【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉的抽真空系统
本技术涉及单晶炉的抽真空
,尤其涉及一种单晶炉的抽真空系统。
技术介绍
单晶炉是一种用于冶炼、结晶蓝宝石、红宝石等贵重矿物的设备,其工作的时候需要对其内部进行抽真空。现有技术中,一般采用机械泵对单晶炉内部进行抽真空,普通的机械泵,能够将单晶炉内的气压抽到1Pa左右,真空度不够高,导致蓝宝石、红宝石等贵重矿物在结晶的过程中的会存在被氧化的现象。本技术就是基于以上的不足做出的。
技术实现思路
鉴于此,本技术的目的在于提供一种能够提供高真空度的单晶炉的抽真空系统。本技术为解决其技术问题而采用的技术方案是:一种单晶炉的抽真空系统,其包括炉体、一级泵以及二级泵,炉体上设置有出气口,一级泵的吸气端和出气口之间连接有一级抽气通道,一级抽气通道包括沿着气流方向依次设置的主管、主阀、一级支管、预抽阀以及汇流管,主阀为三通阀,二级泵的吸气端与主阀的另一出气端接通,二级泵的出气端通过二级支管与汇流管接通,二级支管上设置有能够控制其通断的前置阀。作为优选地,一级泵为一机械泵,二级泵为一扩散泵,汇流管和二级支管上均有一段为波纹管。作为优选地,一级泵的吸气端和汇流管之间连接有压差阀。作为优选地,出气口设置于炉体外侧壁的上部,炉体通过法兰与主管连接以使出气口与主管导通。作为优选地,炉体包括炉底、炉盖以及位于炉底和炉盖之间的筒体,炉底、炉盖以及筒体上分别设置相互独立的冷却水道。作为优选地,主管上设置有气压表。本技术的有益效果是:采用 ...
【技术保护点】
1.一种单晶炉的抽真空系统,其特征在于,其包括炉体(1)、一级泵(2)以及二级泵(3),所述炉体(1)上设置有出气口(15),所述的一级泵(2)的吸气端和所述出气口(15)之间连接有一级抽气通道,所述的一级抽气通道包括沿着气流方向依次设置的主管(4)、主阀(5)、一级支管(6)、预抽阀(7)以及汇流管(8),所述的主阀(5)为三通阀,所述二级泵(3)的吸气端与主阀(5)的另一出气端接通,所述二级泵(3)的出气端通过二级支管(9)与所述的汇流管(8)接通,所述的二级支管(9)上设置有能够控制其通断的前置阀(16)。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种单晶炉的抽真空系统,其特征在于,其包括炉体(1)、一级泵(2)以及二级泵(3),所述炉体(1)上设置有出气口(15),所述的一级泵(2)的吸气端和所述出气口(15)之间连接有一级抽气通道,所述的一级抽气通道包括沿着气流方向依次设置的主管(4)、主阀(5)、一级支管(6)、预抽阀(7)以及汇流管(8),所述的主阀(5)为三通阀,所述二级泵(3)的吸气端与主阀(5)的另一出气端接通,所述二级泵(3)的出气端通过二级支管(9)与所述的汇流管(8)接通,所述的二级支管(9)上设置有能够控制其通断的前置阀(16)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉的抽真空系统,其特征在于,所述的一级泵(2)为一机械泵,所述的二级泵(3)为一扩散泵,所述的汇流管(8)和二级支管(9)上均有一段为波纹管。
技术研发人员:姚以力,李光,于德金,
申请(专利权)人:中山荣拓智能装备有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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