一种用于单晶生长的升降装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于单晶生长的升降装置，提供一种采用新型支撑结构和控制单元、能够准确平稳地完成规定行程，同时能够自动停止的用于单晶生长的升降装置；该装置包括底座、升降机构、晶体支撑机构和控制机构，底座包括底座主体和可调节地脚支撑；升降机构包括电机、换向结构、升降台和螺杆螺套，电机通过换向结构驱动螺杆转动，通过固定在升降台上的螺套使得升降台实现上、下运动；晶体支撑机构包括晶体支撑平台和可调节支撑柱，通过可调节支撑柱调节晶体支撑平台的水平；控制机构包括角度传感器、限位结构、计数表、转速表和编码器；本实用新型专利技术用于半导体单晶生长领域。

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶生长的升降装置
本技术涉及半导体单晶生长
，更具体而言，涉及一种用于单晶生长的升降装置。
技术介绍
随着科技发展的需求，对半导体材料的需求与日俱增，同时对材料质量也提出了更高的要求。目前在单晶生长领域，因工艺需求，需要实现晶体在生长过程中平稳缓慢的移动。授权公告号为CN206188932U的技术专利公开了一种用于单晶生长设备的升降机构，该装置利用移动单侧悬臂结构，来实现晶体的移动。另外，上述装置中，晶体支撑结构为单侧悬出式结构，仅靠单侧支撑臂对晶体进行支撑，支撑的稳定性较差。同时，设备运行及停止均需人员操作，易出现误操作或漏操作的情况。因此，有必要对现有技术进行改进。
技术实现思路
为了克服现有技术中的不足，提供一种采用新型支撑结构和控制单元、能够准确平稳地完成规定行程，同时能够自动停止的用于单晶生长的升降装置。为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：一种用于单晶生长的升降装置，包括底座、升降机构、晶体支撑机构和控制机构；所述底座包括可调节地脚支撑和底座主体，可调节地脚支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于单晶生长的升降装置，其特征为：包括底座（10）、升降机构（20）、晶体支撑机构（30）和控制机构（40）；/n所述底座包括可调节地脚支撑（12）和底座主体（11），可调节地脚支撑（12）设置于底座主体（11）下侧；/n所述升降机构（20）包括升降台（21）、电机（25）和换向结构（24），升降机构（20）设置于底座主体（11）内部，所述升降台（21）与底座主体（11）滑动连接，电机（25）通过换向结构（24）控制升降台（21）的升降运动；/n所述晶体支撑机构（30）包括晶体支撑平台（31）、可调节支撑柱（32）,晶体支撑机构（30）通过可调节支撑柱（32）设置于升降台（21）顶部，...

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶生长的升降装置，其特征为：包括底座（10）、升降机构（20）、晶体支撑机构（30）和控制机构（40）；
所述底座包括可调节地脚支撑（12）和底座主体（11），可调节地脚支撑（12）设置于底座主体（11）下侧；
所述升降机构（20）包括升降台（21）、电机（25）和换向结构（24），升降机构（20）设置于底座主体（11）内部，所述升降台（21）与底座主体（11）滑动连接，电机（25）通过换向结构（24）控制升降台（21）的升降运动；
所述晶体支撑机构（30）包括晶体支撑平台（31）、可调节支撑柱（32）,晶体支撑机构（30）通过可调节支撑柱（32）设置于升降台（21）顶部，控制机构（40）与电机（25）连接；
所述可调节支撑柱（32）包括垂直固连于晶体支撑平台（31）的调节螺杆（321）、与调节螺杆（321）配合的调节螺套（322）、锁紧螺母（324）和法兰盘（323），所述调节螺套（322）通过法兰盘设置于升降台（21）顶面外侧，锁紧螺母（324）设置在调节螺杆（321）上；
所述控制机构（40）包括角度传感器（41），所述角度传感器（41）设置于晶体支撑平台（31）上。


2.根据权利要求1所述的一种用于单晶生长的升降装置，其特征在于：所述可调节地脚支撑（12）包括固定在底座主体（11）下部的地脚螺杆（121）和与地脚螺杆（121）配合的地脚螺套（122），所述地脚螺杆（121）为自锁螺杆，地脚螺套（122）一端与地脚螺杆（121）配合连接，地脚螺套（122）另一端接地，接地端设置有防磨垫。


3.根据权利要求1所述的一种用于单晶生长的升降装置，其特征在于：所述底座主体（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴晓磊，梁李虎，李斌，
申请(专利权)人：山西中科晶电信息材料有限公司，
类型：新型
国别省市：山西;14