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本实用新型涉及一种晶圆对位装置。晶圆对位装置包括：承载台，用于放置待对位晶圆；以及沿承载台周向布置的至少三个调节件；调节件一端与承载台活动连接以使其可相对承载台产生位移，调节件的另一端设有用于抵接待对位晶圆的抵接部。本实用新型解决了现有技术...
该专利属于重庆康佳光电技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆康佳光电技术研究院有限公司授权不得商用。

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