一种机械手支架加工夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种机械手支架加工夹具，所述机械手支架加工夹具包括底座和设置于所述底座上的型腔。所述型腔内设置有至少5个梯形槽，相邻所述梯形槽之间的间距为5

【技术实现步骤摘要】
一种机械手支架加工夹具


[0001]本技术涉及机械加工领域，具体涉及一种机械手支架加工夹具。

技术介绍

[0002]目前，在半导体芯片制造过程中，晶圆通常需要进行输送以实现多次的加工。
[0003]如CN213008276U公开了一种碳化硅晶圆生产输送机构，包括设置在底部的行走组件，所述行走组件的表面设有开口向上的容纳仓，所述容纳仓包括设置在行走组件表面的固定挡片，所述行走组件的表面安装有圆形的旋转盘，所述旋转盘上围绕其圆心设置的晶圆放置间隔，所述固定挡片的两侧边缘安装有上、下分布的导轨，所述导轨上安装有活动挡片。该碳化硅晶圆生产输送机构，有效对转运的晶圆片得到有效的防护，操作人员能够方便起卸晶圆片。
[0004]CN106449496A公开了种半导体晶圆的输送方法以及半导体晶圆的输送装置。只将收纳于收纳容器中的晶圆和层间体中的晶圆输送到下一工序。利用工件输送机构以保持搬出对象物的上表面的方式将搬出对象物从收纳容器中搬出，利用第一传感器检测搬出对象物的上表面的状态，来对搬出对象物进行识别。在将搬出对象物识别为晶圆时，利用第二传感器检测该晶圆的下表面的状态，来检查有无层间体。在通过该检查检测出层间体时，利用推压构件从侧方对直径大于晶圆的直径而从晶圆的外缘突出的该层间体的外缘进行推压。从喷嘴朝向由于推压而产生了褶皱的层间体吹送气体，来将层间体从晶圆分离。
[0005]当前，晶圆片在传递的过程中通常需要使用机械手来传送，机械手通常会固定在支架上，而支架的尺寸及加工精度会影响其与机械手的转配效果，进而影响晶圆专递过程的平稳性。

技术实现思路

[0006]鉴于现有技术中存在的问题，本技术的目的之一在于提供一种机械手支架加工夹具，实现了机床上固定加工过程中可以保证支架稳定高效的加工，有效的避免了加工过程中支架的异动，可以有效的释放加工中形成的应力，加工时间显著缩短，较现有技术缩短20
‑
30％，工件加工成功率为95％以上，较现有技术提升20
‑
25％。从而提升加工精度，保证晶圆传递的平稳性。
[0007]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0008]本技术提供了一种机械手支架加工夹具，所述机械手支架加工夹具包括底座和设置于所述底座上的型腔。
[0009]所述型腔内设置有至少5个梯形槽，相邻所述梯形槽之间的间距为5
‑
7mm；
[0010]所述相邻梯形槽之间的表面上设置有滚花花纹；
[0011]所述梯形槽的中心线和所述型腔的中心线相垂直。
[0012]本技术提供的支架通过设定特定的梯形槽结构，实现了机床上固定加工过程中可以保证支架稳定高效的加工，有效的避免了加工过程中支架的异动，可以有效的释放
加工中形成的应力，加工时间显著缩短，较现有技术缩短20
‑
30％，工件加工成功率为95％以上，较现有技术提升20
‑
25％。
[0013]本技术中，所述型腔内设置有至少5个梯形槽，例如可以是5个、6个、7个、8个、9个、10个或11个等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的组合同样适用。
[0014]本技术中，相邻所述梯形槽之间的间距为5
‑
7mm，例如可以是5mm、5.1mm、5.2mm、5.3mm、5.4mm、5.5mm、5.6mm、5.7mm、5.8mm、5.9mm、6mm、6.1mm、6.2mm、6.3mm、6.4mm、6.5mm、6.6mm、6.7mm、6.8mm、6.9mm或7mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的组合同样适用。
[0015]作为本技术优选的技术方案，所述底座上还设置有便于安装或拆卸的凹槽。
[0016]作为本技术优选的技术方案，所述梯形槽的深度为2
‑
3mm，例如可以是2mm、2.1mm、2.2mm、2.3mm、2.4mm、2.5mm、2.6mm、2.7mm、2.8mm、2.9mm或3mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的组合同样适用。
[0017]作为本技术优选的技术方案，所述梯形槽的最大宽度为7
‑
8mm，例如可以是7mm、7.1mm、7.2mm、7.3mm、7.4mm、7.5mm、7.6mm、7.7mm、7.8mm、7.9mm或8mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的组合同样适用。
[0018]作为本技术优选的技术方案，所述梯形槽的最小宽度为4
‑
5mm，例如可以是4mm、4.1mm、4.2mm、4.3mm、4.4mm、4.5mm、4.6mm、4.7mm、4.8mm、4.9mm或5mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的组合同样适用。
[0019]作为本技术优选的技术方案，所述滚花花纹包括直纹滚花或网纹滚花。
[0020]作为本技术优选的技术方案，所述滚花花纹的深度为1
‑
2mm，例如可以是1mm、1.1mm、1.2mm、1.3mm、1.4mm、1.5mm、1.6mm、1.7mm、1.8mm、1.9mm或2mm等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的组合同样适用。
[0021]作为本技术优选的技术方案，所述滚花花纹为50TPI花纹。
[0022]作为本技术优选的技术方案，所述梯形槽以自身中心线为基准等间距分布。
[0023]作为本技术优选的技术方案，所述型腔的深度为机械手支架厚度的50
‑
60％，例如可以是50％、51％、52％、53％、54％、55％、56％、57％、58％、59％或60％等，但不限于所列举的数值，该范围内其他未列举的组合同样适用。
[0024]与现有技术方案相比，本技术至少具有以下有益效果：
[0025]本技术提供的支架通过设定特定的梯形槽结构，实现了机床上固定加工过程中可以保证支架稳定高效的加工，有效的避免了加工过程中支架的异动，可以有效的释放加工中形成的应力，加工时间显著缩短，较现有技术缩短20
‑
30％，工件加工成功率为95％以上，较现有技术提升20
‑
25％。
附图说明
[0026]图1是本技术实施例1中机械手支架加工夹具的示意图；
[0027]图2是本技术实施例1中机械手支架加工夹具沿A
‑
A向的剖视图。
[0028]图中：1
‑
底座，2
‑
型腔，2.1
‑
梯形槽。
[0029]下面对本技术进一步详细说明。但下述的实例仅仅是本技术的简易例子，并不代表或限制本技术的权利保护范围，本技术的保护范围以权利要求书为
准。
具体实施方式
[0030]为更好地说明本技术，便于理解本技术的技术方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械手支架加工夹具，其特征在于，所述机械手支架加工夹具包括底座和设置于所述底座上的型腔；所述型腔内设置有至少5个梯形槽，相邻所述梯形槽之间的间距为5
‑
7mm；所述相邻梯形槽之间的表面上设置有滚花花纹；所述梯形槽的中心线和所述型腔的中心线相垂直。2.如权利要求1所述的机械手支架加工夹具，其特征在于，所述底座上还设置有便于安装或拆卸的凹槽。3.如权利要求1所述的机械手支架加工夹具，其特征在于，所述梯形槽的深度为2
‑
3mm。4.如权利要求1所述的机械手支架加工夹具，其特征在于，所述梯形槽的最大宽度为7
‑
8mm。5.如权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，昝小磊，鲍伟江，陈春磊，
申请(专利权)人：上海睿昇半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：