【技术实现步骤摘要】
一种用于炉体的接线工装
本技术涉及半导体材料加工领域,尤其涉及一种用于单晶炉体的接线工装。本技术适用于单晶炉使用,还适用于多晶炉、扩散炉、退火炉、合成炉、氧化炉等需要接电缆通电工业装备或设备。
技术介绍
近年来,随着国内半导体行业的快速迅猛发展,对半导体材料的质量也提出了更加严格的要求,特别是对单晶生长的质量和生产设备的要求。其中炉体加热需要大功率加热,但是为了保证安全用电,都实行大电流,低电压;大电流就造成需要相应的电缆。如果电缆直接接到电极上,会有一定的下坠力,拉裂电极和炉丝焊接处;炉体表面有一定的热量挥发,挥发出来的热量就会烘烤电缆表面绝缘层,使其老化脱皮,电缆丝易老化,影响使用寿命;短时间内需要更换新电缆;如要使用高温电缆,成本太高,长时间也需要更换电缆。更换电缆需要停炉,等温度降低时才能更换,浪费时间成本。
技术实现思路
针对现有技术中炉体接线方法存在的不足,本技术的目的在于提供一种炉体接线工装,其具有:成本低,结构简单、设计合理、使用方便、便于更换、操作稳定,重复使用等优点。为了达到上述目的,本技术采用如下技术方案实现:一种用于炉体的接线工装,其特点在于:该工装包括电木板、支撑板、铝排、螺柱、螺母;电木板按电极间距开相应的通孔I(对应电极数量开孔),支撑板上开2个固定电木板的通孔IV、通孔V;并在与支撑板的通孔IV、通孔V相对应的电木板位置开通孔II、通孔III。铝排两端开通孔VI、通孔VII,其中支撑板按要求固定在炉体指定的位置上;用螺柱穿过电木板上的通孔II和支撑板 ...
【技术保护点】
1.一种用于炉体的接线工装,其特征在于:该工装包括电木板(2)、支撑板(5)、铝排(3)、螺柱(4)、螺母(6);电木板(2)按电极(7)间距开相应的通孔I(8),支撑板(5)上开2个固定电木板(2)的通孔IV(11)、通孔V(12);并在与支撑板(5)的通孔IV(11)、通孔V(12)相对应的电木板(2)位置开通孔II(9)、通孔III(10)。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于炉体的接线工装,其特征在于:该工装包括电木板(2)、支撑板(5)、铝排(3)、螺柱(4)、螺母(6);电木板(2)按电极(7)间距开相应的通孔I(8),支撑板(5)上开2个固定电木板(2)的通孔IV(11)、通孔V(12);并在与支撑板(5)的通孔IV(11)、通孔V(12)相对应的电木板(2)位置开通孔II(9)、通孔III(10)。
2.铝排(3)两端开通孔VI(13)、通孔VII(14),其中支撑板(5)按要求固定在炉体(1)...
【专利技术属性】
技术研发人员:张庆龙,绳仁龙,田晓凡,
申请(专利权)人:山东圆坤电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:山东;37
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