一种用于单晶生长设备的升降机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于单晶生长设备的升降机构，包括外壳、升降滑台、丝杆导轨、单晶炉体、电机、装配架、离合器、主动轴、短传动轴、锥齿轮和手动轴，所述外壳顶端固定安装有左右对称设置的丝杆导轨，丝杆导轨前侧通过螺栓压接安装有丝杆导轨架，所述单晶炉体右侧中部固定安装有右转座，所述单晶炉体左侧固定安装有左转座，所述右转座和左转座转动搭设在丝杆导轨架上。本实用新型专利技术在结构上设计合理，提供一种用于单晶生长设备的升降机构，该升降机构采用新型的传动机构，运行更加平稳的电机，能够准确、平稳地在规定时间内准确的完成规定的行程，从而确保单晶生长有更好的质量，使用起来方便快捷，实用性很高。实用性很高。实用性很高。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶生长设备的升降机构


[0001]本技术涉及半导体单晶生产
，具体是一种用于单晶生长设备的升降机构。

技术介绍

[0002]近年来，随着半导体行业的快速发展，对半导体材料的质量也提出了更加严格的要求，特别是对单晶产品质量和生产设备的要求。在半导体行业中，当单晶结晶过程中，根据工艺需求，单晶生长炉内石英容器及容器的支撑部分需要一个缓慢平稳的移动过程，促使其由熔融状态逐渐凝固成单晶体。目前，现有升降系统多采用单轴单点支撑，升降托盘由一根轴套带动运动。
[0003]现有工艺的缺点是：1、现有设备采用托盘单点支撑，它所支撑的单晶生长系统支撑结构不容易保证水平，会影响单晶炉体内晶棒形状;2、现有设备采用电动丝杠带动传动，而不带有手动微调能力，导致装置的使用受限；3、现有设备采用皮带传动，容易出现打滑，传动速度不稳定，严重影响设备寿命不利于晶体的生长。因此，需要提出一种使单晶生长托盘更加平稳升降的升降装置，以改善单晶生长的操作过程，提高单晶生长的质量。
[0004]因此，本领域技术人员提供了一种用于单晶生长设备的升降机构，以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶生长设备的升降机构，包括外壳(1)、升降滑台(2)、丝杆导轨(3)、单晶炉体(6)、支脚(13)、电机(16)、装配架(17)、离合器(18)、主动轴(19)、短传动轴(20)、锥齿轮(21)和手动轴(22)，其特征在于，所述外壳(1)顶端固定安装有左右对称设置的丝杆导轨(3)，丝杆导轨(3)前侧通过螺栓压接安装有丝杆导轨架(4)，所述单晶炉体(6)右侧中部固定安装有右转座(5)，所述单晶炉体(6)左侧固定安装有左转座(12)，所述右转座(5)和左转座(12)转动搭设在丝杆导轨架(4)上，所述左转座(12)左侧前部固定安装有折臂(7)，折臂(7)前端贯穿转动安装有调节螺杆(8)，位于左部的所述丝杆导轨(3)右侧滑接安装有转接螺母座(9)，转接螺母座(9)可以通过螺栓与丝杆导轨(3)侧壁紧密压接进行定位，所述转接螺母座(9)通过螺纹与调节螺杆(8)啮合旋接，所述外壳(1)内侧后部固定安装有电机(16)，所述外壳(1)底端左部内壁固定安装有装配架(17)，装配架(17)中部固定安装有离合器(18)，离合器(18)后端固定安装有主动轴(19)，所述电机(16)通过外接齿轮与主动轴(19)啮合连接，所述离合器(18)前端插接固定安装有手动轴(22)，手动轴(22)前端贯穿延伸到外壳(1)前侧外部，所述手动轴(22)前端固定安装有手轮(11)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：绳仁龙，张庆龙，田晓凡，
申请(专利权)人：山东圆坤电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：