【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶生长的升降装置
本技术涉及半导体单晶生长
,更具体而言,涉及一种用于单晶生长的升降装置。
技术介绍
随着科技发展的需求,对半导体材料的需求与日俱增,同时对材料质量也提出了更高的要求。目前在单晶生长领域,因工艺需求,需要实现晶体在生长过程中平稳缓慢的移动。授权公告号为CN206188932U的技术专利公开了一种用于单晶生长设备的升降机构,该装置利用移动单侧悬臂结构,来实现晶体的移动。另外,上述装置中,晶体支撑结构为单侧悬出式结构,仅靠单侧支撑臂对晶体进行支撑,支撑的稳定性较差。同时,设备运行及停止均需人员操作,易出现误操作或漏操作的情况。因此,有必要对现有技术进行改进。
技术实现思路
为了克服现有技术中的不足,提供一种采用新型支撑结构和控制单元、能够准确平稳地完成规定行程,同时能够自动停止的用于单晶生长的升降装置。为了解决上述技术问题,本技术采用的技术方案为:一种用于单晶生长的升降装置,包括底座、升降机构、晶体支撑机构和控制机构;所述底座包括可调节地脚支撑和底座主体,可调节地脚支撑设置于底座主体下侧;所述升降机构包括升降台、电机和换向结构,升降机构设置于底座主体内部,所述升降台与底座主体滑动连接,电机通过换向结构控制升降台的升降运动;所述晶体支撑机构包括晶体支撑平台、可调节支撑柱,晶体支撑机构通过可调节支撑柱设置于升降台顶部,控制机构与电机连接。进一步的,所述可调节地脚支撑包括固定在底座主体下部的地脚螺杆和与地脚螺杆配合的地脚螺套 ...
【技术保护点】
1.一种用于单晶生长的升降装置,其特征为:包括底座(10)、升降机构(20)、晶体支撑机构(30)和控制机构(40);/n所述底座包括可调节地脚支撑(12)和底座主体(11),可调节地脚支撑(12)设置于底座主体(11)下侧;/n所述升降机构(20)包括升降台(21)、电机(25)和换向结构(24),升降机构(20)设置于底座主体(11)内部,所述升降台(21)与底座主体(11)滑动连接,电机(25)通过换向结构(24)控制升降台(21)的升降运动;/n所述晶体支撑机构(30)包括晶体支撑平台(31)、可调节支撑柱(32),晶体支撑机构(30)通过可调节支撑柱(32)设置于升降台(21)顶部,控制机构(40)与电机(25)连接;/n所述可调节支撑柱(32)包括垂直固连于晶体支撑平台(31)的调节螺杆(321)、与调节螺杆(321)配合的调节螺套(322)、锁紧螺母(324)和法兰盘(323),所述调节螺套(322)通过法兰盘设置于升降台(21)顶面外侧,锁紧螺母(324)设置在调节螺杆(321)上;/n所述控制机构(40)包括角度传感器(41),所述角度传感器(41)设置于晶体支撑平台 ...
【技术特征摘要】
1.一种用于单晶生长的升降装置,其特征为:包括底座(10)、升降机构(20)、晶体支撑机构(30)和控制机构(40);
所述底座包括可调节地脚支撑(12)和底座主体(11),可调节地脚支撑(12)设置于底座主体(11)下侧;
所述升降机构(20)包括升降台(21)、电机(25)和换向结构(24),升降机构(20)设置于底座主体(11)内部,所述升降台(21)与底座主体(11)滑动连接,电机(25)通过换向结构(24)控制升降台(21)的升降运动;
所述晶体支撑机构(30)包括晶体支撑平台(31)、可调节支撑柱(32),晶体支撑机构(30)通过可调节支撑柱(32)设置于升降台(21)顶部,控制机构(40)与电机(25)连接;
所述可调节支撑柱(32)包括垂直固连于晶体支撑平台(31)的调节螺杆(321)、与调节螺杆(321)配合的调节螺套(322)、锁紧螺母(324)和法兰盘(323),所述调节螺套(322)通过法兰盘设置于升降台(21)顶面外侧,锁紧螺母(324)设置在调节螺杆(321)上;
所述控制机构(40)包括角度传感器(41),所述角度传感器(41)设置于晶体支撑平台(31)上。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶生长的升降装置,其特征在于:所述可调节地脚支撑(12)包括固定在底座主体(11)下部的地脚螺杆(121)和与地脚螺杆(121)配合的地脚螺套(122),所述地脚螺杆(121)为自锁螺杆,地脚螺套(122)一端与地脚螺杆(121)配合连接,地脚螺套(122)另一端接地,接地端设置有防磨垫。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶生长的升降装置,其特征在于:所述底座主体(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:柴晓磊,梁李虎,李斌,
申请(专利权)人:山西中科晶电信息材料有限公司,
类型:新型
国别省市:山西;14
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