曲面。
[0012]可选地，抵接面沿垂直于承载台方向上的高度大于或等于待对位晶圆沿垂直于承载台方向上的高度。这样在一个待对位晶圆已容置在对位空间的前提下，待对位的另一个或者多个待对位晶圆进入对位空间后，多个抵接部的抵接面仍具有足够的高度与进入对位空间的待对位晶圆抵接，从而形成限位止挡，保证待对位晶圆对位的准确性。
[0013]可选地，调节件还包括连接部；连接部一端与承载台活动连接，另一端与抵接部活动连接。通过上述设置，抵接部能够与连接部活动连接，使得抵接部能够远离或者朝向承载台移动，从而在待对位晶圆放置在承载台上后，抵接部能够根据待对位晶圆的外形尺寸调节与待对位晶圆之间的距离，直至与待对位晶圆抵接，以使抵接部与待对位晶圆的边缘相适配，使得抵接部对待对位晶圆的限位更加准确牢固，进而保证待对位晶圆对位的准确性。
[0014]可选地，连接部与抵接部连接的一端为半球形，抵接部开设有与半球形相适配的凹槽。通过上述设置，抵接部能够与连接部实现转动连接，使得抵接部能够绕连接部的一端灵活地转动，从而根据待对位晶圆的外形相应调整抵接部的转动位置或角度，以使抵接部与待对位晶圆的边缘相适配，使得抵接部对待对位晶圆的限位更加准确牢固，进而保证待对位晶圆对位的准确性。
[0015]可选地，调节件还包括紧固件，紧固件用于连接紧固抵接部和连接部的接触部分。这样在抵接部调节至与待对位晶圆相适配的位置或角度后，通过紧固件将抵接部与连接部固定，防止在待对位晶圆对位的过程中抵接部发生松动，影响待对位晶圆对位的准确性。
[0016]可选地，调节件与承载台活动连接的方式包括螺纹连接或驱动连接。螺纹连接或驱动连接的方式使得调节件既能够方便地远离或靠近承载台，使得调节件能够方便快捷地调节与待对位晶圆之间的距离，又能够保证与承载台的连接牢固性，保证待对位晶圆对位的准确性。
[0017]可选地，晶圆对位装置还包括：连接件，连接件固定连接于承载台，且调节件与承载台之间通过连接件实现活动连接。通过上述设置，调节件能够在连接件的带动下实现与待对位晶圆之间的距离的调节，调节件能够根据待对位晶圆的外形尺寸调节与待对位晶圆之间的距离，直至与待对位晶圆抵接，以使调节件与待对位晶圆的边缘相适配，使得调节件对待对位晶圆的限位更加准确牢固，进而保证待对位晶圆对位的准确性。
附图说明
[0018]图1为根据本技术一种实施例中的晶圆对位装置的结构示意图；
[0019]图2为根据本技术一种实施例中的抵接部的结构示意图；
[0020]图3为根据本技术一种实施例中的待对位晶圆对位后的结构示意图。
[0021]附图标记说明：
[0022]10
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承载台；20
‑
调节件；21
‑
抵接部；211
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导向斜面；212
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凹槽；213
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连通孔；22
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连接部；30
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紧固件；40
‑
连接件；50
‑
待对位晶圆。
具体实施方式
[0023]为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳实施方式。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本申请的公开内容理解的更
加透彻全面。
[0024]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。
[0025]正如
技术介绍
部分所描述的，现有技术中存在巨量转移过程中晶圆对位不准确的问题。
[0026]基于此，本申请希望提供一种能够解决上述技术问题的方案，其详细内容将在后续实施例中得以阐述。如图1所示，晶圆对位装置包括承载台10和沿承载台周向布置的至少三个调节件20。承载台10用于放置待对位晶圆50。调节件20一端与承载台10活动连接以使其可相对承载台10产生位移，调节件20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆对位装置，其特征在于，包括：承载台，用以放置待对位晶圆；以及沿所述承载台周向布置的至少三个调节件；所述调节件一端与所述承载台活动连接以使其可相对所述承载台产生位移，所述调节件的另一端设有用于抵接所述待对位晶圆的抵接部。2.如权利要求1所述的晶圆对位装置，其特征在于，至少三个所述调节件沿所述承载台周向均匀地布置。3.如权利要求1所述的晶圆对位装置，其特征在于，所述抵接部朝向所述承载台的一侧开设有导向斜面，所述导向斜面用于所述待对位晶圆的放置过渡。4.如权利要求1所述的晶圆对位装置，其特征在于，所述抵接部与所述待对位晶圆抵接的一面作为抵接面，所述抵接面包括平面或曲面。5.如权利要求4所述的晶圆对位装置，其特征在于，所述抵接面沿垂直于所述承载台方向上的高度大于或等于所述待对位晶圆沿垂直于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王斌，萧俊龙，汪楷伦，蔡明达，詹蕊绮，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：