一种气缸装置及半导体设备制造方法及图纸

本发明专利技术的实施例提供了一种气缸装置及半导体设备，涉及半导体设备技术领域。气缸装置包括第一固定件、第二固定件、气缸组件以及调节组件。第一固定件与第二固定件均用于与外部框架连接。气缸组件的一端通过调节组件与第一固定件连接，另一端与第二固定件连接。通过调节组件调节气缸组件与外部框架之间的距离，以使得气缸组件和外部框架之间的距离达到预设距离，从而减少装配及加工误差，提高了气缸装置的精度以及装配效率；此外，还可通过调节组件调整气缸组件的平整度，以提高气缸组件运行的稳定性，从而提高气缸装置的操控性能。从而提高气缸装置的操控性能。从而提高气缸装置的操控性能。

【技术实现步骤摘要】
一种气缸装置及半导体设备


[0001]本专利技术涉及半导体
，具体而言，涉及一种气缸装置及半导体设备。

技术介绍

[0002]半导体设备中的去胶机、刻蚀机等设备应用有气缸，由于半导体设备对精度以及稳定性的要求，对气缸的要求也比较严格，尤其是对于气缸的位置的稳定性而言，对其要求是极为严格的。目前在实际的使用中，由于对气缸的位置稳定性要求极其高，通常采用螺栓直接将气缸固定在机床或相关结构件上，但安装好后不易调整气缸位置，对气缸固定件的加工及装配要求均比较高，一定程度上影响了装配效率，提高了制作成本。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种气缸装置及半导体设备，其能够通过调整气缸组件以减小装置及制造加工误差。
[0004]本专利技术的实施例可以这样实现：
[0005]第一方面，本专利技术提供一种气缸装置，包括第一固定件、第二固定件、气缸组件以及调节组件；
[0006]所述第一固定件与所述第二固定件均用于与外部框架连接；
[0007]所述气缸组件的一端通过调节组件与所述第一固定件连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气缸装置，其特征在于，包括第一固定件(100)、第二固定件(200)、气缸组件(400)以及调节组件(300)；所述第一固定件(100)与所述第二固定件(200)均用于与外部框架连接；所述气缸组件(400)的一端通过调节组件(300)与所述第一固定件(100)连接，另一端与所述第二固定件(200)连接，所述调节组件(300)用于调节所述气缸组件(400)与所述外部框架之间的距离。2.根据权利要求1所述的气缸装置，其特征在于，所述调节组件(300)包括第一紧固件(310)和第一弹性件(320)，所述气缸组件(400)的一端通过所述第一紧固件(310)与所述第一固定件(100)连接，另一端与所述第二固定件(200)连接，所述第一弹性件(320)位于所述第一固定件(100)和所述气缸组件(400)之间，所述第一紧固件(310)用于调节所述第一固定件(100)和所述气缸组件(400)之间的距离。3.根据权利要求2所述的气缸装置，其特征在于，所述气缸组件(400)包括气缸(410)以及第一连接件(420)，所述气缸(410)的一端的一侧与所述第一连接件(420)连接，所述第一固定件(100)通过所述第一紧固件(310)与所述第一连接件(420)连接，所述第一弹性件(320)设置于所述第一固定件(100)和所述第一连接件(420)之间。4.根据权利要求3所述的气缸装置，其特征在于，所述气缸组件(400)还包括第二连接件(430)，所述第二连接件(430)与所述气缸(410)远离所述第一连接件(420)的一端连接，所述第二连接件(430)与所述第二固定件(200)...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴建波，孙文彬，朱磊，
申请(专利权)人：江苏邑文微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：