本发明专利技术提供一种具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置包括：罩外壳，在内部形成有空间部，在一面形成有多个风扇插入孔；吸入组件，包括吸入风扇，在与风扇插入孔对应的位置形成，将空气流诱导到后方；蜂巢组件，具备集电极部和发射电极部，集电极部包括第一框架、板状电极，发射电极部包括第二框架、多个丝状电极；电源供应部，将相互相反极性的电源接入板状电极与丝状电极；及臭氧还原过滤器，在吸入风扇前方形成，能够去除臭氧。能够去除臭氧。能够去除臭氧。
【技术实现步骤摘要】
具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置
[0001]本专利技术涉及具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置，更详细而言，涉及一种不仅能够捕集在工艺上发生的微尘，而且具备臭氧还原过滤器，能够去除在集尘过程中可能发生的臭氧的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置。
技术介绍
[0002]作为用于半导体或LCD(Liquid Crystal Display devise：液晶显示装置)等显示装置制造工艺的捕集净室内极细颗粒的粉尘等悬浮物捕集的方式，正在活跃地使用电集尘器。所述电集尘器的原理是在电极发生电晕放电，使含有粉尘的气体流入该空间而使之离子化，并使离子化的粉尘聚集于各电极而捕捉、集尘。
[0003]最近，随着国内从事半导体产业的劳动者发生白血病、再生不良性贫血、淋巴造血系统癌症等疾病，尽管半导体制造环境是严格控制颗粒、温度、湿度、差压、酸、碱、有机物等污染因素的超洁净的净室，但从保健观点而言，对作业环境安全性或有害性与否的关注高涨，报告了对作业环境中诸如气体、化学物质的化学因素及诸如非电离辐射等的物理因素等的暴露评价及对流行病学调查的研究。
[0004]臭氧特别是在扩散工艺中，使自然氧化膜在晶片表面生长，对制品的收率、品质和可靠性造成巨大影响，因而在外部气体臭氧浓度升高的夏季尤其要求特别管理。
[0005]所述电集尘器在集尘过程中会产生臭氧，这种臭氧不仅导致制品的不良，而且存在有害于人体的问题。
[0006]【现有技术文献】
[0007]【专利文献】
[0008](专利文献1)韩国授权专利第10
‑
1183228号(2012年9月10日)
技术实现思路
[0009]本专利技术目的旨在解决如上所述问题，提供一种具备使集尘过程中可能发生的臭氧还原的过滤器、能够使人体有害性最小化的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置。
[0010]本专利技术的目的不限于以上提及的目的，未提及的其他目的是本专利技术
的技术人员可以从以下记载明确理解的。
[0011]技术方案
[0012]为了达成所述目的，根据本专利技术的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置包括：包括：罩外壳，所述罩外壳在内部形成有空间部，在一面形成有多个风扇插入孔；吸入组件，所述吸入组件包括吸入风扇，所述吸入风扇在与所述风扇插入孔对应的位置形成，将空气流诱导到后方；蜂巢组件，所述蜂巢组件具备集电极部和发射电极部，所述集电极部包括第一框架、板状电极，所述第一框架在所述吸入组件后方形成，是具有内部空间的框架，所述板状电极在所述第一框架内部配置成一列，打孔有多个孔，所述发射电极部包括
第二框架、多个丝状电极，所述第二框架是与所述第一框架对应的形状，所述多个丝状电极横穿所述第二框架内部而彼此平行地隔开配置，且以与所述孔的中心点对应的方式配置；电源供应部，所述电源供应部将相互相反极性的电源接入所述板状电极与所述丝状电极；及臭氧还原过滤器，所述臭氧还原过滤器在所述吸入风扇前方形成，能够去除臭氧。
[0013]另外，还包括：保护面板，所述保护面板为绝缘材质，在所述发射电极部后方形成，形成有引导空气流的多个通孔。
[0014]另外，其特征在于，所述臭氧还原过滤器包括移送以所述吸入风扇为媒介流入的空气的管道，使通过所述管道流入的臭氧还原而去除。
[0015]另外，其特征在于，还包括：臭氧还原过滤器罩，所述臭氧还原过滤器罩结合于形成有所述风扇插入孔的罩外壳外面，所述臭氧还原过滤器罩在与所述风扇插入孔对应的位置形成有第一空气流入孔，在内侧形成有用于容纳所述臭氧还原过滤器的容纳空间支架，且所述容纳空间支架在与所述风扇插入孔和所述第一空气流入孔对应的位置形成有第二空气流入孔。
[0016]专利技术效果
[0017]根据本专利技术的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置具备能够去除在电集尘过程中可能发生的臭氧的臭氧还原过滤器，从而可以防止电集尘过程中发生的臭氧随机释放到空气中，因而具有可以使臭氧引起的人体有害性最小化的效果。
附图说明
[0018]图1是示出根据本专利技术的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的立体图。
[0019]图2是示出根据本专利技术的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的后视图(a)和俯视图(b)。
[0020]图3是用于说明根据本专利技术的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的罩外壳内部构成的分解立体图。
[0021]图4是用于说明构成根据本专利技术的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的蜂巢组件的概念图。
[0022]图5是用于说明构成根据本专利技术的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的臭氧还原过滤器罩的分解立体图。
[0023]图6是用于说明构成根据本专利技术的具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置的臭氧还原过滤器的概念图。
[0024]附图标记说明
[0025]100：罩外壳
[0026]110：上侧罩部
[0027]120：后面罩部
[0028]121：风扇插入孔
[0029]130：侧面罩部
[0030]200：吸入组件
[0031]210：吸入风扇
[0032]220：风扇罩
[0033]300：蜂巢组件
[0034]310：集电极部
[0035]311：第一框架
[0036]312：板状电极
[0037]313：孔
[0038]320：发射电极部
[0039]321：第二框架
[0040]322：丝状电极
[0041]400：电源供应部
[0042]500：臭氧还原过滤器
[0043]600：保护面板
[0044]610：通孔
[0045]700：臭氧还原过滤器罩
[0046]710：过滤器罩上部面
[0047]711：第一空气流入孔
[0048]720：第一过滤器罩侧面部
[0049]730：第二过滤器罩侧面部
[0050]750：容纳空间支架
[0051]751：第二空气流入孔。
具体实施方式
[0052]参照下文中与附图一起详细说明的实施例，本专利技术的优点及特征以及实现它们的方法将会显而易见。但是，本专利技术并非限定于以下公开的实施例，可以以互不相同的多样形态体现，本实施例仅提供用于使本专利技术的公开完整，向本专利技术所属
的技术人员完整地告知专利技术的范畴，本专利技术只由权利要求项的范畴所定义。
[0053]下面参照附图，详细说明实施本专利技术所需的具体内容。与附图无关，相同的构件标记指称相同的构成要素，“及/或”包括提及的各个项目及一个以上的所有组合。
[0054]虽然为了叙述多样构成要素而使用了“第一”“第二”等，但这些构成要素当然不由这些术语所限定。这些术语只用于将一个构成要素区别于其他构成要素。因此，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具备臭氧还原过滤器的节能型吸入式微尘捕集装置，包括：罩外壳，所述罩外壳在内部形成有空间部，在一面形成有多个风扇插入孔；吸入组件，所述吸入组件包括吸入风扇，所述吸入风扇在与所述风扇插入孔对应的位置形成，将空气流诱导到后方；蜂巢组件，所述蜂巢组件具备集电极部和发射电极部，所述集电极部包括第一框架、板状电极，所述第一框架在所述吸入组件后方形成，是具有内部空间的框架，所述板状电极在所述第一框架内部配置成一列，打孔有多个孔，所述发射电极部包括第二框架、多个丝状电极，所述第二框架是与所述第一框架对应的形状，所述多个丝状电极横穿所述第二框架内部而彼此平行地隔开配置，且以与所述孔的中心点对应的方式配置；电源供应部，所述电源供应部将相互相反极性的电源接入所述板状电极与所述丝状电极；及臭氧还原过滤器，所述臭氧还原过滤器在所述吸入风扇前方形成，能够去除臭...
【专利技术属性】
技术研发人员：李东勋，李炳俊，朴进哲，李敏浩，薛东圭，
申请(专利权)人：禅才高科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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