一种长晶炉制造技术

本申请公开了一种长晶炉，包括冷却管，冷却管包括冷却介质容腔；冷却管上设有冷却介质入口和冷却介质出口，主冷却介质供入通道与冷却介质入口流路连通设置，冷却介质出口与主冷却介质排出通道流路连通设置；长晶炉还包括辅助冷却系统和电控系统，辅助冷却系统的介质出口与冷却介质入口流路连通设置，冷却介质出口与辅助冷却系统的介质入口流路连通设置；辅助冷却系统受电控系统控制，当主冷却介质供入通道和/或主冷却介质排出通道的介质流动异常时，辅助冷却系统对冷却介质容腔提供冷却介质。本申请所公开的所述长晶炉具有冷却可靠、使用安全、便于维护、自动化程度高等优点。自动化程度高等优点。自动化程度高等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种长晶炉


[0001]本申请属于长晶工业
，尤其涉及一种长晶炉。

技术介绍

[0002]众所周知，晶体在生产和生活中扮演着重要的角色。而晶体往往通过长晶炉来进行生产。碳化硅是重要的第三代半导体材料之一，因其具有禁带宽度大、饱和电子迁移率高、击穿强度大、热导率高等特性，被广泛应用于电力电子、射频器件、光电子器件等领域。
[0003]在碳化硅的生产过程中，需要高温加热，尤其在晶体生长过程中，需要使炉内长期保持在较高的温度，同时，对温度的稳定性也有较高的要求，无论从生产角度还是安全角度考虑，都需要设置冷却系统。在实际的生产过程中，长晶车间往往设置多台长晶炉，而且多台长晶炉共用一个冷却系统集中供送冷却介质，当冷却系统出现故障(例如介质通道堵塞、或冷却介质断流等)时，将影响多台长晶炉的正常工作，给实际的生产工作带来了极大的困扰，甚至由于不能及时排出故障，还可能会诱发安全事故。因此，提高长晶炉的冷却系统的可靠性对长晶生产具有重要的意义。
[0004]现有的长晶炉的晶体生长腔绝大部分为双层石英管水冷设计，两层石英管之间的夹层为冷却介质本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种长晶炉，其特征在于，包括冷却管，所述冷却管包括冷却介质容腔；所述冷却管上设有冷却介质入口和冷却介质出口，主冷却介质供入通道与所述冷却介质入口流路连通设置，所述冷却介质出口与主冷却介质排出通道流路连通设置；所述长晶炉还包括辅助冷却系统和电控系统，所述辅助冷却系统的介质出口与所述冷却介质入口流路连通设置，所述冷却介质出口与所述辅助冷却系统的介质入口流路连通设置；所述辅助冷却系统受所述电控系统控制，当所述主冷却介质供入通道和/或所述主冷却介质排出通道的介质流动异常时，所述辅助冷却系统对所述冷却介质容腔提供冷却介质。2.根据权利要求1所述长晶炉，其特征在于，所述辅助冷却系统包括泵送单元和散热单元，所述散热单元的介质出口经所述泵送单元与所述冷却介质入口流路连通设置，所述冷却介质出口与所述散热单元的介质入口流路连通设置，所述泵送单元受所述电控系统控制。3.根据权利要求2所述长晶炉，其特征在于，所述主冷却介质排出通道上设有第一压力监测单元，所述第一压力监测单元与所述电控系统信号连接设置，当所述第一压力监测单元的压力大于或小于设置值时，所述第一压力监测单元对所述电控系统发出异常信息，并使所述电控系统控制所述辅助冷却系统启动冷却模式，以对所述冷却介质容腔提供冷却介质。4.根据权利要求3所述长晶炉，其特征在于，所述主冷却介质供入通道上设有第二压力监测单元，所述第二压力监测单元与所述电控系统信号连接设置，当所述第二压力监测单元的压力小于设置值时，所述第二压力监测单元对所述电控系统发出异常信息，并使所述电控系统控制所述辅助冷却系统启动所述冷却模式。5.根据权利要求2所述长晶炉，其特征在于，所述主冷却介质排出通道上设有第一流量监测单元，所述主冷却介质供入通道上设有第二流量监测单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘丙洋，史建伟，马振华，张开端，阴法波，
申请(专利权)人：上海天岳半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：