本实用新型专利技术公开了一种等离子刻蚀机的进料装置，属于半导体制造装置技术领域，本实用新型专利技术中的送料装置，设置有运输台、进料箱和推送机构，所述的运输台上设置于运输轨道，所述的运输台和进料箱配合使用能够使待刻蚀的产品的承载片能够更好地进入到运输轨道中，所述的推送机构包括支撑架、转动辊、固定块、L形推送板和紧固螺栓，通过这些组件配合使用，能够轻松地将待刻蚀的产品的承载片送入到刻蚀机的反应室中，本实用新型专利技术的结构简单，便于操作，能够有效地避免传统刻蚀机送料用的机械臂对待刻蚀产品产生的损伤，同时有效地提高了产品的质量，体现出了本实用新型专利技术的实用性。体现出了本实用新型专利技术的实用性。体现出了本实用新型专利技术的实用性。
【技术实现步骤摘要】
一种等离子刻蚀机的进料装置
[0001]本技术属于半导体制造装置
，具体地说，涉及一种等离子刻蚀机的进料装置。
技术介绍
[0002]等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等，等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面，某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种轻微的情况，进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分，工件送入被真空泵抽空的反应室，气体被导入并与等离子体进行交换，等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走；
[0003]现有的待刻蚀工件是放置在一个承载片上然后通过机械臂被送入至等离子刻蚀机的反应室内，对于机械臂的传送还存在一定的问题，比如机械臂无法很好地掌握拾取力度，从而导致在拾取传送过程中待刻蚀的工件出现损伤，影响了产品质量。
技术实现思路
[0004]针对现有的等离子刻蚀机利用机械臂进行送料容易对产品造成损伤的问题，本技术提供一种等离子刻蚀机的进料装置，所述的送料装置设置有运输台、进料箱和推送机构这些组件配合使用能够更好地将承载片放入运输轨道并轻松地送入到刻蚀机的反应室中，有效地避免了传统刻蚀机送料用的机械臂对待刻蚀产品产生的损伤，有效地提高了产品的质量，以解决
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案。
[0006]一种等离子刻蚀机的进料装置，包括送料装置，所述的送料装置的一端连接刻蚀机反应室的进料口，所述的送料装置包括运输台、进料箱和推送机构，所述的进料箱固定连接在运输台的一端，所述的推送机构固定连接在运输台上。
[0007]优选地，所述的运输台的截面为U形，所述的运输台内设置有运输轨道，所述的运输轨道与运输台的侧壁呈台阶状，且运输轨道设置有两组，两运输轨道之间形成凹槽，所述的运输台下方设置有支撑腿，所述的支撑腿固定连接在运输台的四脚，且支撑腿上设置有固定平台。
[0008]优选地，所述的进料箱固定连接在运输台的一端，所述的进料箱为未闭合的箱体结构，所述的进料箱内设置有斜板，所述的斜板为表面极其光滑的材质，且斜板与运输轨道的一端进行抵接，所述的进料箱上还设置有挡板，所述的挡板与斜板之间设置有缝隙。
[0009]优选地，所述的推送机构包括支撑架、转动辊、固定块、L形推送板和紧固螺栓，所述的支撑架设置有两组，分别固定连接在运输台上的两端，所述的转动辊与支撑架进行转
动连接，所述的转动辊上套接有传输皮带，且所述的转动辊通过设置有的动力皮带与设置有的电机的输出端连接，所述的电机固定连接在固定平台上。
[0010]优选地，所述的传输皮带上设置有固定块，所述的固定块套接在传输皮带上并与传输皮带进行固定连接。
[0011]优选地，所述的固定块上设置有固定板，所述的固定板的一端通过设置有的紧固螺栓固定连接在固定块上，所述的固定板上设置有L形推送板，所述的L形推送板通过紧固螺栓固定连接在固定板的另一端，且L形推送板的下端延伸至两运输轨道之间的凹槽中。
[0012]有益效果
[0013]相比于现有技术，本技术的有益效果为：
[0014](1)上述的等离子刻蚀机的进料装置，所述的送料装置设置有运输台和进料箱，由于运输台与进料箱的配合使用使得待刻蚀的产品的承载片能够更好地进入到运输轨道中，结构简单便于操作。
[0015](2)上述的等离子刻蚀机的进料装置，设置有推送机构，所述的推送机构包括支撑架、转动辊、固定块、L形推送板和紧固螺栓，通过这些组件配合使用，能够轻松地将待刻蚀的产品的承载片送入到刻蚀机的反应室中，避免了传统刻蚀机送料用的机械臂对待刻蚀产品产生的损伤，有效地提高了产品的质量。
附图说明
[0016]图1为本技术中送料装置的结构示意图；
[0017]图2为本技术中运输台的结构示意图；
[0018]图3为本技术中进料箱的结构示意图；
[0019]图4为本技术图1中A处放大图。
[0020]图中各附图标注与部件名称之间的对应关系如下：
[0021]图中：100、送料装置；
[0022]10、运输台；11、运输轨道；12、凹槽；13、支撑腿；14、固定平台；
[0023]20、进料箱；21、斜板；22、挡板；
[0024]30、推送机构；31、支撑架；32、转动辊；33、传输皮带；34、动力皮带；35、电机； 36、固定块；37、固定板；38、L形推送板；39、紧固螺栓。
具体实施方式
[0025]下面结合具体技术对本技术进一步进行描述。
[0026]实施例
[0027]如图1
‑
4所示，其为本技术一优选实施方式的一种等离子刻蚀机的进料装置的结构示意图，本实施例的等离子刻蚀机的进料装置包括送料装置100，所述的送料装置100 包括运输台10、进料箱20和推送机构30，所述的进料箱20固定连接在运输台10的一端，所述的推送机构30固定连接在运输台10上。
[0028]所述的运输台10的截面为U形，所述的运输台10内设置有运输轨道11，所述的运输轨道11与运输台10的侧壁呈台阶状，且运输轨道11设置有两组，两运输轨道11之间形成凹槽12，所述的运输台10下方设置有支撑腿13，所述的支撑腿13固定连接在运输台 10的四
脚，且支撑腿13上设置有固定平台14。
[0029]所述的进料箱20固定连接在运输台10的一端，所述的进料箱20为未闭合的箱体结构，所述的进料箱20内设置有斜板21，所述的斜板21为表面极其光滑的材质，且斜板 21与运输轨道11的一端进行抵接，使得斜板21上的工件直接滑到运输轨道11上，所述的进料箱20上还设置有挡板22，所述的挡板22与斜板21之间设置有缝隙可供工件顺利滑落的同时还可以有效地防止工件发生偏离。
[0030]所述的推送机构30包括支撑架31、转动辊32、固定块36、L形推送板38和紧固螺栓39，所述的支撑架31设置有两组，分别固定连接在运输台10上的两端，所述的转动辊 32与支撑架31进行转动连接，所述的转动辊32上套接有传输皮带33，且所述的转动辊 32通过设置有的动力皮带34与设置有的电机35的输出端连接，所述的电机35固定连接在固定平台14上，所述的电机35作为动力源可带动转动辊32与传输皮带33进行转动。
[0031]所述的传输皮带33上设置有固定块36，所述的固定块36套接在传输皮带33上并与传输皮带33进行固定连接，所述的固定块36可在传输皮带33上沿着运输台10做往复运动，所述的固定块36上设置有固定板37，所述的固定板37的一端通过设置有的紧固螺栓 39固定连接本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种等离子刻蚀机的进料装置，包括送料装置(100)，所述的送料装置(100)的一端连接刻蚀机反应室的进料口；其特征在于：所述的送料装置(100)包括运输台(10)、进料箱(20)和推送机构(30)，所述的进料箱(20)固定连接在运输台(10)的一端，所述的推送机构(30)固定连接在运输台(10)上。2.根据权利要求1所述的等离子刻蚀机的进料装置，其特征在于：所述的运输台(10)的截面为U形，所述的运输台(10)内设置有运输轨道(11)，所述的运输轨道(11)与运输台(10)的侧壁呈台阶状，且运输轨道(11)设置有两组，两运输轨道(11)之间形成凹槽(12)，所述的运输台(10)下方设置有支撑腿(13)，所述的支撑腿(13)固定连接在运输台(10)的四脚，且支撑腿(13)上设置有固定平台(14)。3.根据权利要求1所述的等离子刻蚀机的进料装置，其特征在于：所述的进料箱(20)固定连接在运输台(10)的一端，所述的进料箱(20)为未闭合的箱体结构，所述的进料箱(20)内设置有斜板(21)，所述的斜板(21)为表面极其光滑的材质，且斜板(21)与运输轨道(11)的一端进行抵接，所述的进料箱(20)上还设置有挡板(22)，所述的挡板(22)与斜板(21)之...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖海涛，
申请(专利权)人：江苏邑文微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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