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本实用新型公开了一种晶体生长炉的可调式自动防爆阀,包括:与晶体生长炉腔体连通的基座,用于密封基座的密封垫,外壳;外壳、密封垫和基座通过螺栓柱依次连接,外壳和基座之间形成压缩空间;该可调式自动防爆阀还包括:安装到压缩空间中的压片,固定安装在压...该专利属于北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种晶体生长炉的可调式自动防爆阀,包括:与晶体生长炉腔体连通的基座,用于密封基座的密封垫,外壳;外壳、密封垫和基座通过螺栓柱依次连接,外壳和基座之间形成压缩空间;该可调式自动防爆阀还包括:安装到压缩空间中的压片,固定安装在压...