【技术实现步骤摘要】
旋转型模块结合型离子发生器
[0001]本专利技术涉及旋转型模块结合型离子发生器,更详细而言,涉及一种以X射线管模块容易拆装的结构形成的旋转型模块结合型离子发生器。
技术介绍
[0002]一般而言,在LCD、半导体等的制造工序中,为了预先防止发生微细灰尘附着于LCD或半导体晶片或者因静电导致元件损毁等问题,安装除静电装置。
[0003]除静电装置大致分为电晕放电式装置与X射线辐射式装置,最近,主要使用X射线辐射式装置,即X射线离子发生器(X
‑
ray Ionizer),这种装置克服了电晕放电式装置具有的高电压放电导致的溅射现象、产生臭氧、离子平衡调整所致不便等缺点。
[0004]X射线离子发生器是生成并辐射X射线(X
‑
ray)而使气体分子离子化,从而使除电对象物体表面的静电中和的装置,主要以照射软X射线(Soft X
‑
ray)的方式体现。这种X射线离子发生器不产生微细灰尘,也不需要使空气对流,因而更是倍受瞩目,并开发成多样的方式。
[0005] ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种旋转型模块结合型离子发生器,其特征在于,包括:主体,所述主体在内部形成一个以上的收纳空间,形成与所述收纳空间连通的插入槽;X射线管模块,所述X射线管模块插入于所述主体的收纳空间,且包括具有第一连接器的第一接线插座、与所述第一连接器电气连接的X射线管;旋转体,所述旋转体在所述主体的收纳空间一侧形成,能以旋转轴为中心旋转地结合;及第二接线插座,所述第二接线插座结合于所述旋转体,能借助于所述旋转体的旋转而旋转,包括向所述第一连接器传递电源的第二连接器;所述第二接线插座在所述主体外侧结合于所述X射线管模块的第一接线插座,所述第一连接器导电接触所述第二连接器后,所述旋转体随着旋转所述X射线管模块而旋转,所述X射线管模块容纳于所述收纳空间。2.根据权利要求1所述的旋转型模块结合型离子发生器,其特征在于,在所述主体中,在所述插入槽的侧面形成防碰撞槽,以便所述X射线管模块在外侧结合于第二接线插座时,不与所述主体碰撞。3.根据权利要求1所述的旋转型模...
【专利技术属性】
技术研发人员:李东勋,李炳俊,孙康荣,朴进哲,
申请(专利权)人:禅才高科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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