监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统技术方案

本发明专利技术涉及监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，具体而言，涉及一种能够利用无线网络而在需要相当数量的离子发生器的制造系统中高效而无遗漏地监视离子发生器的性能的离子发生器管理系统。本发明专利技术作为监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，包括：多个传感器部；多个从属模块；至少一个以上的主模块；网关模块；管理服务器。

【技术实现步骤摘要】
监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统
本专利技术涉及监视多个离子发生器的性能或作为离子发生器除电对象的带电体的正压的离子发生器管理系统，详细而言，涉及一种能够在需要相当数量的离子发生器的制造系统中高效而无遗漏地监视离子发生器的性能或带电体的正压的离子发生器管理系统。
技术介绍
一般而言，在电子设备、LCD、半导体等的制造工序中，为了预先防止细微灰尘附着于电子设备、LCD、半导体晶片或因静电而导致元件损毁等问题，一般安装静电去除装置，即离子发生器。这种离子发生器大致可以分为电晕放电式装置和X射线辐射式装置，最近，主要利用克服了电晕放电式装置具有的高电压放电导致的溅射现象、产生臭氧气体、离子平衡调整所导致的不便等缺点的X射线辐射式装置，即X射线离子发生器。所述X射线离子发生器作为生成并辐射X射线而使气体分子离子化，从而使除电对象物体表面的静电中和的装置，主要以照射软X射线(softx-ray)的方式体现。这种X射线离子发生器不产生细微灰尘，也不需要使空气对流，因而作为更适合的方式而倍受瞩目，并开发成多样的方式。这种离子发生器在电子设备、LCD、半导体等的制造工序中有相当多的数量在运转，当在如此相当多数量的离子发生器中，一部分离子发生器的性能低下时，整体制造工序中会发生巨大数量的不良产品，应持续监视为数众多的离子发生器的性能是否保持在适度水平以上，为此正在开发离子发生器管理系统。图1是关于以往技术的离子发生器管理系统的概略性系统构成图。如图1所示，以往技术的离子发生器管理系统构成得由多个离子发生器传感器部1以有线通信方式(例如，RS-232、RS-485等)串联连接，各传感器列通过网关3向服务器4传输离子发生器性能信息。但是，就这种以往技术的离子发生器管理系统而言，性能监视传感器部之间以及传感器部与网关以串联有线通信方式2a连接，因此，一直存在因有线连接导致的连线复杂性增加的施工上的不便，因而需要过多的施工费用及施工时间，存在难以对作为各节点的传感器部和网关进行特定并系统、高效地进行管理的问题。而且，以往技术的离子发生器管理系统使用串联有线通信方式2a，因而如图1所示，存在当在通信路径上发生一个通信中断时，从发生通信中断2b的部位起，作为下级节点的传感器部的传感信息无法传输给服务器的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术目的是提供一种解决以往技术的问题的离子发生器管理系统。具体而言，本专利技术目的是提供一种能够高效、系统且无遗漏地监视相当多数量的离子发生器的离子发生器管理系统。根据旨在解决前述课题的本专利技术一个实施例，本专利技术可以提供一种监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，作为监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，其特征在于，包括：多个传感器部，所述多个传感器部为了感知离子发生器的性能，配备于每个离子发生器或由多个离子发生器构成的每个单位静电去除作业空间；多个从属模块，所述多个传感器部包括分别连接或配备于所述多个传感器部的从属通信部，通过所述从属通信部接收所述静电传感器部感知的感知数据并保管及管理；至少一个以上的主模块，所述至少一个以上的主模块包括主通信部，所述主通信部将所述多个从属通信部按每组多个的方式分组为至少一个以上的组后，与分组的多个从属通信部分别通过无线数据通信方式连接，所述主模块构成得保管及管理通过所述主通信部而进行无线数据接收的多个所述感知数据，并以无线数据方式传输；网关模块，所述网关模块包括以无线数据通信方式分别与所述至少一个以上的主通信部连接的网关通信部，对通过所述网关通信部而从所述至少一个以上的主模块分别进行无线数据接收的所述多个感知数据进行保管及管理；管理服务器，所述管理服务器以无线或有线数据通信方式与所述网关通信部连接，将所述网关模块接收的感知数据传输给管理终端。另外，优选地，其特征在于，所述从属通信部与所述主通信部之间的网络由网状网络构成，位于一个主通信部下级的一个从属通信部与位于所述一个主通信部下级的另一个从属通信部之间的网络由网状网络构成。另外，优选地，其特征在于，所述主通信部与所述网关通信部之间的网络由网状网络构成。另外，优选地，其特征在于，在所述从属通信部、所述主通信部以及所述网关通信部相互间，使用紫蜂(ZigBee)通信及蓝牙(Bluetooth)通信之一的通信方式。另外，优选地，其特征在于，所述网状网络构成得当在一个从属通信部与另一个从属通信部之间决定数据通信路径时，或当在一个从属通信部与对应于所述一个从属通信部的主通信部之间决定数据通信路径时，以一个通信部为基准，将接收信号强度最强的另一个通信部决定为优先顺序通信路径并进行数据通信，当来自所述优先顺序通信路径上的所述另一个通信部的接收信号强度降低或消失时，以所述一个通信部为基准，将接收信号强度最强的又一个通信部再决定为优先顺序通信路径并进行数据通信。另外，优选地，其特征在于，所述网关模块在通过所述网关通信部及所述主通信部而感知在所述网关模块的下级进行无线通信连接的所述至少一个以上主模块的数量后，针对所述至少一个以上的主模块，按照感知为无线通信连接于所述网关模块下级的主模块的数量，请求传输所述感知数据。另外，优选地，其特征在于，所述主模块在通过所述主通信部及所述从属通信部而感知在所述主模块的下级进行无线数据连接的所述多个从属模块的数量后，针对所述多个从属模块，按照感知为无线通信连接于所述主模块下级的从属模块的数量，请求传输所述感知数据。另外，优选地，其特征在于，所述管理服务器将所述网关模块、所述至少一个以上的主模块及所述多个从属模块，分别特定为由所述分组使用的组号、指称相应模块的地址号构成的两个坐标值并管理。根据前述课题的技术方案，本专利技术构成得使连接于各个传感器部的多个从属模块、至少一个以上的主模块、网关模块，彼此通过无线网络连接而能够进行无线数据通信，从而为了从相当多数量的传感器部向管理服务器传输传感值而不需要有线连线，因此，可以提高离子发生器管理系统施工便利性，结果，可以显著节省离子发生器管理系统的构建及/或施工费用及施工时间。另外，本专利技术构成得使从属通信部与主通信部之间的网络以及位于一个主通信部下级的一个从属通信部与位于所述一个主通信部下级的的另一个从属通信部之间的网络由网状网络构成，从而即使在从属通信部与主通信部之间通信中断或存在有通信错误的通信路径，从作为在这种问题通信路径下级存在的节点的传感器部感知的感知数据，也可以不遗漏而是通过再设置为网状网络的通信路径，经主模块及网关模块传递到管理服务器，进行系统性管理。而且，本专利技术构成得在将通信路径再设置为网状网络时，以接收信号强度为基准再设置通信路径，从而可以高效、迅速地处理将替代问题通信路径的通信路径的再设置过程。另外，本专利技术构成得使管理服务器将所述网关模块、所述至少一个以上的主模块及所述多个从属模块，分别特定为由所述分组使用的组号、指代相应模块的地址号构成的两个坐标值并进行管理，从而即使离子发生器管理系统的管理个体增加为相当本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，作为监视多个离子发生器的性能或作为所述离子发生器除电对象的带电体的正压的离子发生器管理系统，其特征在于，包括：/n多个传感器部，所述多个传感器部为了感知离子发生器的性能或作为所述离子发生器除电对象的带电体的正压，配备于每个离子发生器或由多个离子发生器构成的每个单位静电去除作业空间；/n多个从属模块，所述多个从属模块包括分别连接或配备于所述多个传感器部的从属通信部，通过所述从属通信部接收所述静电传感器部感知的感知数据并保管及管理；/n至少一个以上的主模块，所述至少一个以上的主模块包括主通信部，所述主通信部将所述多个从属通信部按每组多个的方式分组为至少一个以上的组后，与分组的多个从属通信部分别通过无线数据通信方式连接，所述主模块构成得保管及管理通过所述主通信部而进行无线数据接收的多个所述感知数据，并以无线数据方式传输；/n网关模块，所述网关模块包括以无线数据通信方式分别与所述至少一个以上的主通信部连接的网关通信部，对通过所述网关通信部而从所述至少一个以上的主模块分别进行无线数据接收的所述多个感知数据进行保管及管理；/n管理服务器，所述管理服务器以无线或有线数据通信方式与所述网关通信部连接，将所述网关模块接收的感知数据传输给管理终端。/n...

【技术特征摘要】
20181221 KR 10-2018-01674411.一种监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，作为监视多个离子发生器的性能或作为所述离子发生器除电对象的带电体的正压的离子发生器管理系统，其特征在于，包括：
多个传感器部，所述多个传感器部为了感知离子发生器的性能或作为所述离子发生器除电对象的带电体的正压，配备于每个离子发生器或由多个离子发生器构成的每个单位静电去除作业空间；
多个从属模块，所述多个从属模块包括分别连接或配备于所述多个传感器部的从属通信部，通过所述从属通信部接收所述静电传感器部感知的感知数据并保管及管理；
至少一个以上的主模块，所述至少一个以上的主模块包括主通信部，所述主通信部将所述多个从属通信部按每组多个的方式分组为至少一个以上的组后，与分组的多个从属通信部分别通过无线数据通信方式连接，所述主模块构成得保管及管理通过所述主通信部而进行无线数据接收的多个所述感知数据，并以无线数据方式传输；
网关模块，所述网关模块包括以无线数据通信方式分别与所述至少一个以上的主通信部连接的网关通信部，对通过所述网关通信部而从所述至少一个以上的主模块分别进行无线数据接收的所述多个感知数据进行保管及管理；
管理服务器，所述管理服务器以无线或有线数据通信方式与所述网关通信部连接，将所述网关模块接收的感知数据传输给管理终端。


2.根据权利要求1所述的监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，其特征在于，
所述从属通信部与所述主通信部之间的网络由网状网络构成。


3.根据权利要求2所述的监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，其特征在于，
所述主通信部与所述网关通信部之间的网络由网状网络构成。


4.根据权利要求2或3所述的监视多个离子发生器的性能...

【专利技术属性】
技术研发人员：李東勳，柳晳景，
申请(专利权)人：禅才高科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR