【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种对包埋式电感线圈(immersed induction coil)、比如用于真空处理腔室中的致电离线圈进行冷却的方法。如果不能够对致电离线圈的温度进行适当地控制将会产生很多问题，并且对于真空处理腔室内部的线圈来说这种问题尤为突出，这是因为在这种情况下在线圈上所淀积的物质的粘附性将会变得不再充分，从而会在处理腔室中产生有害微粒。通常，通过沿一穿经线圈的冷却通道恒定地流动液态冷却剂来对这种线圈进行冷却。如果是利用水，那么冷却作用的效率将会非常高并且线圈的温度可以保持远远低于所述处理腔室内部的环境温度，从而造成在经受处理的晶体上附着大量的微粒。相反，如果是利用空气，那么冷却作用就原理上而言是可行的，但是对于具有一定长度的线圈来说，甚至包括那些单匝线圈，会沿该线圈的长度方向形成热梯度，从而导致所淀积材料发生剥离。本专利技术的要点在于提供一种对具有一穿经其进行延伸的冷却通道的电感线圈进行冷却的方法，该方法包括首先将冷却剂沿第一方向穿经所述冷却通道进行流动，并且随后再沿相反方向穿经该冷却通道进行流动。所述流动方向可以进行周期性转换，比如，处理工艺所运行...
【技术保护点】
一种对具有一穿经其进行延伸的冷却通道的电感线圈进行冷却的方法，该方法包括首先使冷却剂沿第一方向穿经所述冷却通道进行流动，并且随后再使冷却剂沿第二方向穿经该冷却通道进行流动。
【技术特征摘要】
GB 2000-4-19 0009565.31．一种对具有一穿经其进行延伸的冷却通道的电感线圈进行冷却的方法，该方法包括首先使冷却剂沿第一方向穿经所述冷却通道进行流动，并且随后再使冷却剂沿第二方向穿经该冷却通道进行流...
【专利技术属性】
技术研发人员：伊恩蒙克里夫，克莱夫L威迪克斯，
申请(专利权)人：特利康控股有限公司，
类型：发明
国别省市：GB[英国]
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