【技术实现步骤摘要】
单晶炉排气管除尘装置
本技术涉及一种除尘装置,具体涉及一种单晶炉排气用除尘装置。
技术介绍
目前,单晶炉排气管内结尘后会影响抽气速率,严重时会堵塞抽气管,从而造成真空无法控制,影响晶体生长以及影响长期拉晶。因此如能及时清理管内结尘既可以提高单晶炉的产能,又可以提高单晶棒的品质,但是由于排气管口高温达到1000多度,大大限制了解决手段。
技术实现思路
专利技术目的:本技术的目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种有效清除结尘,解决高温导热影响电机工作的单晶炉排气管除尘装置。技术方案:为了解决上述技术问题,本技术所述的单晶炉排气管除尘装置,它包括排气通道,在所述排气通道内结尘处设有钼刮板,所述钼刮板设在碳碳连接板上,所述碳碳连接板通过转轴连接器与电机转轴相连,所述电机转轴与电机相连,所述电机设在排气通道外部,所述电机转轴与排气通道连接处设有磁流体密封件,在所述磁流体密封件上方一侧设有抽气通道,所述抽气通道与排气通道联通。在所述碳碳连接板顶端设有连接槽,所述钼刮板一侧通过固定螺栓固定在连接槽内, ...
【技术保护点】
1.单晶炉排气管除尘装置,其特征在于:它包括排气通道(1),在所述排气通道(1)内结尘处设有钼刮板(2),所述钼刮板(2)设在碳碳连接板(3)上,所述碳碳连接板(3)通过转轴连接器(4)与电机转轴(5)相连,所述电机转轴(5)与电机(6)相连,所述电机(6)设在排气通道(1)外部,所述电机转轴(5)与排气通道(1)连接处设有磁流体密封件(7),在所述磁流体密封件(7)上方一侧设有抽气通道(8),所述抽气通道(8)与排气通道(1)联通。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.单晶炉排气管除尘装置,其特征在于:它包括排气通道(1),在所述排气通道(1)内结尘处设有钼刮板(2),所述钼刮板(2)设在碳碳连接板(3)上,所述碳碳连接板(3)通过转轴连接器(4)与电机转轴(5)相连,所述电机转轴(5)与电机(6)相连,所述电机(6)设在排气通道(1)外部,所述电机转轴(5)与排气通道(1)连接处设有磁流体密封件(7),在所述磁流体密封件(7)上方一侧设有抽气通道(8),所述抽气通道(8)与排气通道(1)联通。
技术研发人员:袁玉平,
申请(专利权)人:江苏拜尔特光电设备有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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