本实用新型专利技术公开了一种用于单晶生长设备的升降机构，包括外壳、升降滑台、丝杆导轨、单晶炉体、电机、装配架、离合器、主动轴、短传动轴、锥齿轮和手动轴，所述外壳顶端固定安装有左右对称设置的丝杆导轨，丝杆导轨前侧通过螺栓压接安装有丝杆导轨架，所述单晶炉体右侧中部固定安装有右转座，所述单晶炉体左侧固定安装有左转座，所述右转座和左转座转动搭设在丝杆导轨架上。本实用新型专利技术在结构上设计合理，提供一种用于单晶生长设备的升降机构，该升降机构采用新型的传动机构，运行更加平稳的电机，能够准确、平稳地在规定时间内准确的完成规定的行程，从而确保单晶生长有更好的质量，使用起来方便快捷，实用性很高。实用性很高。实用性很高。
【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶生长设备的升降机构
[0001]本技术涉及半导体单晶生产
，具体是一种用于单晶生长设备的升降机构。
技术介绍
[0002]近年来，随着半导体行业的快速发展，对半导体材料的质量也提出了更加严格的要求，特别是对单晶产品质量和生产设备的要求。在半导体行业中，当单晶结晶过程中，根据工艺需求，单晶生长炉内石英容器及容器的支撑部分需要一个缓慢平稳的移动过程，促使其由熔融状态逐渐凝固成单晶体。目前，现有升降系统多采用单轴单点支撑，升降托盘由一根轴套带动运动。
[0003]现有工艺的缺点是：1、现有设备采用托盘单点支撑，它所支撑的单晶生长系统支撑结构不容易保证水平，会影响单晶炉体内晶棒形状;2、现有设备采用电动丝杠带动传动，而不带有手动微调能力，导致装置的使用受限；3、现有设备采用皮带传动，容易出现打滑，传动速度不稳定，严重影响设备寿命不利于晶体的生长。因此，需要提出一种使单晶生长托盘更加平稳升降的升降装置，以改善单晶生长的操作过程，提高单晶生长的质量。
[0004]因此，本领域技术人员提供了一种用于单晶生长设备的升降机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种用于单晶生长设备的升降机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种用于单晶生长设备的升降机构，包括外壳、升降滑台、丝杆导轨、单晶炉体、电机、装配架、离合器、主动轴、短传动轴、锥齿轮和手动轴，所述外壳顶端固定安装有左右对称设置的丝杆导轨，丝杆导轨前侧通过螺栓压接安装有丝杆导轨架，所述单晶炉体右侧中部固定安装有右转座，所述单晶炉体左侧固定安装有左转座，所述右转座和左转座转动搭设在丝杆导轨架上，所述左转座左侧前部固定安装有折臂，折臂前端贯穿转动安装有调节螺杆，位于左部的所述丝杆导轨右侧滑接安装有转接螺母座，转接螺母座可以通过螺栓与丝杆导轨侧壁紧密压接进行定位，所述转接螺母座通过螺纹与调节螺杆啮合旋接，所述外壳内侧后部固定安装有电机，所述外壳底端左部内壁固定安装有装配架，装配架中部固定安装有离合器，离合器后端固定安装有主动轴，所述电机通过外接齿轮与主动轴啮合连接，所述离合器前端插接固定安装有手动轴，手动轴前端贯穿延伸到外壳前侧外部，所述手动轴前端固定安装有手轮，所述手动轴外侧中部固定安装有锥齿轮，所述外壳内侧右部转动安装有长传动轴，所述外壳内侧左部转动安装有短传动轴，所述长传动轴和短传动轴左右两端分被固定安装有传动锥齿轮，所述长传动轴和短传动轴通过锥齿轮及传动锥齿轮与手动轴啮合连接，所述外壳顶端固定安装有左右对称的升降滑台，所述升降滑台内部侧壁装
配安装有托板，所述丝杆导轨内部的丝杆底端固定安装有水平设置的从动锥齿轮，所述长传动轴和短传动轴通过从动锥齿轮及传动锥齿轮相互啮合连接。
[0008]作为本技术进一步的方案：所述外壳顶端中部摆动安装有检修板，检修板通过卡扣与外壳固定装配。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述支脚底端固定安装有胶垫。
[0010]作为本技术再进一步的方案：两个所述丝杆导轨内部的丝杆旋向相反。
[0011]作为本技术再进一步的方案：所述电机、升降滑台和离合器通过线束与外部电源及外部控制设备电性连接，所述电机采用无刷电机，所述离合器采用电磁离合器。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]本技术在结构上设计合理，提供一种用于单晶生长设备的升降机构，该升降机构采用新型的传动机构，运行更加平稳的电机，能够准确、平稳地在规定时间内准确的完成规定的行程，从而确保单晶生长有更好的质量，使用起来方便快捷，实用性很高。
附图说明
[0014]图1为一种用于单晶生长设备的升降机构的结构示意图。
[0015]图2为一种用于单晶生长设备的升降机构左视角度的结构示意图。
[0016]图3为一种用于单晶生长设备的升降机构俯视角度的结构示意图。
[0017]图4为一种用于单晶生长设备的升降机构中外壳内部的剖视示意图。
[0018]图中：外壳1、升降滑台2、丝杆导轨3、丝杆导轨架4、右转座5、单晶炉体6、折臂7、调节螺杆8、转接螺母座9、托板10、手轮11、左转座12、支脚13、检修板14、长传动轴15、电机16、装配架17、离合器18、主动轴19、短传动轴20、锥齿轮21、手动轴22。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1～4，本技术实施例中，一种用于单晶生长设备的升降机构，包括外壳1、升降滑台2、丝杆导轨3、单晶炉体6、电机16、装配架17、离合器18、主动轴19、短传动轴20、锥齿轮21和手动轴22，所述外壳1顶端固定安装有左右对称设置的丝杆导轨3，丝杆导轨3前侧通过螺栓压接安装有丝杆导轨架4，所述单晶炉体6右侧中部固定安装有右转座5，所述单晶炉体6左侧固定安装有左转座12，所述右转座5和左转座12转动搭设在丝杆导轨架4上，所述左转座12左侧前部固定安装有折臂7，折臂7前端贯穿转动安装有调节螺杆8，位于左部的所述丝杆导轨3右侧滑接安装有转接螺母座9，转接螺母座9可以通过螺栓与丝杆导轨3侧壁紧密压接进行定位，所述转接螺母座9通过螺纹与调节螺杆8啮合旋接，所述外壳1内侧后部固定安装有电机16，所述外壳1底端左部内壁固定安装有装配架17，装配架17中部固定安装有离合器18，离合器18后端固定安装有主动轴19，所述电机16通过外接齿轮与主动轴19啮合连接，所述离合器18前端插接固定安装有手动轴22，手动轴22前端贯穿延伸到外壳1前侧外部，所述手动轴22前端固定安装有手轮11，所述手动轴22外侧中部固定安装有
锥齿轮21，所述外壳1内侧右部转动安装有长传动轴15，所述外壳1内侧左部转动安装有短传动轴20，所述长传动轴15和短传动轴20左右两端分被固定安装有传动锥齿轮，所述长传动轴15和短传动轴20通过锥齿轮21及传动锥齿轮与手动轴22啮合连接，所述外壳1顶端固定安装有左右对称的升降滑台2，所述升降滑台2内部侧壁装配安装有托板10，所述丝杆导轨3内部的丝杆底端固定安装有水平设置的从动锥齿轮，所述长传动轴15和短传动轴20通过从动锥齿轮及传动锥齿轮相互啮合连接。
[0021]所述外壳1顶端中部摆动安装有检修板14，检修板14通过卡扣与外壳1固定装配。
[0022]所述支脚13底端固定安装有胶垫。
[0023]两个所述丝杆导轨3内部的丝杆旋向相反。
[0024]所述电机16、升降滑台2和离合器18通过线束与外部电源及外部控制设备电性连接，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于单晶生长设备的升降机构，包括外壳(1)、升降滑台(2)、丝杆导轨(3)、单晶炉体(6)、支脚(13)、电机(16)、装配架(17)、离合器(18)、主动轴(19)、短传动轴(20)、锥齿轮(21)和手动轴(22)，其特征在于，所述外壳(1)顶端固定安装有左右对称设置的丝杆导轨(3)，丝杆导轨(3)前侧通过螺栓压接安装有丝杆导轨架(4)，所述单晶炉体(6)右侧中部固定安装有右转座(5)，所述单晶炉体(6)左侧固定安装有左转座(12)，所述右转座(5)和左转座(12)转动搭设在丝杆导轨架(4)上，所述左转座(12)左侧前部固定安装有折臂(7)，折臂(7)前端贯穿转动安装有调节螺杆(8)，位于左部的所述丝杆导轨(3)右侧滑接安装有转接螺母座(9)，转接螺母座(9)可以通过螺栓与丝杆导轨(3)侧壁紧密压接进行定位，所述转接螺母座(9)通过螺纹与调节螺杆(8)啮合旋接，所述外壳(1)内侧后部固定安装有电机(16)，所述外壳(1)底端左部内壁固定安装有装配架(17)，装配架(17)中部固定安装有离合器(18)，离合器(18)后端固定安装有主动轴(19)，所述电机(16)通过外接齿轮与主动轴(19)啮合连接，所述离合器(18)前端插接固定安装有手动轴(22)，手动轴(22)前端贯穿延伸到外壳(1)前侧外部，所述手动轴(22)前端固定安装有手轮(11)，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：绳仁龙，张庆龙，田晓凡，
申请(专利权)人：山东圆坤电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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