本实用新型专利技术公开了一种晶体生长装置，包括：晶体生长炉，晶体生长炉的内部设有加热腔，且晶体生长炉的顶部设有通孔；升降机构，升降机构设置于晶体生长炉上；籽晶杆，籽晶杆与升降机构驱动连接并可活动地穿设于通孔，籽晶杆的底端位于加热腔内，籽晶杆的顶端位于加热腔外，籽晶杆设有沿籽晶杆的轴向延伸的冷却液通道，至少有部分冷却液通道位于加热腔内，冷却液通道具有形成于籽晶杆的顶端的通道口；液罐，液罐设置于籽晶杆的顶端，液罐的内部设有液腔，且液罐还设有与液腔连通的连通口、以及与液腔连通的进液口，连通口与通道口连通。上述的晶体生长装置避免籽晶杆被烧损或缩短使用寿命。用寿命。用寿命。
【技术实现步骤摘要】
晶体生长装置
[0001]本技术涉及晶体生长
，尤其是涉及一种晶体生长装置。
技术介绍
[0002]在进行碳化硅晶体生长实验时，需要将碳化硅原料放在晶体生长炉内，并通过加热器对碳化硅原料进行加热。而为了得到相应的晶体，加热器所需提供的温度在2000℃以上，因此，伸入进晶体生长炉的籽晶杆的温度也会持续受到加热器的影响，容易损坏或者缩短使用寿命。
技术实现思路
[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种晶体生长装置，能够解决传统的籽晶杆容易损坏或者缩短使用寿命的问题。
[0004]根据本技术第一方面实施例的一种晶体生长装置，所述晶体生长装置包括：晶体生长炉，所述晶体生长炉的内部设有加热腔，且所述晶体生长炉的顶部设有通孔；升降机构，所述升降机构设置于所述晶体生长炉上；籽晶杆，所述籽晶杆与所述升降机构驱动连接并可活动地穿设于所述通孔，所述籽晶杆的底端位于所述加热腔内，所述籽晶杆的顶端位于所述加热腔外，所述籽晶杆设有沿所述籽晶杆的轴向延伸的冷却液通道，至少有部分所述冷却液通道位于所述加热腔内，所述冷却液通道具有形成于所述籽晶杆的顶端的通道口；液罐，所述液罐设置于所述籽晶杆的顶端，所述液罐的内部设有液腔，且所述液罐还设有与所述液腔连通的连通口、以及与所述液腔连通的进液口，所述连通口与所述通道口连通。
[0005]根据本技术实施例的晶体生长装置，至少具有如下技术效果：
[0006]上述的晶体生长装置在使用时，用于晶体生长的原料放置在加热腔内，其中，加热腔为内部设置有加热器的腔体。籽晶杆的底端用于固定籽晶，升降机构能够带动籽晶杆升降，从而根据晶体的生长情况调整籽晶的位置。另外，在上述的晶体生长装置使用期间，可以通过液罐的进液口向液罐的液腔内注入冷却液，使得冷却液流入到籽晶杆的冷却液通道内，对籽晶杆进行冷却，避免籽晶杆被烧损或缩短使用寿命。
[0007]根据本技术的一些实施例，所述进液口形成于所述液罐的侧部，所述液罐的顶部设有与液腔连通的出液口。
[0008]根据本技术的一些实施例，所述升降机构设置于所述晶体生长炉的顶部，所述升降机构包括第一驱动源、与所述第一驱动源驱动连接的传动杆以及与所述传动杆传动连接的传动件，所述传动杆竖直设置，且所述传动杆能够受所述第一驱动源的驱动而带动所述传动件沿所述传动杆的轴向移动，所述籽晶杆与所述传动件连接，且所述籽晶杆与所述传动杆并列设置。
[0009]根据本技术的一些实施例，所述传动杆为丝杠，所述传动件为套设于所述丝杠外的螺母，所述螺母与所述丝杠螺纹连接，所述升降机构还包括导向筒以及连接轴，所述
导向筒与晶体生长炉固定连接并套设于所述丝杠以及所述螺母的外部，且所述导向筒与所述丝杠以及所述螺母相间隔，所述导向筒设有沿竖直方向延伸的导向孔，所述连接轴穿设于所述导向孔，且所述连接轴的一端与所述螺母连接，另一端与所述籽晶杆连接。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述的晶体生长装置还包括第一支架以及第二支架，所述连接轴的两端分别与所述螺母以及所述第一支架固定连接，所述第二支架上设置于所述第一支架上，所述第一支架设有第一装配孔，所述第二支架设有与所述第一装配孔相对的第二装配孔，且所述第二装配孔位于所述第一装配孔的上方，所述籽晶杆穿设于所述第一装配孔以及所述第二装配孔，所述液罐设置于所述第二支架上，且所述连通口与所述通道口相对且连通。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述的晶体生长装置还包括波纹管，所述波纹管套设于所述籽晶杆的外部并位于所述晶体生长炉的外部，且所述波纹管的两端分别与所述第一支架以及所述晶体生长炉连接，所述波纹管的底端用于密封所述通孔。
[0012]根据本技术的一些实施例，所述波纹管的顶端与所述第一支架相抵，所述第一支架用于密封所述波纹管的顶端。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述的晶体生长装置还包括旋转机构，所述旋转机构与所述籽晶杆驱动连接，用于驱动所述籽晶杆绕所述籽晶杆的轴线转动。
[0014]根据本技术的一些实施例，所述旋转机构包括第二驱动源、与所述第二驱动源传动连接的传动组件，所述传动组件与所述籽晶杆传动连接。
[0015]根据本技术的一些实施例，所述传动组件包括受所述第二驱动源而自转的第一齿轮、以及与所述第一齿轮啮合的第二齿轮，所述第二齿轮固定地套设于所述籽晶杆外。
附图说明
[0016]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0017]图1是本技术一实施例的晶体生长装置的结构示意图；
[0018]图2是本技术一实施例的晶体生长装置的局部结构示意图一；
[0019]图3是本技术一实施例的籽晶杆的剖视结构示意图；
[0020]图4是本技术一实施例的晶体生长装置的局部爆炸结构示意图；
[0021]图5是本技术一实施例的晶体生长装置的局部结构示意图二；
[0022]图6是本技术一实施例的晶体生长装置的局部结构示意图三。
[0023]附图标记：
[0024]100、晶体生长炉；200、升降机构；210、第一驱动源；220、第一减速机；230、传动杆；240、传动件；250、导向筒；251、导向孔；300、籽晶杆；310、冷却液通道；311、通道口；320、凸环；400、液罐；410、进水嘴；420、出水嘴；500、旋转机构；510、第二驱动源；520、第二减速机；530、传动组件；531、第一齿轮；532、第二齿轮；600、波纹管；610、第一法兰；620、第二法兰；710、第一支架；720、第二支架；800、轴承座。
具体实施方式
[0025]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始
至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0026]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0027]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶体生长装置，其特征在于，所述晶体生长装置包括：晶体生长炉，所述晶体生长炉的内部设有加热腔，且所述晶体生长炉的顶部设有通孔；升降机构，所述升降机构设置于所述晶体生长炉上；籽晶杆，所述籽晶杆与所述升降机构驱动连接并可活动地穿设于所述通孔，所述籽晶杆的底端位于所述加热腔内，所述籽晶杆的顶端位于所述加热腔外，所述籽晶杆设有沿所述籽晶杆的轴向延伸的冷却液通道，至少有部分所述冷却液通道位于所述加热腔内，所述冷却液通道具有形成于所述籽晶杆的顶端的通道口；液罐，所述液罐设置于所述籽晶杆的顶端，所述液罐的内部设有液腔，且所述液罐还设有与所述液腔连通的连通口、以及与所述液腔连通的进液口，所述连通口与所述通道口连通。2.根据权利要求1所述的晶体生长装置，其特征在于，所述进液口形成于所述液罐的侧部，所述液罐的顶部设有与液腔连通的出液口。3.根据权利要求1所述的晶体生长装置，其特征在于，所述升降机构设置于所述晶体生长炉的顶部，所述升降机构包括第一驱动源、与所述第一驱动源驱动连接的传动杆以及与所述传动杆传动连接的传动件，所述传动杆竖直设置，且所述传动杆能够受所述第一驱动源的驱动而带动所述传动件沿所述传动杆的轴向移动，所述籽晶杆与所述传动件连接，且所述籽晶杆与所述传动杆并列设置。4.根据权利要求3所述的晶体生长装置，其特征在于，所述传动杆为丝杠，所述传动件为套设于所述丝杠外的螺母，所述螺母与所述丝杠螺纹连接，所述升降机构还包括导向筒以及连接轴，所述导向筒与晶体生长炉固定连接并套设于所述丝杠以及所述螺母的外部，且所述导向筒与所述丝杠以及所述螺母相间隔，所述导...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚恒，卞洪阳，
申请(专利权)人：中山荣拓智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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