利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统制造方法及图纸

根据本发明专利技术的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统包括：真空腔室，所述真空腔室内部填充惰性气体，在一侧形成有供被带电体进入的入口；传感器模块，所述传感器模块安装于所述真空腔室内部，感测进入感测范围内的被带电体；控制模块，所述控制模块配置于所述真空腔室外部，能够从所述传感器模块接收对被带电体的感测信号以控制除静电装置的开/关，能够调节除静电装置的照射时间；及除静电装置，所述除静电装置配置于所述真空腔室内部，借助于所述控制模块进行开/关控制，向被带电体的上部照射真空紫外线光以中和被带电体的静电。上部照射真空紫外线光以中和被带电体的静电。上部照射真空紫外线光以中和被带电体的静电。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统


[0001]本专利技术涉及利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，更详细地，通过将开/关控制系统应用于原本无独立开/关控制装置的VUV除静电装置，从而通过开/关控制装置调节除静电所需的照射时间以防止VUV导致的有机物固化的系统。

技术介绍

[0002]最近，随着LCD、OLED显示装置、半导体技术进一步精密化，如沉积工序或真空腔室内工序等在减压真空环境下进行或在处置惰性气体等特殊环境下进行的工序也呈大幅增加趋势，在这种情况下，在不同于大气压环境的上述特殊环境下，X射线辐射式装置因除静电性能低而难以使用，而电晕放电式装置存在高压放电导致的溅射现象、离子平衡调整导致的不便等问题，因而难以应用。
[0003]因此，日本的滨松公司提出了一种可利用真空紫外线而在特殊环境下应用的除静电装置(JP 2816037，带电物体的中和装置)。所述技术的特征在于，包括可收纳晶片的壳体、惰性气体导入装置、中和电荷发生装置和减压装置，以便在晶片移送到减压的外壳内之前向预处理外壳内注入惰性气体，利用排气泵进行减压后照射紫外线，从而可以执行除电。所述技术包括了用于在特殊环境下除电的基础性构成，但未公开中和电荷发生装置的详细作用结构等。
[0004]因此，特别是正在开发一种连接于真空或惰性气体腔室以照射真空紫外线，从而执行除电功能的利用真空紫外线的除静电装置。
[0005]但是，这种以往的利用真空紫外线的除静电装置为灯丝(Filament)型，从而灯丝存在需要预热时间才能释放热电子的问题，这种问题导致无法对普通的利用真空紫外线的除静电装置进行开/关控制，即使可以控制，也需要预热时间(例：25秒
±
5秒)以上，存在难以进行实时开/关控制的问题，因此存在工序所需时间增加的问题，另外，当使利用真空紫外线的除静电装置连续点亮使用时，由于除静电装置过度运转，存在有机物因真空紫外线而发生固化的问题。

技术实现思路

[0006]技术问题
[0007]本专利技术目的是要解决如上所述问题，提供一种利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，通过开/关控制装置应用于封入了惰性气体的密闭型结构的灯，所述灯为在发光工艺上不存在灯丝，借助于外部电极而无需预热时间便可发光的结构，从而可以通过开/关控制装置，最小限度地应用除静电所需的照射时间，防止VUV导致的有机物固化。
[0008]本专利技术的目的不限于以上提及的目的，未提及的其他目的是本专利技术
的技术人员可以从以下记载明确理解的。
[0009]技术方案
[0010]为了达成所述目的，本专利技术的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统包
括：真空腔室，所述真空腔室内部填充惰性气体，在一侧形成有供被带电体进入的入口；传感器模块，所述传感器模块安装于所述真空腔室内部，感测进入感测范围内的被带电体；控制模块，所述控制模块配置于所述真空腔室外部，能够从所述传感器模块接收对被带电体的感测信号以控制除静电装置的开/关，能够调节除静电装置的照射时间；及除静电装置，所述除静电装置配置于所述真空腔室内部，借助于所述控制模块进行开/关控制，向被带电体的上部照射真空紫外线光以中和被带电体的静电。
[0011]另外，其特征在于，所述除静电装置包括VUV灯，通过所述VUV灯来照射真空紫外线(VUV)。
[0012]另外，其特征在于，所述VUV灯是内部无灯丝、封入了无需预热时间便能够将气体作为光源进行发光的惰性气体的密闭型结构的灯。
[0013]另外，其特征在于，所述控制模块能够通过一个控制模块对多个除静电装置进行控制，根据被带电体的移动而依次控制所述多个除静电装置的开/关。
[0014]另外，其特征在于，所述控制模块能够通过一个控制模块对在多个真空腔室中形成的一个以上除静电装置同时分别进行控制。
[0015]专利技术效果
[0016]根据本专利技术的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，通过将开/关控制装置应用于VUV除静电装置，从而能够实时进行控制，由于可调整VUV除静电装置照射时间，因而可以最大限度减少非必要操作时间，以延长VUV除静电装置的寿命，通过缩短LCD、OLED显示装置、半导体制造工序时间，从而可以获得提高制品收率的效果。
[0017]另外，由于将除静电所需的真空紫外线照射时间设置为最短时间，因而具有抑制因VUV除静电装置而可能发生的有机物固化的效果。
附图说明
[0018]图1是本专利技术实施例的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统的简要构成图。
[0019]图2是本专利技术另一实施例的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统的构成图。
[0020]图3是本专利技术又一实施例的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统的构成图。
[0021]图4是本专利技术实施例的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统的简要顺序图。
[0022]附图标记说明：
[0023]100：真空腔室
[0024]200：除静电装置
[0025]300：传感器模块
[0026]400：控制模块
[0027]10：被带电体。
具体实施方式
[0028]参照下文中与附图一起详细说明的实施例，本专利技术的优点及特征以及实现其的方法将显而易见。但是，本专利技术不限定于以下公开的实施例，可以以互不相同的多样形态体现，不过，本实施例提供用于使本专利技术的公开更完整，向本专利技术所属
的技术人员完整地告知专利技术的范畴，本专利技术只由权利要求项的范畴所定义。
[0029]下面参照附图，详细描述实施本专利技术所需的具体内容。与附图无关，相同的构件标记指称相同的构成要素，“及/或”包括提及的各个项目及一个以上的所有组合。
[0030]虽然为了叙述多样构成要素而使用了“第一”“第二”等术语，但这些构成要素当然不由这些术语所限定。这些术语只用于将一个构成要素区别于其他构成要素。因此，下面提及的第一构成要素在本专利技术的技术思想内当然也可以是第二构成要素。
[0031]本说明书中使用的术语用于描述实施例，不是要限制本专利技术。在本说明书中，只要在语句中未特别提及，单数型也包括复数型。说明书中使用的“包括(comprises)”及/或“包括的(comprising)”，不排除在提及的构成要素之外存在或添加一个以上的其他构成要素。
[0032]如果没有不同的定义，本说明书中使用的所有术语(包括技术及科学术语)可以用作本专利技术所属
的技术人员可以共同理解的意义。另外，一般使用的字典中定义的术语，只要未明确地特别定义，不得过于或过度地解释。
[0033]下面参照附图，详细描述本专利技术的优选实施例。
[0034]首先参照图1进行描述，本专利技术实施例的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统整体上包括真空腔室100、除静电装置400、传感器模块200、控制模块300。
[0035]因此，其要旨在于，在真空腔室100本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，包括：真空腔室，所述真空腔室内部填充惰性气体，在一侧形成有供被带电体进入的入口；传感器模块，所述传感器模块安装于所述真空腔室内部，感测进入感测范围内的被带电体；控制模块，所述控制模块配置于所述真空腔室外部，能够从所述传感器模块接收对被带电体的感测信号以控制除静电装置的开/关，能够调节除静电装置的照射时间；及除静电装置，所述除静电装置配置于所述真空腔室内部，借助于所述控制模块进行开/关控制，向被带电体的上部照射真空紫外线光以中和被带电体的静电。2.根据权利要求1所述的利用真空紫外线的除静电装置的开/关控制系统，其特征在于，所述除静电装置包括VUV灯，通...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东勋，李炳俊，李寿永，张浩经，林智炯，孙慜晳，
申请(专利权)人：禅才高科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：