一种气缸装置及半导体设备制造方法及图纸

本发明专利技术的实施例提供了一种气缸装置及半导体设备，涉及半导体设备技术领域。气缸装置包括第一固定件、第二固定件、气缸组件以及调节组件。第一固定件与第二固定件均用于与外部框架连接。气缸组件的一端通过调节组件与第一固定件连接，另一端与第二固定件连接。通过调节组件调节气缸组件与外部框架之间的距离，以使得气缸组件和外部框架之间的距离达到预设距离，从而减少装配及加工误差，提高了气缸装置的精度以及装配效率；此外，还可通过调节组件调整气缸组件的平整度，以提高气缸组件运行的稳定性，从而提高气缸装置的操控性能。从而提高气缸装置的操控性能。从而提高气缸装置的操控性能。

【技术实现步骤摘要】
一种气缸装置及半导体设备


[0001]本专利技术涉及半导体
，具体而言，涉及一种气缸装置及半导体设备。

技术介绍

[0002]半导体设备中的去胶机、刻蚀机等设备应用有气缸，由于半导体设备对精度以及稳定性的要求，对气缸的要求也比较严格，尤其是对于气缸的位置的稳定性而言，对其要求是极为严格的。目前在实际的使用中，由于对气缸的位置稳定性要求极其高，通常采用螺栓直接将气缸固定在机床或相关结构件上，但安装好后不易调整气缸位置，对气缸固定件的加工及装配要求均比较高，一定程度上影响了装配效率，提高了制作成本。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种气缸装置及半导体设备，其能够通过调整气缸组件以减小装置及制造加工误差。
[0004]本专利技术的实施例可以这样实现：
[0005]第一方面，本专利技术提供一种气缸装置，包括第一固定件、第二固定件、气缸组件以及调节组件；
[0006]所述第一固定件与所述第二固定件均用于与外部框架连接；
[0007]所述气缸组件的一端通过调节组件与所述第一固定件连接，另一端与所述第二固定件连接，所述调节组件用于调节所述气缸组件与所述外部框架之间的距离。
[0008]在可选的实施方式中，所述调节组件包括第一紧固件和第一弹性件，所述气缸组件的一端通过所述第一紧固件与所述第一固定件连接，另一端与所述第二固定件连接，所述第一弹性件位于所述第一固定件和所述气缸组件之间，所述第一紧固件用于调节所述第一固定件和所述气缸组件之间的距离。
[0009]在可选的实施方式中，所述气缸组件包括气缸以及第一连接件，所述气缸的一端的一侧与所述第一连接件连接，所述第一固定件通过所述第一紧固件与所述第一连接件连接，所述第一弹性件设置于所述第一固定件和所述第一连接件之间。
[0010]在可选的实施方式中，所述气缸组件还包括第二连接件，所述第二连接件与所述气缸远离所述第一连接件的一端连接，所述第二连接件与所述第二固定件间隔设置。
[0011]在可选的实施方式中，所述第一连接件与所述气缸的驱动方向平行，所述第二连接件与所述气缸的驱动方向垂直。
[0012]在可选的实施方式中，所述气缸装置还包括定位球，所述第二连接件设置有第一凹槽，所述第二固定件设置有第二凹槽，所述第一凹槽和所述第二凹槽相对设置且均与所述定位球适配，所述定位球部分容置于所述第一凹槽和所述第二凹槽，以使所述第二连接件可相对所述第二固定件转动。
[0013]在可选的实施方式中，所述第一凹槽和所述第二凹槽的数量均为多个，多个所述第一凹槽和多个所述第二凹槽均呈直线排列。
[0014]在可选的实施方式中，所述气缸装置还包括连接组件，所述连接组件包括第二紧固件和第二弹性件，所述第二连接件通过所述第二紧固件与所述第二固定件连接，所述第二弹性件套设于所述第二紧固件外并位于所述第二连接件和所述第二紧固件之间。
[0015]在可选的实施方式中，所述调节组件的数量包括两个，两个所述调节组件位于所述气缸组件的两侧。
[0016]第二方面，本专利技术提供一种半导体设备，包括如前述实施方式任一项所述的气缸装置。
[0017]本专利技术实施例提供的气缸装置及半导体设备的有益效果包括：通过调节组件调节气缸组件与外部框架之间的距离，以使得气缸组件和外部框架之间的距离达到预设距离，从而减少装配及加工误差，提高了气缸装置的精度以及装配效率；此外，还可通过调节组件调整气缸组件的平整度，以提高气缸组件运行的稳定性，从而提高气缸装置的操控性能。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本专利技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0019]图1为本专利技术实施例提供的气缸装置第一视角结构示意图1；
[0020]图2为本专利技术实施例提供的气缸装置第一视角结构示意图2；
[0021]图3为本专利技术实施例提供的气缸装置第二视角结构示意图；
[0022]图4为本专利技术实施例提供的气缸装置部分结构剖视图；
[0023]图5为本专利技术实施例提供的气缸装置第三视角结构示意图。
[0024]图标：10
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气缸装置；100
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第一固定件；200
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第二固定件；210
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第二凹槽；300
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调节组件；310
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第一紧固件；320
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第一弹性件；400
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气缸组件；410
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气缸；420
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第一连接件；430
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第二连接件；431
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第一凹槽；440
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第一端板；450
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第二端板；460
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滑块；500
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定位球；600
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连接组件；610
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第二紧固件；620
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第二弹性件。
具体实施方式
[0025]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0026]因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0027]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0028]在本专利技术的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方
位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0029]此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0030]需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术的实施例中的特征可以相互结合。
[0031]本专利技术提供了一种半导体设备，应用于半导体领域。半导体设备包括气缸装置，半导体设备及气缸装置通常均水平放置，而气缸装置具有调节功能，因此可通过气缸装置调节平整度，同时可消除气缸装置的翘曲现象以及加工装配时产生的装配误差，从而满足装配要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气缸装置，其特征在于，包括第一固定件(100)、第二固定件(200)、气缸组件(400)以及调节组件(300)；所述第一固定件(100)与所述第二固定件(200)均用于与外部框架连接；所述气缸组件(400)的一端通过调节组件(300)与所述第一固定件(100)连接，另一端与所述第二固定件(200)连接，所述调节组件(300)用于调节所述气缸组件(400)与所述外部框架之间的距离。2.根据权利要求1所述的气缸装置，其特征在于，所述调节组件(300)包括第一紧固件(310)和第一弹性件(320)，所述气缸组件(400)的一端通过所述第一紧固件(310)与所述第一固定件(100)连接，另一端与所述第二固定件(200)连接，所述第一弹性件(320)位于所述第一固定件(100)和所述气缸组件(400)之间，所述第一紧固件(310)用于调节所述第一固定件(100)和所述气缸组件(400)之间的距离。3.根据权利要求2所述的气缸装置，其特征在于，所述气缸组件(400)包括气缸(410)以及第一连接件(420)，所述气缸(410)的一端的一侧与所述第一连接件(420)连接，所述第一固定件(100)通过所述第一紧固件(310)与所述第一连接件(420)连接，所述第一弹性件(320)设置于所述第一固定件(100)和所述第一连接件(420)之间。4.根据权利要求3所述的气缸装置，其特征在于，所述气缸组件(400)还包括第二连接件(430)，所述第二连接件(430)与所述气缸(410)远离所述第一连接件(420)的一端连接，所述第二连接件(430)与所述第二固定件(200)...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴建波，孙文彬，朱磊，
申请(专利权)人：江苏邑文微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：