一种晶体生长炉的可调式自动防爆阀制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶体生长炉的可调式自动防爆阀，包括：与晶体生长炉腔体连通的基座，用于密封基座的密封垫，外壳；外壳、密封垫和基座通过螺栓柱依次连接，外壳和基座之间形成压缩空间；该可调式自动防爆阀还包括：安装到压缩空间中的压片，固定安装在压片一侧和密封垫之间的弹簧和压力传感器，与压力传感器电连接的检测控制器，调节旋钮；压力传感器安装到弹簧的中空部分；调节旋钮穿透外壳触压到压片另一侧。本实用新型专利技术晶体生长炉的可调式自动防爆阀，通过调节旋钮实现防爆阀开启压力的调节，通过检测控制器获知防爆阀开启压力数值，通过调节旋钮与检测控制器的协同作用能够实现防爆阀开启压力的精确调节。实现防爆阀开启压力的精确调节。实现防爆阀开启压力的精确调节。

【技术实现步骤摘要】
一种晶体生长炉的可调式自动防爆阀


[0001]本技术涉及晶体生长
，尤其是一种晶体生长炉的可调式自动防爆阀。

技术介绍

[0002]传统的晶体生长炉防爆阀的核心部件仅依靠简单的弹簧结构，其典型的结构如图1所示，通过将弹簧a套在螺栓柱b上，弹簧a一端抵接到外壳c上，另一端抵接到与基座d连接的密封垫f上，其中，基座d连接晶体生长炉的腔体，基座d与密封垫f之间安装有密封圈g，外壳c通过数根（一般为4根）螺栓柱b与基座d相连接，弹簧a处于外壳c顶部与密封垫f之间。紧固螺栓柱b可以压缩弹簧a，一定程度上能增加防爆阀正压开启值，但是由于螺栓柱b螺纹段长度有限，所以其调节能力也有限，多根螺栓柱b不能进行均匀、精确地调节，也不容易平衡压力。在发生生产事故，晶体生长炉的腔体气压突然增大时，理论上防爆阀就会开启，避免更大的危害和损失，由于无法检测防爆阀的实际开启值，容易出现防爆阀过压不工作或者未达到工作压力值即开启的现象，并且，随着防爆阀使用时间的增加，弹簧a对密封垫f的压应力会不断改变，使得防爆阀工作压力不能严格控制，防爆阀的工作压力也不可调。
技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶体生长炉的可调式自动防爆阀，包括：与晶体生长炉腔体连通的基座，用于密封所述基座的密封垫，外壳；所述外壳、所述密封垫和所述基座通过螺栓柱依次连接，所述外壳和所述基座之间形成压缩空间；其特征在于，该可调式自动防爆阀还包括：安装到所述压缩空间中的压片，固定安装在所述压片一侧和密封垫之间的弹簧和压力传感器，与所述压力传感器电连接的检测控制器，调节旋钮；所述压力传感器安装到所述弹簧的中空部分；所述调节旋钮穿透所述外壳触压到所述压片另一侧。2.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘景峰，
申请(专利权)人：北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：