【技术实现步骤摘要】
一种基于晶体炉的托盘升降机构
[0001]本技术涉及晶体炉
，尤其涉及一种基于晶体炉的托盘升降机构。
技术介绍
[0002]晶体炉是生产单晶硅、多晶硅、碳化硅的的制造设备。主要由炉体、加热器、计算机控制系统、设备框架、真空抽气系统等部分组成。晶体炉的底部设有托盘，坩埚放置在托盘上，炉体内位于坩埚的周围固定有环形加热器，由于加热器是固定不可移动的，而坩埚的型号有很多种，不同型号的坩埚对于温场（加热器的加热区域）的位置需求不同，坩埚内不同物料的工艺不同也会温场的位置需求不同，目前炉体内的托盘的高度无法调节，无法匹配最佳工艺需求。
技术实现思路
[0003]本技术为了解决现有技术中的晶体炉内的托盘高度无法调节、难以匹配最优工艺的问题，提供了一种基于晶体炉的托盘升降机构，该机构能够自动的调节托盘的高度以满足工艺所需要的最佳温场，调节非常方便，而且密封性能好。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0005]一种基于晶体炉的托盘升降机构，包括设在炉体内的托盘，所述托盘的底部固定有主...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于晶体炉的托盘升降机构，包括设在炉体内的托盘，其特征是，所述托盘的底部固定有主轴，所述炉体的底面设有通孔，所述主轴穿过通孔伸出炉体外，所述主轴的外侧位于炉体底面的下侧设有导向套，所述导向套的上端设有法兰，所述法兰与炉体的底面固定连接，法兰的上端面与炉体的底面之间设有端面密封圈，所述炉体的底面下侧固定有升降组件，所述升降组件上设有升降座，所述升降座上固定有与主轴连接的连接座，所述通孔的上端固定有防尘挡圈，所述的防尘挡圈套设在主轴上，所述防尘挡圈与主轴之间设有密封环，所述导向套与主轴之间设有滑套。2.根据权利要求1所述的一种基于晶体炉的托盘升降机构，其特征是，所述升降组件包括升降支架、固定在升降支架侧面的丝杆组件，所述丝杆组件的下端设有电机，所述丝杆组件...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑建生，吴明森，邵治宇，方筱燕，
申请(专利权)人：露笑新能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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